真空装置
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1. 一种真空装置，包括：
多个低温泵(10)，连接一个或多个真空室；
压缩装置(16)，经由介质供应管道(12)和介质回流管道(14) 与低温泵(10)连接；
调节装置(18)，连接在至少一低温泵(10)之前，以控制供给低 温泵(10)的介质量；
温度测量装置，与低温泵(10)连接；和
控制器(28)，与调节装置(18)及温度测量装置连接；
其特征在于，调节装置(18)包括布置在相应的介质供应管道(12) 内的节流装置(24)，以及布置在跨越节流装置的节流旁通管道(22) 内的阀(26)。
2. 如权利要求1所述的真空装置，其特征在于，节流旁通管道(22) 的截面是为最大介质供应而设计的。
3. 如权利要求1或2所述的真空装置，其特征在于，节流装置(24) 的截面是为标准操作所需介质供应而设计的。
4. 如权利要求1所述的真空装置，其特征在于，节流装置(24) 的截面面积是可调节的。
5. 如权利要求1所述的真空装置，其特征在于，通过阀(26)的 流量是可调节的。
6. 如权利要求1所述的真空装置，其特征在于，调节装置(18) 连接在各低温泵(10)之前。
技术领域
背景技术
通常，所用低温泵为两级式低温泵，按照Gifford McMahon原理 操作。在低温泵中，通常是各级有一活塞，适当的是为共用活塞。在 各活塞冲程中传送冷却介质，两级即相对应冷却。例如，辐射热或其 它温度影响，会将个别泵加热。此外，有低温气体密度高引起的问题， 在每一冲程中，较冷的低温泵会比较热的低温泵处理更多量的氦。因 此，受到压缩机容量限制的可得到的氦量，被较冷低温泵消耗到较大 程度，以致较热低温泵可得到的气体量减少。结果，太热的低温泵要 费较长时间冷却。
按照US 5,775,109，此问题通过控制气体流量加以解决。此项控 制可通过加热低温泵实现，以防止泵输送增加量的冷却介质。此外， 活塞速度可降低，或活塞可停止。然而，其缺点是热力学效率下降， 因为冷却器调节到特定频率。氦内储存的冷却能量因此没有完全利用。
发明内容
按照本发明，此目的是以一种具有权利要求1特征的真空泵实现。
本发明的真空装置包括多个低温泵，其连接一个或多个真空室。 这些泵优选是按照Gifford McMahon原理操作的低温泵，并优选包括 冷却头。借助于经由介质供应管道和介质回流管道与低温泵连接的压 缩装置，在低温泵内可提供至少二种不同压力水准的氦。本发明的真 空装置可特别包括五个以上，甚至可能十个以上低温泵，彼此并列布 置。这种系统还包括压缩装置，有多个(例如二或三个)压缩机，尤 其是氦压缩机。此举造成较高能量需求，例如10至20千瓦特。此外， 真空装置包括至少一调节装置，直接连接在低温泵前，即与之相关。 借助调节装置，可以控制供给低温泵的氦量。为此目的，调节装置与 控制器连接。此外，设有温度测量装置，与低温泵连接，特别是测量 两级的温度。
本发明的调节装置布置在低温泵的介质供应管道内，并包括设在 介质供应管道内的节流装置。此外，调节装置包括支路或跨越节流装 置的节流旁通管。在节流旁通管道内布置有阀。该阀可利用控制器加 以控制。因此，借助本发明的调节装置，可实现特别有两种介质供给 情况供应给低温泵。在一种情况中，布置于旁通管道内的阀关闭，使 介质只能经由节流装置流至低温泵。在另一种情况中，阀完全打开， 使介质的最大量经旁通管道流至低温泵。在简单实施例中，阀可构造 成开关阀，只包括两种状态，“全关”或“全开”。
借助控制器，因此可通过打开阀，以简单方式把大量冷却介质供 给太热的低温泵。因此，关闭或保持与充分冷却的低温泵相关的阀关 闭，可防止太大量的冷却介质被该低温泵所消耗。
在特别优选的变化例中，本发明的此种调节装置与多个低温泵关 联。具体地，本发明的调节装置与真空装置的各低温泵关联。因此， 可以简单方式确保对太热的低温泵供应充足量的冷却介质，以便快速 达到低温泵的所需温度。
在优选实施例中，选择节流旁通常道的截面，使可能有最大介质 供应。旁通管道内所设的阀可构造为使阀的有效截面可以变化，因而 介质流量可以变化。旁通管道内布置的阀优选截面直径在6mm以上。 所设喷嘴的截面直径大约1mm。
此外，可提供有效截面积可调节的节流装置。这所提供的优点是， 节流装置的截面面积可以调节，使在标准操作当中，所需量的冷却介 质的量可经此介质供应管道流到低温泵，而旁通管道内布置的阀可在 标准操作中关闭。如此可容许例如由于热辐射而太热的低温泵被供应 充分大量的冷却介质，尤其是氦。例如在启动操作期间，大量介质也 是必须的。
在标准操作期间，低温泵通常只需在第一和第二级中保持温度恒 定的最大量冷却介质的三分之一。借助本发明真空装置，即可减少压 缩机的容量，因为本发明在网路上所布置的个别低温泵最大负载下， 容许较低总体冷却剂消耗或冷却剂流量。
附图说明
图1为本发明真空泵的简图；
图2为节流旁通管道内所布置阀在控制上的简单流程图。
具体实施方式
真空装置包括多个低温泵10，连接一个或多个真空室(图上未 示)。低温泵10彼此并联布置，并经由介质供应管道12和介质回流管 道14与包括两个压缩机16的压缩装置连接。
在与低温泵10直接关联的各个介质供应管道12内，各设有一调 节装置18，以控制供给低温泵的介质量。调节装置18包括介质供应 管道12的支路，分成两管道20、22彼此并列延伸。在第一管道20 内，设有节流装置24，第二管道22内设有阀26。
在图示实施例中，各阀26经由虚线所示电路与控制器28连接。 控制器28又经由虚线所示电路连接布置在低温泵10内的温度测量装 置。
在图示实施例中，节流装置24不可变，却包括恒定的截面。另外， 阀16是开关阀，可关闭或开启。此阀不包括中间位置。
控制器28的示范性功能如第2图所示。于此，在第一步骤30， 就特定低温泵10的第一级温度与目标值加以比较。如果第一级测得温 度超过目标值，即如果低温泵10的第一级太热，问题一定答“是”， 从而在步骤32把各阀26打开。
若第一级的温度不超过目标值，在步骤34中检测第二级温度与第 二目标值对照，该第二目标值与步骤30中检测的第一目标值不同。在 步骤30中，如果第二级温度超过目标值，即第二级太热，作出“是” 的决定。因此，在步骤32中打开阀26。
若第二级也够冷，即不超过目标值，作出“否”的决定，阀保持 关闭(步骤36)。
上述各个低温泵的调查是定期进行的。阀的控制可进一步改进， 尤其是在阀还可以是半开半闭的情况。为此目的，可例如界定进一步 目标值和/或阈值。
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