弯曲结构金属连线缺陷的检测方法
阅读：7发布：2021-06-18
专利汇可以提供弯曲结构金属连线缺陷的检测方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提出一种带电 粒子束 检测弯曲结构金属连线 缺陷 的方法，该方法包括：先把弯曲结构金属连线的首末端接相同电位，然后用带电粒子束横向检测弯曲结构金属连线的金属直线部分，并通过作出 电流 变化曲线确定缺陷的种类和 位置 范围，再通过纵向检测并分析电流变化曲线，最终确定弯曲结构金属连线缺陷的精确位置。该方法由于采用带电 电子 束或带电离子束进行检测，使检测的空间 分辨率 从微米级提高到 纳米级 ，基本不受缺陷的材料的影响，能检测微小缺陷引起的很小的电 阻变 化，并通过横向检测缩短了弯曲结构金属连线缺陷的检测时间，极大地提高缺陷分析效率。，下面是弯曲结构金属连线缺陷的检测方法专利的具体信息内容。
1.一种带电粒子束检测弯曲结构金属连线缺陷的方法，该方法包括：
弯曲结构金属连线两端为输出端并接相同的电位；
带电粒子束沿与金属直线垂直的方向横向检测弯曲结构金属连线的金属直线上各点，通过横向电流变化曲线变化确定缺陷的种类和位置范围；
带电粒子束在确定的缺陷位置范围内沿金属直线的方向纵向检测弯曲结构金属连线的金属直线，通过纵向电流变化曲线变化对缺陷位置进行精确定位。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述带电粒子束是带电电子束或带电离子束。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述带电粒子束带有恒定束流。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述横向电流变化曲线是各输出端电流与对应金属直线上各点位置之间的对应关系，该对应关系可以为：各输出端电流，各输出端电流线性组合以及上述各输出端电流或各输出端电流线性组合随检测点位置改变的变化率与对应各点位置的关系。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述带电粒子通过电流变化曲线变化确定缺陷的种类和位置范围为：
当横向电流变化曲线斜率不变，金属连线上没有缺陷；
当横向电流变化曲线斜率增大，缺陷种类为孔洞或杂质缺陷，其位置范围是跳变点之间的金属连线；
当横向电流变化曲线斜率减小，缺陷种类为短路缺陷，其位置范围是跳变点之间的金属连线。
6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述各输出端电流是取对应金属直线上某一稳定点的电流，稳定点附近若干点的平均电流，或各点的最大电流。
7.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述电流线性组合为两输出端电流的差值。
弯曲结构金属连线缺陷的检测方法
技术领域
[0001] 本发明涉及一种金属连线中缺陷的检测方法，特别涉及一种弯曲结构金属连线缺陷的检测方法。
背景技术
[0002] 目前，在半导体集成电路工艺制造晶圆的过程中，晶圆内金属连线的孔洞或杂质颗粒缺陷是主要失效模式，对晶圆成品率有很大影响。因此，针对生产过程中缺陷的监控设计了晶圆允收测试(WAT，wafer acceptance test)以及可靠性检测。
[0003] 激光束诱发阻抗变化(OBIRCH，optical beam induced resistance change)是利用激光束的热效应使被照射处的温度变化进而引起阻值变化的原理进行失效定位分析的技术。在待测器件两个输入端外加电压，同时利用激光束照射待测器件上的各点，通过激光束的热效应使被照射的各点的温度发生变化并由此产生被照射的各点的阻值变化即热敏电阻效应，从而引起输出端的输出电流变化，并记录所述输出电流的变化趋势与激光束照射的各点的对应关系。当激光束照射到有缺陷的各点时，由于缺陷的材料特性不同于正常区域，激光束照射引起的电阻变化会不同于正常区域，此时待测器件输出端的输出电流变化趋势就会不同，从而定位缺陷的位置。OBIRCH技术可以检测集成电路制造过程中产生的缺陷，也可以检测后续可靠性测试过程中产生的缺陷，如电迁移测试引起的金属连线中的空洞。
[0004] OBIRCH技术仅适合半导体器件的较大范围缺陷定位，其检测的空间分辨率受到光学成像系统的限制，只能达到微米级，无法满足小尺寸失效分析的需要，尤其在对尺寸狭窄的金属互连线进行缺陷检测时，由于激光光斑尺寸的限制以及受缺陷的材料与尺寸的影响，OBIRCH技术存在缺陷查找的灵敏度以及定位精度太低的问题。
[0005] 除了激光束诱发阻抗变化外，还有带电粒子束探测金属连线缺陷法，结合图1～图3说明该方法的原理：
[0006] 步骤1、把金属连线的两端接到一个相同的电位V0上，并在两端分别接电流表；
[0007] 本步骤中，当两端接地时，作为特例，相同电位V0＝0伏；
[0008] 步骤2、带电粒子束沿金属连线检测，测量和记录检测点70的位置和对应的电流I1和I2，作出电流变化曲线，并分析确定缺陷位置；
[0009] 本步骤中，带电粒子束检测方向是沿金属连线并从左端开始到右端结束，如图1所示，包括金属连线10，金属连线10中的缺陷20，金属连线10一端串联电流表a30，金属连线10另一端串联电流表b40，金属连线10两端的共同接地端50，带电粒子束60，带电粒子束检测点70；
[0010] 本步骤中，恒定束流带电粒子束60将带电电子束或带电离子束照射到金属连线10的表面，带电电子束或带电离子束产生的恒定电流将会分别流向金属连线10接地的左右两端，并定义流向左端的电流为I1，流向左端的电流为I2，带电粒子束检测点70在金属连线10上的位置由x表示；
[0011] 其中，带电电子束可以由扫描电子显微镜(SEM，Scanning electron microscope)提供，带电离子束可由聚焦带电离子束(FIB，Focused ion beam)提供；
[0012] 图2为带电粒子束在金属连线上检测时的等效电路图，包括并联电阻R1和电阻R2，与电阻R1串联的电流表30，与电阻R2串联的电流表40，并联电阻R1和R2共同的接地端50，并联电路的总电流I，流过R1的电流I1和流过R2的电流I2，其中电阻R1是检测点70向左到接地端的电阻，电阻R2是检测点70向右到接地端的电阻，并联电路总电流I就是带电粒子束总电流；
[0013] 本步骤中，I1可用电流表30测量，I2可用电流表40测量，电流变化曲线具体是指：一条以x为横坐标，对应的(I2-I1)为纵坐标的曲线a1，另一条以x为横坐标，对应的为纵坐标的直线b1，如图3所示，包括曲线a1，直线b1；
[0014] 对电流变化曲线a1和直线b1的分析如下：
[0015] 首先定义金属连线10的x处的线电阻率：
[0016] ρl(x)＝ρ(x)/S (0.1)
[0017] 其中ρl(x)：金属连线x处的线电阻率，ρ(x)：金属连线x处的电阻率，S：金属连线横截面积。在S相同的均匀材料的金属连线上，ρ(x)相同，则ρl(x)也相同。
[0018] 结合图1和图2，电阻R1和R2可表示为：
[0019]
[0020]
[0021] 电阻R1、R2与总电阻R的关系为：
[0022]
[0023] 其中，r1和r2分别为金属连线的左右两端到接地点的电阻。
[0024] 并联电路总电流I和电流I1和I2的关系由并联分流原理表示为：
[0025]
[0026]
[0027] (0.5)和(0.6)两式分别对检测位置x求微分得：
[0028]
[0029]
[0030] (0.8)和(0.7)两式相减得：
[0031]
[0032] 由式(0.7)、(0.8)和(0.9)可以看出，电流I1、I2及电流I1和I2的诸多线性组合之一：电流I2与I1的差值(I2-I1)对检测位置x的微分与金属连线的线电阻率ρl(x)成正比。
[0033] 对于没有缺陷的均匀金属连线电阻率ρ是常数，当截面积S不变时，由(0.1)可知，线电阻率ρl(x)也是常数。由式(0.9)可知，当线电阻率ρl(x)为常数时，电流I2与I1的差值(I2-I1)对检测位置x的微分 不改变。
[0034] 当金属连线中的缺陷20为孔洞或杂质颗粒时，金属连线中的缺陷20处的有效宽度或厚度会发生改变，即有效截面积S发生变化，由式(0.1)可知此点位置x的线电阻率ρl(x)也会发生改变，则 的值也会发生变化。因此，通过测量和记录在金属上各点位置x检测时的电流I1、I2，并计算得到电流I2与I1的差值(I2-I1)，作出以位置x为横坐标，电流I2与I1的差值(I2-I1)为纵坐标的曲线a1，和以位置x为横坐标， 为纵坐标的直线b1，并分析曲线a1和b1的变化就可以观察到金属连线的线电阻率ρl(x)是否变化，线电阻率ρl(x)变化的位置点x就是孔洞或杂质颗粒缺陷位置。
[0035] 所以，如图3，任何预料之外的图像曲线a1的斜率变化和直线b1的波动都是金属连线的线电阻率ρl(x)改变的表征，即在变化和波动发生的位置有孔洞或杂质颗粒缺陷存在。
[0036] 从以上叙述可以看出，OBIRCH检测缺陷的灵敏度受缺陷的材料和尺寸影响比较大，并且检测的空间分辨率只能达到微米级。而带电粒子束虽然可以精确检测金属连线缺陷(孔洞或杂质颗粒)的位置，但对弯曲结构金属连线如果采用上述方法沿金属连线进行带电粒子束检测，其检测时间会很长，效率较低，因此，希望能够提高缺陷的检测效率。
发明内容
[0037] 有鉴于此，本发明提出一种带电粒子束检测弯曲结构金属连线中缺陷的方法，该方法能够提高对弯曲结构金属连线中的缺陷的检测效率。
[0038] 为解决上述问题，本发明的技术方案具体是这样实现的：
[0039] 一种带电粒子束检测弯曲结构金属连线缺陷的方法，该方法包括：
[0040] 弯曲结构金属连线两端为输出端并接相同的电位；
[0041] 带电粒子束沿与金属直线垂直的方向横向检测弯曲结构金属连线的金属直线，通过横向电流变化曲线变化确定缺陷的种类和位置范围；
[0042] 带电粒子束在确定的缺陷位置范围内沿金属直线的方向纵向检测弯曲结构金属连线的金属直线，通过纵向电流变化曲线变化对缺陷位置进行精确定位。
[0043] 所述带电粒子束是带电电子束或带电离子束。
[0044] 所述带电粒子束带有恒定束流。
[0045] 所述横向电流变化曲线是各输出端电流与对应金属直线上各点位置之间的对应关系，该对应关系可以为：各输出端电流，各输出端电流线性组合以及上述各输出端电流或各输出端电流线性组合随检测点位置改变的变化率与对应各点位置的关系。
[0046] 所述带电粒子通过电流变化曲线变化确定缺陷的种类和位置范围为：
[0047] 当横向电流变化曲线斜率不变，金属连线上没有缺陷；
[0048] 当横向电流变化曲线斜率增大，缺陷种类为孔洞或杂质缺陷，其位置范围是跳变点之间的金属连线；
[0049] 当横向电流变化曲线斜率减小，缺陷种类为短路缺陷，其位置范围是跳变点之间的金属连线。
[0050] 所述各输出端电流是取对应金属直线上某一稳定点的电流，稳定点附近若干点的平均电流，或各点的最大电流。
[0051] 所述电流线性组合为两输出端电流的差值。
[0052] 由上述的技术方案可见，本发明提出一种带电粒子束检测弯曲结构金属连线缺陷的方法，该方法用带电粒子束对弯曲结构金属连线的金属直线进行横向检测，得到横向电流变化曲线，通过分析横向电流变化曲线斜率的变化确定缺陷的种类和位置范围，再通过纵向检测并分析纵向电流变化曲线斜率的变化，最终确定弯曲结构金属连线缺陷的精确位置。该方法由于采用SEM提供的带电电子束或FIB提供的带电离子束进行检测，相比OBIRCH，基本不受缺陷的材料的影响，能检测微小缺陷引起的很小的电阻变化，并且检测的空间分辨率从微米级提高到纳米级，同时由于采用对金属直线的横向检测从而克服了一般带电粒子束检测法需要沿弯曲结构金属连线逐点检测才能确定缺陷位置的缺点，缩短了检测时间，极大地提高缺陷分析效率。附图说明
[0053] 图1为现有技术带电粒子束检测金属连线的示意图；
[0054] 图2为现有技术带电粒子束检测金属连线的等效电路图；
[0055] 图3为现有技术带电粒子束检测金属连线的电流和电流微分变化曲线图；
[0056] 图4为本发明带电粒子束从端点连接线开始横向检测弯曲结构金属连线的示意图；
[0057] 图5为本发明带电粒子束检测弯曲结构金属连线的等效电路图；
[0058] 图6为本发明带电粒子束检测无缺陷的弯曲结构金属连线的横向电流变化曲线图，其中，图6a为横向电流I1变化曲线图，图6b为横向电流I2变化曲线图；
[0059] 图7为本发明带电粒子束检测有缺陷的弯曲结构金属连线的横向电流变化曲线图，其中，图7a为横向电流I1变化曲线图，图7b为横向电流I2变化曲线图；；
[0060] 图8为本发明带电粒子束纵向检测已确定存在缺陷的金属直线的纵向电流和电流微分变化曲线图；
[0061] 图9为本发明带电粒子束从金属直线中部开始横向检测弯曲结构金属连线的示意图；
[0062] 图10为本发明带电粒子束横向检测弯曲结构金属连线的金属直线中部的横向电流变化曲线图。
具体实施方式
[0063] 为使本发明的目的、技术方案、及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本发明进一步详细说明。
[0064] 本发明提出一种带电粒子束检测弯曲结构金属连线缺陷的方法，该方法用带电粒子束对弯曲结构金属连线的金属直线进行横向检测，得到横向电流变化曲线，通过分析横向电流变化曲线斜率的变化确定缺陷的种类和位置范围，再通过纵向检测并分析纵向电流变化曲线斜率的变化，最终确定弯曲结构金属连线缺陷的精确位置。该方法由于采用SEM提供的带电电子束或FIB提供的带电离子束进行检测，相比OBIRCH，基本不受缺陷的材料的影响，能检测微小缺陷引起的很小的电阻变化，并且检测的空间分辨率从微米级提高到纳米级，同时由于采用对金属直线的横向检测从而克服了一般带电粒子束检测法需要沿弯曲结构金属连线逐点检测才能确定缺陷位置的缺点，缩短了检测时间，极大地提高缺陷分析效率。
[0065] 为了更好说明本发明的操作步骤和原理，列举两个具体的实施例，结合图4～图10对每个实施例的各个步骤加以解释和分析。
[0066] 具体实施例1如下：
[0067] 步骤1、弯曲结构金属连线两端接相同电位V0，并在两端分别接电流表；
[0068] 本步骤中，作为特例，当两端接地时，相同电位V0＝0伏；
[0069] 步骤2、带电粒子束横向检测弯曲结构金属连线的端点连接线，测量和记录各检测点70的位置x和对应的电流I1和I2，作出电流变化曲线，并分析确定缺陷的范围；
[0070] 本步骤中，带电粒子束将带有恒定束流的带电电子束或带电离子束照射弯曲结构金属连线表面，其中，带电电子束可以由SEM提供，带电离子束可由FIB提供，带电电子束或带电离子束产生的恒定电流将会在检测点70发生分流，分别流向弯曲型.金属连线接地端，并定义流向左端的电流为I1，流向右端的电流为I2；
[0071] 检测示意图如图4所示，弯曲结构金属连线11是由2n(n为大于等于1的整数)条平行的金属直线用金属连接线首尾相连组成，并且两条相连的金属直线在连接端金属连接线的同侧并与连接端金属连接线成直角，电流表30接在弯曲结构金属连线11的左侧，电流表40接在弯曲结构金属连线11的右侧，弯曲结构金属连线左右两端再同时接接地端50，其中假设在金属直线b71上有缺陷21，取金属直线b71左侧相邻的金属直线a61，金属直线b71右侧相邻的金属直线c81、每条金属直线的端点上各取一点从左到右依次标记为B0，A1，B1......Bn-1，An，每条金属直线的另一端点上各取一点从左到右依次标记为B0’，A1’，B1’......Bn-1’，An’，带电粒子束检测点70；
[0072] 图4的等效电路是以检测点70为分界点的两部分弯曲结构金属连线的并联电路，如图5所示，包括并联电阻R1和电阻R2，与电阻R1串联的电流表30，与电阻R2串联的电流表40，并联电阻R1和R2共同的接地端50，并联电路总电流I，流过R1的电流I1和流过R2的电流I2，其中电阻R1是检测点70向左到接地端的电阻，电阻R2是检测点70向右到接地端的电阻，并联电路总电流I就是带电粒子束总电流，带电粒子束检测点70在金属连线11上的位置由x表示；
[0073] 本步骤中，首先，带电粒子束横向检测弯曲结构金属连线的金属直线的一端，当检测到第Ak点时(k为小于等于n-1的整数)，定义R1为R1_Ak，R2为R2_Ak，流过R1_Ak的电流I1为I1_Ak，流过R2_Ak的电流I2为I2_Ak；当检测到Bk点时，定义R1为R1_Bk，R2为R2_Bk，流过R1_Bk的电流I1为I1_Bk，流过R2_Bk的电流I2为I2_Bk，其中，电流I1可用电流表30测量，电流I2可用电流表40测量；
[0074] 在理想情况下，Ak′点和Bk′点间的端点连接线电阻RAk′Bk′足够小到可以忽略不计，即RAk′Bk′＝0(欧姆)时，Bk点两端的电阻R1_Bk和R2_Bk表示为：
[0075] R1_Bk＝R1_Ak+RAB (0.10)
[0076] R2_Bk＝R2_Ak-RAB (0.11)
[0077] 其中，RAB＝Ra+Rb是Ak点到Bk点的电阻，Ra为金属直线a61的电阻，Rb为金属直线b71的电阻；
[0078] 因为连接端金属连线的电阻RBkAk+1远小于金属直线的电阻Ra和Rb，从Bk点检测到Ak+1点时，电流的变化是非常微小的I1_Bk≈I1_Ak+1，I2_Bk≈I2_Ak+1，我们可以近似认为I1_Bk＝I1_Ak+1，I2_Bk＝I2_Ak+1，即电流从Bk点到Ak+1点没有变化。但由于Bk点和Ak+1位于金属线边缘，由于检测过程中带电粒子束在遇到金属线边界时，部分带电粒子可能并没有落在金属线上，只有落在金属线上的那部分带电粒子才能形成电流I，应此实际测量到的I1、I2是不稳定的。我们可以取Bk点和Ak+1的中间某一稳定点(如中点)的电流代表整个Bk点至Ak+1的电流。我们也可以取稳定点附近若干点电流的平均值或这一段的最大电流值代表Bk点至Ak+1的电流取值。
[0079] 然后，作出电流变化曲线：一条以x为横坐标，电流I1和I2或电流I1和I2的线性组合之一：电流I1和I2的差值(I1-I2)(未在图中画出)为纵坐标的曲线，得到图6a和图6b所示的检测位置-电流关系图，由式(0.5)、(0.6)得：
[0080]
[0081]
[0082] (0.12)与(0.13)相减，结合(0.11)得：
[0083]
[0084] 由式(0.14)可知，金属连线相邻的Ak点和Bk点之间I1电流差值只与RAB有关(为常数)，当金属连线相邻的Ak点和Bk点间的金属直线a61和金属直线b71上没有缺陷时，RAB处处相等，由式(0.14)可知，电流I1_Ak与I1_Bk的差值处处相等，同理，电流I2_Ak与I2_Bk的差值也处处相等，则如图6a和图6b中所示的电流变化曲线a1和b1的变化趋势分别是均匀递减和递增的，具体表现为a1和b1的斜率不变；当金属连线相邻的Ak点和Bk点间的金属直线a61和金属直线b71上有孔洞或杂质缺陷时，RAB的值变大，则电流I1_Ak与I1_Bk的差值变大，同理，电流I2_Ak与I2_Bk的差值也变大，具体表现为如图7a和图7b中所示的电流变化曲线a1和b1的斜率增大；当金属连线相邻的Ak点和Bk点间的金属直线a61和金属直线b71之间存在短路缺陷时，RAB的值变小，则电流I1_Ak与I1_Bk的差值变小，同理，电流I2_Ak与I2_Bk的差值也变小，具体表现为a1和b1的斜率减小，特别地，当金属连线相邻的Ak点和Bk点之间短路时，RAB＝0(欧姆)，则电流I1_Ak与I1_Bk的差值为零，同理，电流I2_Ak与I2_Bk的差值也为零，具体表现为a1和b1的斜率为零；由以上所述可知，电流变化曲线斜率的变化分为四种情况，总结如下：
[0085] (1)电流变化曲线斜率不变，Ak点和Bk点之间的金属连线上没有缺陷；
[0086] (2)电流变化曲线斜率增大，Ak点和Bk点之间的金属连线上，即金属直线a61和金属直线b71之间，存在孔洞或杂质缺陷；
[0087] (3)电流变化曲线斜率减小，Ak点和Bk点之间的金属连线上，即金属直线a61和金属直线b71之间存在短路缺陷；
[0088] (4)电流变化曲线斜率为零，Ak点和Bk点间发生短路缺陷；
[0089] 当出现情况(2)时，对金属直线的一次横向检测只能确定Ak点和Bk点之间的金属连线上存在短路缺陷，但没有确定缺陷究竟是在金属直线a61上还是在金属直线b71上，因此在下一步骤中，金属直线的纵向检测范围就是金属直线a61和金属直线b71两条金属直线。如果要缩小下一步骤中金属直线的纵向检测范围，可用带电粒子束第二次横向检测弯曲结构金属连线的金属直线的另一端点，测量和记录检测点70的位置和对应的电流I1和I2，作出电流变化曲线，并进一步分析确定缺陷存在的确切金属直线位置；
[0090] 其中，Bk-1′点，Ak′点Bk′点分别相当于带电粒子束横向检测弯曲结构金属连线的金属直线一端端点的Ak点，Bk点和Ak+1点，其原理和检测过程相同，这里不再赘述；
[0091] 步骤3、带电粒子束纵向检测已确定存在缺陷的金属直线，测量和记录检测点70的位置和对应的电流I1和I2，作出电流变化曲线，对缺陷的具体位置进行精确定位；
[0092] 在本步骤中，电流变化曲线如图8所示，是通过测量和记录在金属直线上各点位置x检测时的电流I1、I2，并计算得到电流I2与I1的差值(I2-I1)，作出的以位置x为横坐标，电流电流I1、I2(未在图中标出)或电流I1和I2的诸多线性组合之一：电流I2与I1的差值(I2-I1)为纵坐标的曲线a1，和以位置x为横坐标， 为纵坐标的直线b1。因为电流I2与I1的差值(I2-I1)对检测位置x的微分 与金属连线的线电阻率ρl(x)成正比，当金属直线b71上有缺陷21存在时，缺陷位置x的线电阻率ρl(x)也会发生改变，的值也会发生变化，所以当带电粒子束检测过缺陷21时，必然会出现曲线a1斜率的变化即直线b1 的波动，因此，任何预料之外的曲线a1的斜率变化和直线b1的波动都是金属连线线电阻率ρl(x)改变的表征，此位置点x就是缺陷位置。
[0093] 具体实施例2如下：
[0094] 步骤1、弯曲结构金属连线的两端接相同的电位V0，并在两端分别接电流表；
[0095] 本步骤中，作为特例，当两端接地时，相同电位V0＝0伏；
[0096] 步骤2、带电粒子束横向检测弯曲结构金属连线的金属直线中部，测量和记录检测点70的位置x和对应的电流I1和I2，作出电流变化曲线，并分析确定缺陷的范围，其中，检测点70的位置由x表示；；
[0097] 本步骤中，如图9所示，从弯曲结构金属连线11的金属直线的中部开始横向检测，得到如图10所示的电流变化图，电流变化曲线a1和b1的斜率变化分为四种情况，总结如下：
[0098] (1)电流变化曲线斜率不变，Ak点和Bk点之间的金属连线上，即金属直线a61的下半部分和金属直线b71对下半部分之间没有缺陷；
[0099] (2)电流变化曲线斜率增大，Ak点和Bk点之间的金属连线上，即金属直线a61的下半部分和金属直线b71对下半部分之间存在孔洞或杂质缺陷；
[0100] (3)电流变化曲线斜率减小，Ak点和Bk点之间相连的金属连线上，即金属直线a61的下半部分和金属直线b71对下半部分之间存在短路缺陷；
[0101] (4)电流变化曲线斜率为零，Ak点和Bk点间未相连的金属连线上，即金属直线a61的上半部分和金属直线b71上半部分之间发生短路缺陷；
[0102] 步骤3、带电粒子束纵向检测金属直线上确定存在缺陷的部分，测量和记录检测点70的位置和对应的电流I1和I2，作出电流变化曲线，对缺陷的具体位置进行精确定位，其中，检测点70的位置由x表示；；
[0103] 在本步骤中，电流和电流微分变化曲线如图10所示，是通过测量和记录在金属直线上各点位置x检测时的电流I1、I2，并计算得到电流I2与I1的差值(I2-I1)，作出的以位置x为横坐标，电流I2与I1的差值(I2-I1)为纵坐标的曲线a1，和以位置x为横坐标，为纵坐标的直线b1。因为电流I2与I1的差值(I2-I1)对检测位置x的微分 与金属连线的线电阻率ρl(x)成正比，当金属直线b71上有缺陷21存在时，缺陷位置x的线电阻率ρl(x)也会发生改变， 的值也会发生变化，所以当带电粒子束检测过缺陷
21时，必然会出现曲线a1斜率的变化即直线b1 的波动，因此，任何预料之外的曲线a1的斜率变化和直线b1的波动都是金属连线线电阻率ρl(x)改变的表征，此位置点x就是缺陷位置。
21时，必然会出现曲线a1斜率的变化即直线b1 的波动，因此，任何预料之外的曲线a1的斜率变化和直线b1的波动都是金属连线线电阻率ρl(x)改变的表征，此位置点x就是缺陷位置。
[0104] 实施例2中一次横向检测金属直线得出的存在缺陷的部分的范围和实施例1中两次横向检测金属直线得出存在缺陷的部分的范围相当，因此，实施例2相比一次横向检测的实施例1，其纵向检测金属直线即对缺陷的具体位置进行精确定位的时间较短，检测效率更高。
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