专利汇可以提供一种简单检测压焊损伤的方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且压焊是集成 电路 封装中不可或缺的一个重要环节,如果控制不好,极易造成压焊部PAD的损伤,集成电路漏电、性能变差甚至电路失效。现有的压焊损伤检测技术周期长, 费用 高,无论是时间还是成本上都非常不利。本 发明 提供的一种简单检测压焊损伤的方法,在对芯片进行开封并通过王 水 溶解PAD表面金属后再经 过酸 腐蚀 ,在 显微镜 下观察PAD面,若观察到腐蚀的图形则说明存在压焊损伤,若观察不到腐蚀的图形则说明不存在压焊损伤,从而能够简单可靠地判断出是否存在压焊损伤。本发明提供的压焊损伤方法具有实施周期短,成本低,可靠性高的优势。,下面是一种简单检测压焊损伤的方法专利的具体信息内容。
1.一种简单检测压焊损伤的方法,其特征在于,包括以下步骤:
(A)去除芯片封装材料,将芯片放入王水中,充分溶解PAD部金属,取出芯片,将芯片放入去离子水中冲洗5-15分钟,用洁净的性质稳定的气体将芯片吹干,将芯片PAD部放置在显微镜下观察,当PAD面无明显损伤时继续执行(B);
(B)将芯片放入酸腐蚀液中浸泡25-35分钟,取出芯片,将芯片放入去离子水中冲洗5-
15分钟,用洁净的性质稳定的气体将芯片吹干,将芯片PAD部放置在显微镜下观察。
2.根据权利要求1所述的一种简单检测压焊损伤的方法,其特征在于,所述去除芯片封装材料的方法是化学开封、机械开封、激光开封或Plasma开封。
3.根据权利要求1或2所述的一种简单检测压焊损伤的方法,其特征在于,所述酸腐蚀液为硝酸与氟化氢铵的混酸水溶液。
4.根据权利要求3所述的一种简单检测压焊损伤的方法,其特征在于,所述酸腐蚀液中硝酸的占比为60.8%。
5.根据权利要求4所述的一种简单检测压焊损伤的方法,其特征在于,所述酸腐蚀液中氟化氢铵的占比为0.36%。
6.根据权利要求5所述的一种简单检测压焊损伤的方法,其特征在于,芯片放入去离子水中冲洗的时间为10分钟。
7.根据权利要求6所述的一种简单检测压焊损伤的方法,其特征在于,所述洁净的性质稳定的气体是氮气。
8.根据权利要求7所述的一种简单检测压焊损伤的方法,其特征在于,芯片放入酸腐蚀液中浸泡的时间为30分钟。
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