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洁净室的洁净度控制系统

阅读:423发布:2024-02-21

专利汇可以提供洁净室的洁净度控制系统专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了 洁净室 的洁净度控制系统,包括设置在洁净室本体的顶部的控制箱,所述洁净室本体一侧内壁的顶部固定插设有进气管,所述进气管上 螺纹 连接有吸 风 机;所述控制箱靠近进气管一侧的内壁上设有安装口,所述安装口内滑动插设有 挡板 ,所述挡板的底部固定套接有限位套,所述挡板的一端贯穿安装口的内壁并向上延伸,所述控制箱的外壁上设有滑槽,所述滑槽内固定连接有滑杆,所述滑杆上滑动套接有L型插杆。本发明中通过 控制器 和悬浮粒子测试仪的设置,使控制系统可以及时有效的对洁净室内的洁净度进行监测控制,从而保证了洁净室内产品的生产 质量 。,下面是洁净室的洁净度控制系统专利的具体信息内容。

1.洁净室的洁净度控制系统,其特征在于,包括设置在洁净室本体(1)的顶部的控制箱(2),所述洁净室本体(1)一侧内壁的顶部固定插设有进气管(3),所述进气管(3)上螺纹连接有吸机(4);
所述控制箱(2)靠近进气管(3)一侧的内壁上设有安装口(5),所述安装口(5)内滑动插设有挡板(6),所述挡板(6)的底部固定套接有限位套(7),所述挡板(6)的一端贯穿安装口(5)的内壁并向上延伸,所述控制箱(2)的外壁上设有滑槽(8),所述滑槽(8)内固定连接有滑杆(9),所述滑杆(9)上滑动套接有L型插杆(10),所述挡板(6)上设有与L型插杆(10)对应的卡槽,所述滑杆(9)上套设有第一弹簧(11),所述第一弹簧(11)的两端分别与L型插杆(10)和滑槽的内壁固定连接;
所述控制箱(2)的内顶部固定插设有对称设置的两个出气管(12),所述出气管(12)的进气端依次贯穿控制箱(2)的内底部和洁净室本体(1)的顶部并向内延伸,所述进气管(12)位于控制箱(2)内的一端螺纹连接有排风机(13),所述进气管(12)的顶部滑动插设有过滤网(14);
所述控制箱(2)内依次设有电源(15)、控制器(16)和悬浮粒子测试仪(17),所述悬浮粒子测试仪(17)的输入端依次贯穿控制箱(2)的内底部和洁净室本体(1)的顶部并向内延伸,所述控制箱(2)远离安装口(5)一侧的外壁上固定连接有显示屏(18),所述控制器(16)的输出端分别与显示屏(18)、吸风机(4)和排风机(13)的输入端连接,所述电源(15)和悬浮粒子测试仪(17)的输出端均与控制器(16)的输入端连接。
2.根据权利要求1所述的洁净室的洁净度控制系统,其特征在于,所述过滤网(14)的一端贯穿出气管(12)的内壁并向外延伸,所述过滤网(14)延伸的一端固定连接有(19),所述出气管(3)的外壁上固定连接有与锁紧块(19)对应的卡块(20),所述卡块(20)上滑动插设有卡杆(21),所述锁紧块(19)上设有与卡杆(21)对应的卡槽,所述卡杆(21)靠近锁紧块(19)的一端固定套接有卡套(22),所述卡杆(21)远离卡套(22)的一端固定连接有拉杆(23)。
3.根据权利要求1所述的洁净室的洁净度控制系统,其特征在于,所述安装口(5)的内底部设有与挡板(6)对应的插槽,所述插槽内通过阻尼减震器(24)连接有垫板(25)。
4.根据权利要求1所述的洁净室的洁净度控制系统,其特征在于,所述进气管(3)远离洁净室本体(1)的一端固定插设有吸附网(26)。
5.根据权利要求1所述的洁净室的洁净度控制系统,其特征在于,所述进气管(3)和出气管(12)位于洁净室本体(1)内的一端均固定套接有密封圈(27),所述密封圈(27)的一侧与洁净室本体(1)的内壁固定连接。
6.根据权利要求1所述的洁净室的洁净度控制系统,其特征在于,所述显示屏(18)为触摸式显示屏。
7.根据权利要求1所述的洁净室的洁净度控制系统,其特征在于,所述控制器(16)为PLC控制器。
8.根据权利要求1所述的洁净室的洁净度控制系统,其特征在于,所述控制箱(2)的顶部固定连接有充电接头(28),所述充电接头(28)的输出端与电源(15)的输入端连接。
9.根据权利要求2所述的洁净室的洁净度控制系统,其特征在于,所述卡杆(21)上套设有第二弹簧(29),所述第二弹簧(29)的两端分别与卡套(22)和卡块(20)固定连接。

说明书全文

洁净室的洁净度控制系统

技术领域

[0001] 本发明涉及洁净度控制技术领域,尤其涉及洁净室的洁净度控制 系统。

背景技术

[0002] 目前,随着科技的发展,电子产品已经广泛的应用到生产生活中。 而电子产品中的主流产品包括半导体芯片和显示器件,其生产过程对 厂房内的尘埃粒子浓度,即洁净度等级有严格的要求,因此通常在洁 净室内进行工艺生产,为保证洁净室内的洁净度等级,洁净室内通常 设置有净化空气调节系统。
[0003] 但是现有的洁净室洁净度控制系统的组成较为简单,控制系统无 法及时有效的对洁净室内的洁净度进行监测控制,从而影响洁净室内 的产品生产质量

发明内容

[0004] 1.要解决的技术问题
[0005] 本发明的目的是为了解决现有技术中洁净室洁净度控制系统的 组成较为简单,控制系统无法及时有效的对洁净室内的洁净度进行监 测控制的问题,而提出的洁净室的洁净度控制系统。
[0006] 2.技术方案
[0007] 为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
[0008] 洁净室的洁净度控制系统,包括设置在洁净室本体的顶部的控制 箱,所述洁净室本体一侧内壁的顶部固定插设有进气管,所述进气管 上螺纹连接有吸机;
[0009] 所述控制箱靠近进气管一侧的内壁上设有安装口,所述安装口内 滑动插设有挡板,所述挡板的底部固定套接有限位套,所述挡板的一 端贯穿安装口的内壁并向上延伸,所述控制箱的外壁上设有滑槽,所 述滑槽内固定连接有滑杆,所述滑杆上滑动套接有L型插杆,所述挡 板上设有与L型插杆对应的卡槽,所述滑杆上套设有第一弹簧,所述 第一弹簧的两端分别与L型插杆和滑槽的内壁固定连接;
[0010] 所述控制箱的内顶部固定插设有对称设置的两个出气管,所述出 气管的进气端依次贯穿控制箱的内底部和洁净室本体的顶部并向内 延伸,所述进气管位于控制箱内的一端螺纹连接有排风机,所述进气 管的顶部滑动插设有过滤网;
[0011] 所述控制箱内依次设有电源、控制器和悬浮粒子测试仪,所述悬 浮粒子测试仪的输入端依次贯穿控制箱的内底部和洁净室本体的顶 部并向内延伸,所述控制箱远离安装口一侧的外壁上固定连接有显示 屏,所述控制器的输出端分别与显示屏、吸风机和排风机的输入端连 接,所述电源和悬浮粒子测试仪的输出端均与控制器的输入端连接。
[0012] 优选地,所述过滤网的一端贯穿出气管的内壁并向外延伸,所述 过滤网延伸的一端固定连接有,所述出气管的外壁上固定连接 有与锁紧块对应的卡块,所述卡块上滑动插设有卡杆,所述锁紧块上 设有与卡杆对应的卡槽,所述卡杆靠近锁紧块的一端固定套接有卡 套,所述卡杆远离卡套的一端固定连接有拉杆。
[0013] 优选地,所述安装口的内底部设有与挡板对应的插槽,所述插槽 内通过阻尼减震器连接有垫板。
[0014] 优选地,所述进气管远离洁净室本体的一端固定插设有吸附网。
[0015] 优选地,所述进气管和出气管位于洁净室本体内的一端均固定套 接有密封圈,所述密封圈的一侧与洁净室本体的内壁固定连接。
[0016] 优选地,所述显示屏为触摸式显示屏。
[0017] 优选地,所述控制器为PLC控制器。
[0018] 优选地,所述控制箱的顶部固定连接有充电接头,所述充电接头 的输出端与电源的输入端连接。
[0019] 优选地,所述卡杆上套设有第二弹簧,所述第二弹簧的两端分别 与卡套和卡块固定连接。
[0020] 3.有益效果
[0021] 相比于现有技术,本发明的优点在于:
[0022] (1)本发明中,先通过悬浮粒子测试仪检测洁净室本体内的粒 子浓度,然后将信号发送到控制器,控制器根据单片机内的预设数值 进行自动判定,如果悬浮粒子的浓度过高时,自动控制排风机打开, 将洁净室本体内的空气进行排出,本发明中通过控制器和悬浮粒子测 试仪的设置,使控制系统可以及时有效的对洁净室内的洁净度进行监 测控制,从而保证了洁净室内产品的生产质量。
[0023] (2)同时显示屏的设置,可以方便控制器将数据导入显示屏内 进行显示,同时充电接头的设置,可以方便对电源进行充电,同时吸 附网的设置,可以对吸风机导入的外部空气进行吸附过滤,同时密封 圈的设置可以有效防止外部空气进入洁净室本体内。
[0024] (3)同时挡板的设置,可以方便对控制箱内的电子元件进行维 护,同时L型插杆的设置,可以对挡板进行固定,同时第一弹簧的设 置,可以对L型插杆起到一定的弹性支撑作用。
[0025] (4)当需要对过滤网进行过滤后,先将卡杆抽出,然后将过滤 网抽出,同时第二弹簧可以对卡杆起到一定的弹性支撑作用,同时卡 套可以有效防止卡杆从卡块上脱落。附图说明
[0026] 图1为本发明提出的洁净室的洁净度控制系统的结构示意图;
[0027] 图2为本发明提出的洁净室的洁净度控制系统进气管处的内部 结构示意图;
[0028] 图3为本发明提出的洁净室的洁净度控制系统过滤网处的俯视 结构示意图;
[0029] 图4为图1的A处结构示意图;
[0030] 图5为图1的B处结构示意图;
[0031] 图6为图1的C处结构示意图。
[0032] 图中:1洁净室本体、2控制箱、3进气管、4吸风机、5安装口、 6挡板、7限位套、8滑槽、9滑杆、10 L型插杆、11第一弹簧、12 出气管、13排风机、14过滤网、15电源、16控制器、17悬浮粒子 测试仪、18显示屏、19锁紧块、20卡块、21卡杆、22卡套、23拉 杆、24阻尼减震器、25垫板、26吸附网、27密封圈、28充电接头、 29第二弹簧。

具体实施方式

[0033] 下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方 案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部 分实施例,而不是全部的实施例。
[0034] 在本发明的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、 “后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示 的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于 描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具 有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明 的限制。
[0035] 实施例1:
[0036] 参照图1-6,洁净室的洁净度控制系统,包括设置在洁净室本体 1的顶部的控制箱2,用于设置控制元件,洁净室本体1一侧内壁的 顶部固定插设有进气管3,用于导入空气,进气管3上螺纹连接有吸 风机4,用于将外部空气吸入洁净室本体1内;
[0037] 本实施例中,控制箱2靠近进气管3一侧的内壁上设有安装口5, 用于方便安装电子元件,安装口5内滑动插设有挡板6,对电子元件 进行保护,挡板6的底部固定套接有限位套7,防止挡板6从安装口 5内脱落,挡板6的一端贯穿安装口5的内壁并向上延伸,控制箱2 的外壁上设有滑槽8,用于设置滑杆9,滑槽8内固定连接有滑杆9, 滑杆9上滑动套接有L型插杆10,用于固定挡板6,挡板6上设有与 L型插杆10对应的卡槽,滑杆9上套设有第一弹簧11,用于对L型 插杆10起到对应的弹性支撑,第一弹簧11的两端分别与L型插杆10和滑槽的内壁固定连接;
[0038] 本实施例中,控制箱2的内顶部固定插设有对称设置的两个出气 管12,用于将洁净室本体1内的空气导出,出气管12的进气端依次 贯穿控制箱2的内底部和洁净室本体1的顶部并向内延伸,进气管 12位于控制箱2内的一端螺纹连接有排风机13,用于将洁净室本体 1内的空气导出,进气管12的顶部滑动插设有过滤网14,用于对导 出的空气进行过滤;
[0039] 本实施例中,控制箱2内依次设有电源15、控制器16和悬浮粒 子测试仪17,悬浮粒子测试仪17的输入端依次贯穿控制箱2的内底 部和洁净室本体1的顶部并向内延伸,用于对洁净室本体1内的悬浮 粒子进行监测,控制箱2远离安装口5一侧的外壁上固定连接有显示 屏18,用于显示洁净室本体1内的悬浮粒子浓度,控制器16的输出 端分别与显示屏18、吸风机4和排风机13的输入端连接,用于对吸 风机4和排风机13进行控制,电源15和悬浮粒子测试仪17的输出 端均与控制器16的输入端连接,用于将悬浮粒子浓度信息发送到控 制器16。
[0040] 本实施例中,过滤网14的一端贯穿出气管12的内壁并向外延伸, 过滤网14延伸的一端固定连接有锁紧块19,用于固定过滤网14,出 气管3的外壁上固定连接有与锁紧块19对应的卡块20,用于支撑卡 杆21,卡块20上滑动插设有卡杆21,用于固定锁紧块19,锁紧块 19上设有与卡杆21对应的卡槽,卡杆21靠近锁紧块19的一端固定 套接有卡套22,防止卡杆
21从卡块20上脱落,卡杆21远离卡套22 的一端固定连接有拉杆23,用于拉动卡杆21;
[0041] 本实施例中,安装口5的内底部设有与挡板6对应的插槽,插槽 内通过阻尼减震器24连接有垫板25,用于对挡板6起到一定的弹性 缓冲作用;
[0042] 本实施例中,进气管3远离洁净室本体1的一端固定插设有吸附 网26,用于对空气中的灰尘进行吸附;
[0043] 本实施例中,进气管3和出气管12位于洁净室本体1内的一端 均固定套接有密封圈27,防止外部空气进入洁净室本体1内,密封 圈27的一侧与洁净室本体1的内壁固定连接;显示屏18为触摸式显 示屏,方便控制人员进行操作,控制器16为PLC控制器,增强控制 器16的数据处理
[0044] 本实施例中,控制箱2的顶部固定连接有充电接头28,充电接 头28的输出端与电源15的输入端连接,方便为电源15进行充电; 卡杆21上套设有第二弹簧29,第二弹簧29的两端分别与卡套22和 卡块20固定连接,用于对卡杆21起到一定的弹性支撑。
[0045] 本实施例中,先通过悬浮粒子测试仪17检测洁净室本体1内的 粒子浓度,然后将信号发送到控制器16,控制器16根据单片机内的 预设数值进行自动判定,如果悬浮粒子的浓度过高时,自动控制排风 机13打开,将洁净室本体1内的空气进行排出;
[0046] 本实施例中,同时显示屏18的设置,可以方便控制器16将数据 导入显示屏18内进行显示,同时充电接头28的设置,可以方便对电 源15进行充电,同时吸附网26的设置,可以对吸风机4导入的外部 空气进行吸附过滤,同时密封圈27的设置可以有效防止外部空气进 入洁净室本体1内。
[0047] 以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范 围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技 术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改 变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
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