专利汇可以提供真空设备专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种 真空 设备,它具有多个冷冻 泵 (10),尤其是多个并联设置的冷冻泵。另外设有至少一个 压缩机 装置(16),它经由一些介质供应管道(12)与冷冻泵(10)连接。一个介质 回 流管 道(14)同样与压缩机装置(16)和冷冻泵(10)连接。在介质供应管道(12)和介质回流管道(14)之间设置一个用于介质的储存容器(20)。另外在介质供应管道(12)中设置一个压 力 测量装置(30)。压力测量装置经由一个控制装置(32)与一个供应 阀 (26)连接。为了使在冷冻泵(10)上的压力差几乎保持恒定,在介质供应管道(12)中的压力超过一个极限值时,供应阀(26)开启,使得介质流入到储存容器(20)内。,下面是真空设备专利的具体信息内容。
1.一种真空设备,包括:
多个冷冻装置(10);
一个经由一些介质供应管道(12)与冷冻装置(10)连接的压缩 机装置(16);
一些与冷冻装置(10)和压缩机装置(16)连接的介质回流管道 (14);
一个经由连接管道(22、24)与介质供应管道(12)和介质回流 管道(14)连接的储存容器(20);
一个设置在位于介质供应管道(12)和储存容器(20)之间的连 接管道(22)中的供应阀(26);以及
一个控制装置(32),它与一个用于测量介质压力的压力测量装置 (30)和供应阀(26)连接,用于根据测量的压力控制供应阀(26), 其特征为:
仅在介质供应管道(12)中或仅在介质回流管道(14)中设置一 个压力测量装置(30)。
2.如权利要求1所述的真空设备,其特征为:根据冷冻装置特性 曲线确定极限值或极限范围,用于控制供应阀(26)。
3.如权利要求1或2所述的真空设备,其特征为:一个与控制装 置(32)连接的回流阀设置在位于介质回流管道(14)和储存容器(20) 之间的连接管道(24)中。
4.如权利要求1或2所述的真空设备,其特征为:一个具有优选 小的孔的喷嘴(28)设置在位于介质回流管道(14)和储存容器(20) 之间的连接管道(24)中。
5.一种用于控制如权利要求1至4之一所述的真空设备的方法, 其特征为:
在超过一个由压力测量装置(30)测得的最大极限值时,供应阀 (26)开启,使介质流入到储存容器(20)内;而
在低于一个由压力测量装置(30)测得的最小极限值时,回流阀 开启,使介质从储存容器(20)流入到介质回流管道(14)内。
6.一种用于控制如权利要求1至4之一所述的真空设备的方法, 其特征为:
在超过一个由压力测量装置(30)测得的最大极限值时,供应阀 (26)开启,使介质流入到储存容器(20)内;而
在存在一个相应的压力差时,使介质通过喷嘴(28)流入到介质 回流管道(14)内,直至因冷冻装置(10)上的压力差变化,介质供 应管道(12)内的压力超过最大极限值为止。
7.如权利要求5或6所述的用于控制真空设备的方法,其特征为: 压缩机装置(16)连续地供应介质。
8.如权利要求5至7之一所述的用于控制真空设备的方法,其特 征为:介质从储存容器(20)只排到介质回流管道内。
本发明涉及一种真空设备,尤其是一种具有多个冷冻用低温泵的 真空设备。
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