一种太阳能电池边缘刻蚀方法
阅读：1042发布：2020-11-19
专利汇可以提供一种太阳能电池边缘刻蚀方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供了一种 太阳能 电池 边缘 刻蚀 方法，其特征在于，步骤为：提供扩散后的 硅 片 ，对其进行一次等离子刻蚀，去除 硅片 四周的磷硅玻璃，随后，将等离子刻蚀后的硅片按照常规流程进行湿法刻蚀。本发明提供的 太阳能电池 边缘刻蚀方法，通过增加一次传统的等离子刻蚀，去除扩散后的硅片周边的磷硅玻璃，而使中间大部分的面积上保留磷硅玻璃的 覆盖 ，从而在后续的湿法刻蚀过程中保护扩散层不受气相 腐蚀 ，提高 方 块 电阻 稳定性 ；同时利用硅片周边的裸露硅本体的疏 水 性质防止刻蚀液浸润硅片的上表面。两次刻蚀后，电池片的并联电阻和填充因子明显提高，漏 电流 显著降低。从而实现低成本，高稳定性，高并联电阻的湿法刻蚀。，下面是一种太阳能电池边缘刻蚀方法专利的具体信息内容。
一种太阳能电池边缘刻蚀方法
技术领域
背景技术
[0002] 如今的太阳能电池制造过程中，边缘刻蚀工艺一般有等离子刻蚀即干法刻蚀和湿法刻蚀两种技术。干法刻蚀是一种成熟的边缘刻蚀技术，操作简单、产能大，但容易出现刻蚀不完全的现象，且不能实现背面腐蚀，在多晶电池制造中已逐渐被湿法刻蚀取代。湿法刻蚀技术的主要优点是：硅片接近于漂浮在硝酸与氢氟酸的混合溶液上流动通过，利用液体的表面张力，硅片的边缘和背面受到腐蚀，并且化学反应的腐蚀量比等离子体法更大，刻蚀更加彻底，有效降低了漏电流。
[0003] 国外一般采用先刻蚀后去磷硅玻璃的方式，以保护扩散面的PN结不受腐蚀。但是这种方式的腐蚀液必须添加硫酸，以增加混合酸的表面张力，否则酸液会漫上扩散面，造成过刻蚀。这种方式的弊端是酸液的各成分浓度必须控制在精确的范围内，控制难度比较大，设备成本非常高。有国产机型采用先去磷硅玻璃后刻蚀的方式，大大降低设备成本，然而此方式虽然可以利用去除磷硅玻璃后硅的疏水性质防止边缘的过刻蚀，但是扩散面裸露在潮湿的混酸挥发气体中导致的气相腐蚀造成方块电阻不均匀也是显而易见的，不均匀的方块电阻对太阳能电池转换效率的稳定性造成较大的负面影响。
发明内容
[0004] 本发明的目的是提供一种太阳能电池的边缘刻蚀方法，以较低成本实现带磷硅玻璃保护的湿法刻蚀，并使刻蚀更加彻底，提高并联电阻，降低漏电流。
[0005] 为了达到上述目的，本发明的技术方案是提供了一种太阳能电池边缘刻蚀方法，其特征在于，步骤为：提供扩散后的硅片，对其进行一次等离子刻蚀，去除硅片四周的磷硅玻璃，随后，将等离子刻蚀后的硅片按照先去磷硅玻璃后刻蚀的流程进行湿法刻蚀。
[0006] 本发明提供的太阳能电池边缘刻蚀方法，通过增加一次传统的等离子刻蚀，去除扩散后的硅片周边的磷硅玻璃，而使中间大部分的面积上保留磷硅玻璃的覆盖，从而在后续的湿法刻蚀过程中保护扩散层不受气相腐蚀，提高方块电阻稳定性；同时利用硅片周边的裸露硅本体的疏水性质防止刻蚀液浸润硅片的上表面。两次刻蚀后，电池片的并联电阻和填充因子明显提高，漏电流显著降低。从而实现低成本，高稳定性，高并联电阻的湿法刻蚀。附图说明
[0007] 图1A为扩散后硅片；图1B为等离子刻蚀后的硅片；
图2为一种典型的湿法刻蚀槽。
图2为一种典型的湿法刻蚀槽。
具体实施方式
[0008] 为使本发明更明显易懂，兹以一优选实施例，并配合附图作详细说明如下。
[0009] 本发明提供了一种太阳能电池边缘刻蚀方法，其步骤为：步骤1、提供扩散后的硅片，图1A所示为扩散后的硅片1，其表面覆盖有深色的磷硅玻璃。对其进行一次等离子刻蚀，去除硅片四周的磷硅玻璃。图1B所示为等离子刻蚀后的硅片2，其四周被刻去1～2mm宽的磷硅玻璃，裸露出硅本体。
[0010] 步骤2、将等离子刻蚀后的硅片按照常规流程进行湿法刻蚀。图2所示为一种典型的湿法刻蚀槽，槽体3是湿法刻蚀机的一部分，内含刻蚀液4，其成分为硝酸和氢氟酸混合溶液，其液位高度略低于滚轴5上的滚轮6的最高高度大约1毫米，滚轮6用于支撑及传送硅片2。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 跟日太阳能系统 | 2022-06-08 | 3 |
| 太阳能电池用硅片扩散炉 | 2020-08-15 | 5 |
| 太阳能电池 | 2021-07-23 | 5 |
| 使用激光烧蚀的太阳能电池的接触形成 | 2021-03-16 | 3 |
| 太阳能电池及其显示装置 | 2020-09-29 | 4 |
| 太阳能发电装置 | 2022-07-25 | 0 |
| 用于向多个太阳能板施加电场的方法和系统 | 2021-04-13 | 5 |
| 太阳能杯盖灯 | 2020-12-29 | 5 |
| 一种太阳能杀虫灯 | 2021-10-27 | 5 |
| 太阳能邮政投信箱 | 2022-02-09 | 2 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
分析报告
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
太阳能热门专利
-
2 太阳能式路灯
-
10 一种太阳能集热器清洁机
QQ群二维码
意见反馈
意见反馈