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一种水分散型 研磨材料

阅读：1031发布：2020-05-12

专利汇可以提供一种水分散型研磨材料专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种水分散型研磨材料，其重量组成为Al2O3 30‑35份、WO325‑30份、ZrO2 20‑25份，钠元素与上述氧化物重量比0.005：1‑0.05：1。使用Al2O3、WO3、ZrO2为主体研磨材料,同时添加NaOH,利用Al2O3、WO3能够在强碱性条件可形成偏铝酸钠、钨酸钠盐，通过培烧后，再粉碎成研磨粒子，从而实现研磨粒子在以水为分散剂的研磨浆料中，形成均匀稳定的浆料，保证研磨产品质量稳定。同时不需加入其它分散剂，不产生对环境污染的废水，减少了环境污染。，下面是一种水分散型研磨材料专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种水分散型研磨材料，其重量组成为Al2O3 30-35份、WO325-30份、ZrO2 20-25份，钠元素与上述氧化物重量比0.005：1-0.05：1。
2.根据权利要求1所述的水分散型研磨材料，其重量组成为Al2O3 32-35份、WO3 28-30份、ZrO2 22-24份CaO 4.0份，钠元素与上述氧化物重量比0.01：1-0.03：1。
3.权利要求1所述的水分散型研磨材料制备方法，制备步骤如下：
（1）根据配比进行计量称重；
（2）混料，将Al2O3、WO3、ZrO2在水中研磨形成均匀淤浆；
（3）步骤（2）形成的均匀淤浆中按钠元素含量加入NaOH，用球磨机研磨均匀；
（4）将步骤（3）得到研磨材料，加热脱水干燥，温度为120-140℃；
（5）将步骤（4）得到的研磨材料进行干式粉碎，粉碎后在850-880℃下进行培烧，培烧时间为10-12小时，从开始加热到培烧温度时间为8-10小时；
（6）将培烧后产品用试样粉碎机进行粉碎，得到粒径为0.1-5μm研磨材料粒子。
4.一种研磨浆液，是将权利要求3制备的研磨粒子与水配成浆液，研磨粒子与水的重量比为5：95-50：50。

说明书全文

一种水分散型 研磨材料

技术领域

[0001] 本发明涉及以Al2O3和WO3为主成分的钨系研磨材料，特别涉及含有Na的氧化物为主成分的钨系研磨材料。

背景技术

[0002] 对于在研磨硬盘用玻璃基板、液晶显示面板的玻璃基板、光掩模用合成石英基板等基板的用途中使用的研磨用组合物，为了提高研磨后的基板的品质，强烈要求研磨后的基板的表面粗糙度小以及研磨后的基板上如划痕那样的表面缺陷少。另外，为了缩短研磨操作所耗费的时间，还要求基板的研磨速度（去除速度）高。

[0003] 在研磨玻璃基板的用途中，以往有时会使用氧化铈系的研磨材料。然而，以铈为首的稀土元素价格昂贵。因此，存在稀土元素由于国际形势而供给不足、与之伴随产生价格上升的担心。所以，期望开发基于不需要稀土元素的代替材料的研磨材料。

[0004] 在研磨材料使用中，研磨材料以氧化物干燥粉末状态提供研磨材料粉末和与水等分散介质混合而成的淤浆状态研磨材料淤浆。

[0005] 研磨材料粉末在淤浆中分布均匀与稳定性对研磨产品品质的重大影响，为了保持研磨材料淤浆的均匀与稳定性，一般需加入抑制研磨研磨材料淤浆中的研磨粒子沉降的分散剂，一般为六偏磷酸钠和聚丙烯酸铵等含磷、含铵物质。研磨材料后处理时，分离固液后，废水会严重污染环境，同时分散剂的加入也会增加使用成本。

[0006] 开发水分散型的研磨材料既符合环保要求，也可节约成本。

发明内容

[0007] 本发明目的在于提供一种水分散型研磨材料。

[0008] 实现上述发明目的技术方案：一种水分散型研磨材料，其重量组成为Al2O3 30-35份、WO325-30份、ZrO2 20-25份，钠元素与上述氧化物重量比0.005：1-0.05：1。

[0009] 其制备步骤如下：（1）根据配比进行计量称重；
（2）混料，将Al2O3、WO3、ZrO2在水中研磨形成均匀淤浆；
（3）步骤（2）形成的均匀淤浆中按钠元素含量加入NaOH，用球磨机研磨均匀；
（4）将步骤（3）得到研磨材料，加热脱水干燥，温度为120-140℃；
（5）将步骤（4）得到的研磨材料进行干式粉碎，粉碎后在850-880℃下进行培烧，培烧时间为10-12小时，从开始加热到培烧温度时间为8-10小时；
（6）将培烧后产品用试样粉碎机进行粉碎，得到粒径为0.1-5μm研磨材料粒子。

[0010] 其优选的配比为：Al2O3 32-35份、WO3 28-30份、ZrO2 22-24份CaO 4.0份, 钠元素与上述氧化物重量比0.01：1-0.03：1。

[0011] 研磨浆液是将上述制备的研磨粒子与水配成浆液，研磨粒子与水的重量比为5：95-50：50。

[0012] 本发明的特点及效果本发明使用Al2O3、WO3、ZrO2为主体研磨材料,同时添加NaOH,利用Al2O3、WO3能够在强碱性条件可形成偏铝酸钠、钨酸钠盐，通过培烧后，再粉碎成研磨粒子，从而实现研磨粒子在以水为分散剂的研磨浆料中，形成均匀稳定的浆料，保证研磨产品质量稳定。同时不需加入其它分散剂，不会产生污染环境的废水，减少了环境污染。

具体实施方式

[0013] 下面结合实施例进一步描述本发明，但并不限制本发明的保护范围。

[0014] 实施例1按总重量1kg，重量组成为Al2O3 33份、WO3 28份、ZrO2 28份，钠元素与上述氧化物重量比0.02：1。

[0015] 其制备步骤如下：（1）根据配比进行计量称重；
（2）混料，将Al2O3、WO3、ZrO2在水中研磨形成均匀淤浆；
（3）步骤（2）形成的均匀淤浆中按钠元素含量加入NaOH，用球磨机研磨均匀；
（4）将步骤（3）得到研磨材料，加热脱水干燥，温度为120-140℃；
（5）将步骤（4）得到的研磨材料进行干式粉碎，粉碎后在850-880℃下进行培烧，培烧时间为10小时，从开始加热到培烧温度时间为9小时；
（6）将培烧后产品用试样粉碎机进行粉碎，得到粒径为0.1-5μm研磨材料粒子。

[0016] 将得到的0.1-5μm研磨材料粒子，与水重量比为20：80比例，通过搅拌配成浆液，经过存放24小时，没有出现分层现象。

[0017] 实施例2按总重量1kg，重量组成为Al2O3 35份、WO3 25份、ZrO2 30份，钠元素与上述氧化物重量比0.05：1。

[0018] 其制备步骤如下：（1）根据配比进行计量称重；
（2）混料，将Al2O3、WO3、ZrO2在水中研磨形成均匀淤浆；
（3）步骤（2）形成的均匀淤浆中按钠元素含量加入NaOH，用球磨机研磨均匀；
（4）将步骤（3）得到研磨材料，加热脱水干燥，温度为120-140℃；
（5）将步骤（4）得到的研磨材料进行干式粉碎，粉碎后在850-880℃下进行培烧，培烧时间为12小时，从开始加热到培烧温度时间为10小时；
（6）将培烧后产品用试样粉碎机进行粉碎，得到粒径为0.1-5μm研磨材料粒子。

[0019] 将得到的0.1-5μm研磨材料粒子，与水重量比为20：80比例，通过搅拌配成浆液，经过存放48小时，没有出现分层现象。

[0020] 对比例1按总重量1kg，重量组成为Al2O3 35份、WO3 25份、ZrO2 30份。

[0021] 其制备步骤如下：（1）根据配比进行计量称重；

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