专利汇可以提供真空系统专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种 真空 系统,其具有至少一个真空 泵 和至少一个容器,其中在 真空泵 和容器之间设置可拆性的连接部,同时在大气侧设置至少一个弹性 密封件 并且在真空侧方向上设置至少一个间隙密封件用于密封所述连接部,同时在弹性密封件与间隙密封件之间设有至少一个抽吸通道和/或至少一个抽吸口。,下面是真空系统专利的具体信息内容。
1.一种真空系统,具有至少一个真空泵和至少一个容器,其中在所述真空泵和容器之间设置有可拆性的连接部,其中在大气侧设置有至少一个弹性密封件并且在真空侧方向上设置有至少一个间隙密封件以用于密封所述连接部,其特征在于,所述弹性密封件(6)被构造成O型密封环并且所述间隙密封件被构造为泵壳体表面,所述泵壳体表面朝着容器表面挤紧,其中为了避免在加热所述容器时由所述弹性密封件所产生的气体的影响,在所述弹性密封件(6)和间隙密封件(7)之间设置了至少一个抽吸通道(8)和/或至少一个抽吸口(9、
11、17)。
2.如权利要求1所述的真空系统,其特征在于,在所述至少一个抽吸通道(8)中设置了多个与衬套孔(18)相连的抽吸口(17)。
3.如权利要求1所述的真空系统,其特征在于,所述抽吸通道(8)被构造成自由旋转和/或自由铣削。
4.如权利要求2所述的真空系统,其特征在于,所述抽吸通道(8)被构造成自由旋转和/或自由铣削。
5.如权利要求1-4中任一项所述的真空系统,其特征在于,所述抽吸通道(8)具有一个或多个出口,用于抽出空气。
6.如权利要求1-4中任一项所述的真空系统,其特征在于,在所述弹性密封件(6)和间隙密封件(7)内布置了至少一个容器的一个或多个真空端口(2)。
7.如权利要求6所述的真空系统,其特征在于,所述多个真空端口(2、3、4、5)处于不同的压力水平。
8.如权利要求1-4和7中任一项所述的真空系统,其特征在于,在所述弹性密封件(6)和间隙密封件(7)之间的抽吸元件被引至在所述弹性密封件(6)和所述间隙密封件(7)内部或在所述弹性密封件(6)和所述间隙密封件(7)外部的真空端口(3)中。
9.如权利要求1-4和7中任一项所述的真空系统,其特征在于,在所述弹性密封件(6)和间隙密封件(7)外部布置了至少一个其它的真空端口(3、4)。
10.如权利要求6所述的真空系统,其特征在于,所述真空端口(2、3、4、5)布置在一个或多个平面上。
11.如权利要求1-4和7中任一项所述的真空系统,其特征在于,所述弹性密封件(6)和间隙密封件(7)布置在所述真空系统的法兰中。
12.如权利要求1-4和7中任一项所述的真空系统,其特征在于,所述弹性密封件(6)和间隙密封件(7)布置在所述真空系统的装配组件和/或安装部件中。
13.如权利要求8所述的真空系统,其特征在于,所述抽吸元件布置在所述真空系统的壳体内部或外部。
14.如权利要求1-4和7中任一项所述的真空系统,其特征在于,所述弹性密封件(6)和间隙密封件(7)被设置用来密封超高真空端口。
15.如权利要求1所述的真空系统,其特征在于,布置了额外的真空泵,用于抽吸所述抽吸通道(8)和/或抽吸口(9、11、17)。
16.如权利要求1-4和7中任一项所述的真空系统,其特征在于,法兰由不锈钢或铝制成。
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