1.一种多轴定位系统，其包括：
(A)x-y载台组合件，其包含：
(i)底座，其可紧固到稳定表面，
(ii)上部载台，
(iii)第一线性致动器，其经构造以产生所述上部载台相对于所述底座沿着第一x-y载台轴的可控制位移，
(iv)第二线性致动器，其经构造以产生所述上部载台相对于所述底座沿着第二x-y载台轴的可控制位移，所述第一x-y载台轴基本上垂直于所述第二x-y载台轴，及(v)所述上部载台的上部表面，所述上部载台包含经构造以滑动地接纳多个相应无源参考表面且各自包含经加压气体端口的多个平坦光滑有源参考表面；
(B)底板组合件，其包含：
(i)底板主体，
(ii)多个无源参考表面，其安置在所述底板主体上、安置在所述底板主体的底部表面上且定位在所述底板主体的外部分上，以与所述x-y载台组合件的相应有源参考表面对准，(iii)多个弹性悬置部件，其安置在所述底板主体的外部分上且从所述底板的顶部部分向上延伸，及
(iv)至少一个压电电机，其紧固到所述底板主体且包含压电电机安装表面，借此所述压电电机经构造以使所述安装表面相对于所述底板主体围绕所述底板的中心轴而旋转；
(C)顶板组合件，其包含：
(i)顶板主体，
(ii)多个悬置部件安装件，其安置在所述顶板主体的外部分上、接纳所述底板的相应弹性悬置部件的上部端；及
(D)薄的带槽式挠曲组合件，其耦合在所述底板与所述顶板之间且包含挠曲主体，所述挠曲主体包括
(i)中心轴，
(ii)中心孔口，及
(iii)多个槽，其从所述中心轴及中心膛孔径向延伸且在所述挠曲主体的径向外边缘以内终止，以划界出所述挠曲主体的至少一个固定扇形区及所述挠曲主体的至少一个沿圆周邻近的可移动扇形区，且其中所述至少一个固定扇形区的内部分紧固到所述底板组合件的相应压电电机安装表面且所述至少一个可移动扇形区的内部分紧固到所述顶板，其中所述挠曲组合件经构造以允许所述底板组合件与所述顶板组合件之间的倾斜轴、俯仰轴及Z轴相对移动且将相对θ位移从所述底板组合件的所述至少一个压电电机传输到所述顶板组合件；
(E)多个Z轴电机，其安置且操作地耦合在所述底板的对应外部分与所述顶板的相应外部分之间，且经构造以产生所述底板与所述顶板的所述相应外部分之间的Z轴位移；
(F)多个Z轴位置传感器，其操作地耦合到所述顶板且经构造以测量所述顶板的Z轴位移；及
(G)至少一个θ位置传感器，其安置且操作地耦合在所述x-y载台组合件的所述上部载台与所述顶板之间，且经构造以测量所述上部载台与所述顶板之间沿θ旋转方向的相对位移；
(H)至少一个θ电机，其操作地耦合在所述底板组合件与所述x-y载台组合件的所述上部载台之间，所述至少一个电机经构造以使所述底板组合件相对于所述上部载台沿θ方向旋转；
(I)精密轴承组合件，其操作地耦合在所述x-y载台组合件的所述上部载台与所述底板主体之间，且经构造以将所述底板组合件相对于所述x-y载台组合件的θ旋转限定于围绕所述精密轴承组合件的中心轴的旋转，其中所述中心轴相对于所述上部载台是固定的；及(J)控制器系统，其操作地耦合到所述定位系统的所述电机、所述位置传感器及所述线性致动器。
2.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中多个Z轴编码器组合件包括三个Z轴编码器组合件，所述三个Z轴编码器组合件操作地耦合在所述x-y载台组合件的所述上部载台与所述顶板组合件之间，且经构造以测量所述上部载台与所述顶板组合件之间沿Z轴方向的相对位移。
3.根据权利要求2所述的多轴定位系统，其中所述三个Z轴编码器组合件被安置成彼此相距约120度。
4.根据权利要求2所述的多轴定位系统，其中所述三个Z轴编码器组合件包括经构造而以最多约5mm的间隔准确地测量位移的大标度光学编码器。
5.根据权利要求4所述的多轴定位系统，其中所述大标度光学编码器包括具有约5μm到约20μm的标度间距的编码器条带。
6.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中操作地耦合到所述顶板的所述多个Z轴位置传感器包括三个Z轴光学编码器组合件，所述三个Z轴光学编码器组合件操作地耦合在所述底板组合件与所述顶板组合件之间，且经构造以测量所述底板组合件与所述顶板组合件之间沿Z轴方向的相对位移。
7.根据权利要求6所述的多轴定位系统，其中所述三个Z轴编码器组合件被安置成彼此相距约120度。
8.根据权利要求6所述的多轴定位系统，其中所述三个Z轴编码器包括经构造而以最多约5mm的间隔准确地测量位移的大标度光学编码器。
9.根据权利要求8所述的多轴定位系统，其中所述大标度光学编码器包括具有约5μm到约20μm的标度间距的编码器条带。
10.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中所述上部载台的每一有源参考表面包含真空端口。
11.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中所述上部载台包括三个有源参考表面，所述三个有源参考表面距所述精密轴承组合件的中心轴等距地安置且彼此基本上等距地沿圆周间隔开。
12.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中所述底板组合件包括三个无源参考表面，所述三个无源参考表面距所述底板主体的中心轴等距地安置且彼此基本上等距地沿圆周间隔开。
13.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中所述底板组合件的所述弹性悬置部件包括弹性螺旋弹簧。
14.根据权利要求13所述的多轴定位系统，其中所述弹性螺旋弹簧包括锥形弹性螺旋弹簧。
15.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中所述弹性悬置部件包括三对锥形弹性螺旋弹簧，其中每一对锥形弹性螺旋弹簧距所述底板主体的中心轴等距地安置且彼此基本上等距地沿圆周间隔开。
16.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中所述底板组合件包括三个压电电机，所述三个压电电机距所述底板主体的中心θ轴等距地安置且彼此基本上等距地沿圆周间隔开。
17.根据权利要求16所述的多轴定位系统，其中每一压电电机包括积分位置测量装置，所述积分位置测量装置经构造以测量所述压电电机安装表面相对于所述底板主体围绕所述底板的所述中心轴的位置。
18.根据权利要求17所述的多轴定位系统，其中所述积分位置测量装置包括线性编码器。
19.根据权利要求16所述的多轴定位系统，其中所述压电电机各自包括压电元件，所述压电元件经构造以相对于所述底板主体的所述中心轴沿圆周方向扩展与收缩。
20.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中所述顶板组合件的所述顶板主体包括大体三角形构造，其中每一处安置有弹性悬置部件安装件
21.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中所述顶板组合件进一步包括多个卡盘安装件。
22.根据权利要求20所述的多轴定位系统，其中所述顶板主体包括具有至少一个径向延伸部的中心孔口，所述至少一个径向延伸部经构造以允许用于所述至少一个压电电机的所述至少一个压电电机安装表面的空隙。
23.根据权利要求22所述的多轴定位系统，其中所述顶板主体的所述中心孔口包含三个径向延伸部，所述三个径向延伸部经构造以允许用于彼此基本上等距地沿圆周间隔开的三个压电电机安装表面的空隙。
24.根据权利要求21所述的多轴定位系统，其进一步包括卡盘组合件，所述卡盘组合件包含紧固到所述顶板主体的所述卡盘安装件的卡盘主体。
25.根据权利要求24所述的多轴定位系统，其进一步包括举升销顶出器组合件，所述举升销顶出器组合件相对于所述底板主体紧固在所述卡盘组合件下方、包含顶出器电机及耦合到所述顶出器电机的至少一个举升销，且经构造以相对所述卡盘主体沿向上Z轴方向可控制地提升所述至少一个举升销，以举起安置在所述卡盘的顶部表面上方的件。
26.根据权利要求25所述的多轴定位系统，其中所述举升销顶出器组合件包含包括三个举升销的举升销组合件、紧固到所述举升销组合件的电磁顶出器电机的线圈，及相对于所述底板主体紧固的所述顶出器电机的磁体。
27.根据权利要求26所述的多轴定位系统，其中所述顶出器电机的所述磁体紧固到所述精密轴承组合件。
28.根据权利要求25所述的多轴定位系统，其中所述举升销顶出器组合件进一步包括操作地耦合到所述顶出器电机的线性编码器组合件。
29.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中所述带槽式挠曲部包括具有多个不同材料层的多层带槽式挠曲部。
30.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中所述带槽式挠曲部包括在三个可移动扇形区之间交错的三个固定扇形区。
31.根据权利要求29所述的多轴定位系统，其中所述多层带槽式挠曲部的材料包括选自由金属、聚合物或织物组成的群组的材料。
32.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中安置且操作地耦合在所述底板主体的对应外部分与所述顶板主体的相应外部分之间的所述多个Z轴电机包括三个电磁电机。
33.根据权利要求32所述的多轴定位系统，其中安置且操作地耦合在所述底板主体的对应外部分与所述顶板主体的相应外部分之间的所述多个Z轴电磁电机包括三个电磁音圈电机。
34.根据权利要求33所述的多轴定位系统，其中安置且操作地耦合在所述底板主体的对应外部分与所述顶板主体的相应外部分之间的所述三个音圈电机中的每一者的磁体紧固到所述底板主体，且安置且操作地耦合在所述底板主体的对应外部分与所述顶板主体的相应外部分之间的所述三个音圈电机的线圈紧固到所述顶板主体。
35.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中安置且操作地耦合在所述底板主体的对应外部分与所述顶板主体的相应外部分之间的所述多个电机经构造以允许所述顶板主体与所述底板主体之间最多约5度的相对θ旋转位移。
36.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中安置且操作地耦合在所述x-y载台组合件的所述上部载台与所述顶板之间且经构造以测量所述上部载台与所述顶板之间沿θ旋转方向的相对位移的所述至少一个θ位置传感器包括三个编码器。
37.根据权利要求36所述的多轴定位系统，其中所述三个Z轴编码器彼此具有沿θ方向约120度的角间隔。
38.根据权利要求36所述的多轴定位系统，其中所述三个θ编码器包括经构造而以最多约5mm的间隔准确地测量位移的大标度光学编码器。
39.根据权利要求38所述的多轴定位系统，其中所述大标度光学编码器包括具有约5μm到约20μm的标度间距的编码器条带。
40.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中操作地耦合在所述底板组合件与所述x-y载台组合件的所述上部载台之间的所述至少一个θ电机包括安置在所述底板主体的中心轴的相对侧上的至少一个电磁电机。
41.根据权利要求40所述的多轴定位系统，其中操作地耦合在所述底板组合件与所述x-y载台组合件的所述上部载台之间的所述至少一个电磁θ电机包括安置在所述底板主体的中心轴的相对侧上的两个音圈电机。
42.根据权利要求40所述的多轴定位系统，其中操作地耦合在所述底板组合件与所述x-y载台组合件的所述上部载台之间的所述两个音圈电机的磁体紧固到所述x-y载台组合件的所述上部载台，且操作地耦合在所述底板组合件与所述x-y载台组合件的所述上部载台之间的所述两个音圈电机的线圈紧固到所述底板主体。
43.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中操作地耦合在所述x-y载台组合件的所述上部载台与所述底板主体之间的所述精密轴承组合件包括滚珠精密轴承组合件。
44.根据权利要求1所述的多轴定位系统，其中操作地耦合到所述定位系统的所述电机、所述位置传感器及所述线性致动器的所述控制器系统包括处理器及至少一个存储器装置，且其中所述处理器经构造以读取所述至少一个存储器装置中所存储的指令。
45.根据权利要求44所述的多轴定位系统，其中所述至少一个存储器装置包括可由所述处理器读取的指令，所述指令允许所述处理器处理来自所述位置传感器的位置数据且致动所述多轴定位系统的所述电机以将上部板主体定位在所要位置中。
46.根据权利要求45所述的多轴定位系统，其中所述处理器及所述至少一个存储器装置包括经配置以产生闭环位置控制算法的指令。
47.一种多轴定位系统，其包括：
平移载台，其经构造以提供所述平移载台的底座与上部载台之间沿两个维度的位移；
底板，其可旋转地耦合到所述平移载台，使得所述底板沿θ旋转方向的旋转轴垂直于由所述平移载台的所述两个位移维度界定的平面；
至少一个底板电机，其操作地耦合在所述底板与所述平移载台之间，所述至少一个底板电机经构造以使所述底板组合件相对于所述平移载台沿所述θ旋转方向旋转；
顶板，其操作地耦合到所述底板，其中至少三个Z轴电机安置且操作地耦合在所述底板的对应外部分与所述顶板的相应外部分之间，且经构造以在所述底板与所述顶板的所述相应外部分之间产生沿基本上平行于所述底板的所述旋转轴的Z轴方向的位移；
卡盘，其经构造以可释放地紧固样品，所述样品紧固到所述顶板；
至少三个Z轴位置传感器，其安置且操作地耦合在所述平移载台的所述上部载台与所述顶板之间，且经构造以测量所述上部载台与所述顶板之间沿所述Z轴方向的相对位移；
至少三个θ位置传感器，其操作地耦合在所述平移载台的所述上部载台与所述顶板之间，且经构造以测量所述上部载台与所述顶板之间沿所述θ旋转方向的相对角位移；及控制器，其操作地耦合到所述Z轴电机、所述至少一个底板电机、所述Z轴位置传感器及所述θ位置传感器，且经构造以控制对所述Z轴电机及所述至少一个底板电机的致动。
48.根据权利要求47所述的多轴定位系统，其中所述三个Z轴位置传感器包括光学编码器组合件。
49.根据权利要求47所述的多轴定位系统，其中所述三个θ位置传感器包括光学编码器组合件。
50.根据权利要求47所述的多轴定位系统，其中所述至少三个Z轴电机包括音圈电机。
51.根据权利要求47所述的多轴定位系统，其中所述底板电机包括音圈电机。
52.根据权利要求47所述的多轴定位系统，其中所述三个Z轴电机彼此以围绕所述底板的所述旋转轴约120度的角位移分隔开。
53.根据权利要求52所述的多轴定位系统，其中所述三个Z轴位置传感器中的每一者是邻近对应Z轴电机而安置。
54.根据权利要求52所述的多轴定位系统，其中所述三个θ位置传感器中的每一者是邻近对应Z轴电机而安置。
55.一种光学检验系统，其包括：
A.光学检验工具，其包含：光源；光学物镜；检测器组合件；光具组，其以光学方式耦合所述光源、所述光学物镜及所述检测器；及检验工具控制器，其经构造以处理由所述检测器组合件所接收的光学信息；及
B.多轴定位系统，其包括：
平移载台，其经构造以提供所述平移载台的底座与上部载台之间沿两个维度的位移；
底板，其可旋转地耦合到所述平移载台，使得所述底板沿θ旋转方向的旋转轴垂直于由所述平移载台的所述两个位移维度界定的平面；
至少一个底板电机，其操作地耦合在所述底板与所述平移载台之间，所述至少一个底板电机经构造以使所述底板组合件相对于所述平移载台沿所述θ旋转方向旋转；
顶板，其操作地耦合到所述底板，其中至少三个Z轴电机安置且操作地耦合在所述底板的对应外部分与所述顶板的相应外部分之间，且经构造以在所述底板与所述顶板的所述相应外部分之间产生沿基本上平行于所述底板的所述旋转轴的Z轴方向的位移；
卡盘，其紧固到所述顶板，所述卡盘经构造以将样品可释放地紧固到其，且经安置与所述光学检验工具的所述光学物镜的光学路径连通；
至少三个Z轴位置传感器，其安置且操作地耦合在所述平移载台的所述上部载台与所述顶板之间，且经构造以测量所述上部载台与所述顶板之间沿所述Z轴方向的相对位移；
至少三个θ位置传感器，其操作地耦合在所述平移载台的所述上部载台与所述顶板之间，且经构造以测量所述上部载台与所述顶板之间沿所述θ旋转方向的相对角位移；及定位系统控制器，其操作地耦合到所述Z轴电机、所述至少一个底板电机、所述Z轴位置传感器及所述θ位置传感器，且经构造以控制对所述Z轴电机及所述至少一个底板电机的致动。
56.根据权利要求55所述的检验系统，其中所述三个Z轴位置传感器包括光学编码器组合件。
57.根据权利要求55所述的检验系统，其中所述三个θ位置传感器包括光学编码器组合件。
58.根据权利要求55所述的检验系统，其中所述至少三个Z轴电机包括音圈电机。
59.根据权利要求55所述的检验系统，其中所述底板电机包括音圈电机。
60.根据权利要求55所述的检验系统，其中所述三个Z轴电机彼此以围绕所述底板的所述旋转轴约120度的角位移分隔开。
61.根据权利要求60所述的检验系统，其中所述三个Z轴位置传感器中的每一者是邻近对应Z轴电机而安置。
62.根据权利要求60所述的检验系统，其中所述三个θ位置传感器中的每一者是邻近对应Z轴电机而安置。
63.根据权利要求55所述的检验系统，其中所述检验工具控制器操作地耦合到所述定位系统控制器，且经构造以将所述卡盘的Z轴位置数据从所述光学物镜发射到所述定位系统控制器。
64.一种检验样品的方法，其包括：
将所述样品装载到多轴定位系统的卡盘中，所述多轴定位系统包含：平移载台；底板，其可旋转地耦合到所述平移载台；顶板，其操作地耦合到所述底板，使得所述顶板可相对于所述底板沿着Z轴、倾斜轴、俯仰轴且沿着θ旋转方向而位移，且所述卡盘紧固到所述顶板；
测量安置在所述样品上的一或多个测试特征的位置以产生测试特征位置数据，所述测试特征位置数据包含所述一或多个测试特征沿着光学检验工具的物镜的光轴的Z轴位置；
将所述测试特征位置数据存储于存储器存储装置中；
依据所述测试特征位置数据而产生所述样品的表面定向的查找表；及
使所述样品相对于所述物镜沿垂直于所述物镜的所述光轴的x-y平面平移，同时运用所述多轴定位系统使用以下反馈根据所述查找表来定位所述样品：来自安置且操作地耦合在多轴定位装置的所述平移载台与所述顶板之间的多个θ位置传感器的θ位置数据反馈；及来自安置且操作地耦合在所述多轴定位装置的所述平移载台与所述顶板之间的多个Z轴位置传感器的Z轴位置反馈，所述样品被平移成使得所述样品的上部表面保持垂直于所述物镜的光轴，且所述样品的所述上部表面距所述物镜保持处于恒定距离。
65.一种检验样品的方法，其包括：
将所述样品装载到多轴定位系统的卡盘中，所述多轴定位系统包含：平移载台；底板，其可旋转地耦合到所述平移载台；顶板，其操作地耦合到所述底板，使得所述顶板可相对于所述底板沿着Z轴、倾斜轴、俯仰轴且沿着θ旋转方向而位移，且所述卡盘紧固到所述顶板；
及
使所述样品相对于光学检验工具而平移，同时运用所述多轴定位系统使用以下反馈来定位所述样品：来自安置且操作地耦合在多轴定位装置的所述平移载台与所述顶板之间的多个θ位置传感器的θ位置数据反馈；及来自安置且操作地耦合在所述多轴定位装置的所述平移载台与所述顶板之间的多个Z轴位置传感器的Z轴位置反馈。
66.根据权利要求65所述的方法，其中使所述样品平移包括使所述样品平移成使得所述样品的上部表面保持垂直于光学检验工具的物镜的光轴，且所述样品的所述上部表面沿着所述物镜的光轴距所述物镜保持处于恒定距离。
67.根据权利要求66所述的方法，其进一步包括将所述样品的Z轴位置数据从所述检验工具的检验工具控制器发射到所述多轴定位系统的定位系统控制器。