制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器
专利汇可以提供制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且制备 聚光太阳 电池 叠层结构金属有机源 喷雾器 ，包括喷雾头、金属源进气管、气帘进气管、氢化物进气管、 冷却 水 管、气帘板、栅网。所述的喷雾头由第一层气室连接第二层气室，第二层气室连接水套，金属源喷雾管连接第二层气室，氢化物喷雾管连接第二层气室构成一个整体喷雾头。栅网和气帘板分别固定在喷雾头下面。金属源进气管固定连接在第二层气室上并相通，氢化物进气管固定连接在第一层气室并相通，气帘进气管固定连接在喷雾头两侧上与气帘板围成的空间相通，冷却水管固定连接水套。喷雾头通过 法兰 固定在MOCVD 真空 室中，构成制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。优点是叠层结构均匀，叠层界面清晰，无相互扩散，使成模技术指标 质量 提高一个等级，可提高电池的光电转换效率。，下面是制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器专利的具体信息内容。
1、制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器，包括喷雾头(1)金属 源进气管(5)、气帘进气管(6)、氢化物进气管(7)、冷却水管(8)、气帘板 (14)、栅网(10)，其特征在于所述的喷雾头(1)由第一层气室(4)、第二层 气室(3)、金属源喷雾管(12)、氢化物喷雾管(11)、水套(13)构成，第一 层气室(4)连接第二层气室(3)，第二层气室(3)连接水套(13)，金属源喷 雾管(12)连接第二层气室(3)并相通，氢化物喷雾管(11)连接第一层气室 (4)并相通构成一个整体喷雾头(1)，栅网(10)通过螺钉固定在喷雾头(1) 上，位于金属源喷雾管(12)和氢化物喷雾管(11)下面，气帘板(14)通过 螺钉固定在喷雾头(1)上，位于栅网(10)外侧，金属源进气管(5)固定连 接在第二层气室(3)上并相通，氢化物进气管(7)固定连接在第一层气室(4) 上并相通，气帘进气管(6)固定连接在喷雾头(1)两侧上与气帘板(14)围 成的空间相通，气帘板(14)与喷雾头(1)之间空隙形成气帘(9)，冷却水管 (8)固定连接在水套(13)上并相通，喷雾头(1)设有法兰(2)，喷雾头(1) 通过法兰(2)固定在MOCVD真空室中。
(一)技术领域
本发明涉及太阳电池叠层结构制作装置，特别是涉及制备聚光太阳电池叠 层结构金属有机源喷雾器。
(二)背景技术
太阳电池以其清洁能源、无污染、成本低的优势被普遍的推广与应用。太 阳电池的光电转换效率和稳定性关键在于叠层结构。为了提高太阳电池的效率 和稳定性，要求制备太阳电池叠层结构膜层均匀，其膜层厚度可控，叠层介面 清晰，无相互扩散，现有成膜技术对高技术指标的要求还有些差距。
(三)发明内容
本发明要解决的技术问题，是提供一种制备太阳电池叠层结构膜层均匀， 厚度可控，叠层介面清晰，无相互扩散，完全满足使用要求的制备聚光太阳电 池叠层结构金属有机源喷雾器。
采用的技术方案是：
制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器，包括喷雾头、金属源进气 管、气帘进气管、氢化物进气管、冷却水管、气帘板、栅网。所述的喷雾头由 第一层气室、第二层气室、金属源喷雾管、氢化物喷雾管、水套构成。第一层 气室连接第二层气室，第二层气室连接水套，金属源喷雾管连接第二层气室并 相通，氢化物喷雾管连接第二层气室并相通构成一个整体喷雾头。栅网通过螺 钉固定在喷雾头上，位于金属源喷雾管和氢化物喷物管下面，气帘板通过螺钉 固定在喷雾头上，位于栅网外侧。金属源进气管固定连接在第二层气室上并相 通，氢化物进气管固定连接在第一层气室上并相通，气帘进气管固定连接在喷 物头两侧上与气帘板围成的空间相通，冷却水管固定连接在水套上并相通。喷 雾头设有法兰，喷雾头通过法兰固定在MOCVD真空室中，构成制备聚光太阳 电池叠层结构金属有机源喷雾器。
本发明经过多次试验实用，制备太阳电池叠层结构均匀，叠层介面清晰， 无相互扩散，成模技术指标的质量提高一个等级，优点是，可以提高电池的光 电转换效率，减薄电池厚度，保持较大光电流强度，缩短制备时间，可降低太 阳电池生产成本。
(四)附图说明
图1为本发明的结构示意图。
(五)具体实施方式
制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器，包括喷雾头1金属源进气 管5、气帘进气管6、氢化物进气管7、冷却水管8、气帘板14、栅网10。全部 采用不锈钢结构，氩弧焊接，整体经电解抛光处理，按超高真空10-8pa以上的 真空清洗工艺清洗组装。所述的喷雾头1由第一层气室4、第二层气室3、金属 源喷雾管12、氢化物喷雾管11、水套13构成。第一层气室4连接第二层气室3， 第二层气室3连接水套13，金属源喷雾管12连接第二层气室3并相通，氢化物 喷雾管11连接第一层气室4并相通构成一个整体喷雾头1。栅网10通过螺钉固 定在喷雾头1上，位于金属源喷雾管12和氢化物喷雾管11下面，气帘板14通 过螺钉固定在喷雾头1上，位于栅网10外侧。金属源进气管5焊接在第二层气 室3上并相通，氢化物进气管7焊接在第一层气室4上并相通，气帘进气管6 焊接在喷物头1两侧上与气帘板14围成的空间相通，气帘板14与喷雾头1之 间空隙形成气帘9，冷却水管8焊接在水套13上并相通。喷雾头1设有法兰2， 喷雾头1通过法兰2固定在MOCVD真空室中。金属源喷雾管12和氢化物喷雾 管11的孔径为Φ0.5-2.0mm，根据气体种类而定。栅网10孔径或目数根据喷 雾气体需求而定，构成制备聚光太阳电池叠层结构金属有机源喷雾器。
工作原理：
金属源气体通过金属源进气管5进入第二层气室3，通过水套13冷却由金 属源喷雾管12喷出，氢化物气通过氢化物进气管7进入第一层气室4，不需冷 却经氢化物喷雾管11喷出，在栅网10前混合经栅网10喷出。通过气帘进气管 6进入工作气体经气帘板14喷出气帘9，由气帘9将金属源气及氢化物气限定 在规定的喷雾区内，保证喷雾成膜均匀可控。
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