首页 / 专利库 / 电气元件和设备 / 电机 / 一种抛光转盘驱动装置

一种抛光转盘驱动装置

阅读:0发布:2020-11-09

专利汇可以提供一种抛光转盘驱动装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供了一种 抛光 转盘驱动装置,其包括驱动机构、转盘和 机架 ,其中,驱动机构包括 主轴 和与主轴的下端相接的驱动 电机 , 驱动电机 能驱动主轴转动;转盘连接于主轴的上端并能与主轴同步转动,转盘的底面沿周向连接有至少四个间隔设置的滑 块 ;机架上连接有 支撑 环板,支撑环板上设有呈圆环形的轨道,滑块连接于轨道上并能沿轨道滑动。本发明的抛光转盘驱动装置,通过滑块与轨道的配合,既能使得转盘顺畅的转动,又能确保转盘在转动过程中的 稳定性 ,从而保证了随转盘同步转动的抛光头的稳定性,进而使得 硅 片 的抛光厚度能均匀,良品率更高。,下面是一种抛光转盘驱动装置专利的具体信息内容。

1.一种抛光转盘驱动装置,其特征在于,所述抛光转盘驱动装置包括:
驱动机构,其包括主轴和与所述主轴的下端相接的驱动电机,所述驱动电机能驱动所述主轴转动;
转盘,其连接于所述主轴的上端并能与所述主轴同步转动,所述转盘的底面沿周向连接有至少四个间隔设置的滑
机架,其上连接有支撑环板,所述支撑环板上设有呈圆环形的轨道,所述滑块连接于所述轨道上并能沿所述轨道滑动。
2.根据权利要求1所述的抛光转盘驱动装置,其特征在于,
所述主轴的下端设有连接法兰,所述连接法兰通过安全联轴器与所述驱动电机的输出轴相接。
3.根据权利要求1所述的抛光转盘驱动装置,其特征在于,
所述机架上还连接有至少四个等间隔设置的定位机构,所述转盘的外周面设有多个与各所述定位机构相配合的定位槽,所述定位机构包括定位座、定位销和定位驱动气缸,所述定位座连接于所述机架上,所述定位驱动气缸的缸筒连接于所述定位座上,所述定位销的第一端与所述定位驱动气缸的活塞杆相接,所述定位销的第二端连接有锥头,所述定位驱动气缸的活塞杆能驱动所述定位销移动,所述定位销的移动能带动所述锥头插入所述定位槽内。
4.根据权利要求1所述的抛光转盘驱动装置,其特征在于,
所述机架上连接有至少两个间隔设置的刹车机构,所述刹车机构包括连接座和制动气缸,所述连接座和所述制动气缸的缸筒均连接于所述机架上,所述连接座上能转动的连接有制动杆,所述制动杆的一端连接有制动轮,所述制动气缸的活塞杆能驱动所述制动杆转动,所述制动杆的转动能带动所述制动轮抵接所述转盘的外周面。
5.根据权利要求1所述的抛光转盘驱动装置,其特征在于,
所述机架上连接有用于检测所述转盘旋转度的槽型开关,所述转盘上连接有至少四个等间隔设置的舌片,所述舌片能插入所述槽型开关内。
6.根据权利要求1所述的抛光转盘驱动装置,其特征在于,
所述转盘上连接有温度传感器
7.根据权利要求1至6中任一项所述的抛光转盘驱动装置,其特征在于,
所述主轴的外部套设有支撑组件,所述支撑组件包括由上至下依次连接的上端盖、套管和下端盖,所述套管的下部与所述机架相接,所述套管的上端与所述主轴之间设有第一轴承,所述套管的下端与所述主轴之间设有第二轴承,所述上端盖与所述主轴之间设有上油封,所述下端盖与所述主轴之间设有下油封。
8.根据权利要求7所述的抛光转盘驱动装置,其特征在于,
所述主轴的下部套设有轴环,且所述主轴的下部旋接有螺母,所述轴环的下端面抵接于所述锁紧螺母,所述第二轴承的内圈抵接于所述轴环的上端面。
9.根据权利要求7所述的抛光转盘驱动装置,其特征在于,
所述机架上连接有底板,所述底板套设于所述套管的外部,所述套管的下部外周面设有向外凸出的环形凸起,所述环形凸起的下端面抵接于所述底板。
10.根据权利要求9所述的抛光转盘驱动装置,其特征在于,
所述底板的上表面连接有防底盖,所述防水底盖套设于所述套管的外部,且所述防水底盖的上端设有环槽,所述转盘的底面连接有防水顶盖,所述防水顶盖能套设于所述套管的外部,且所述防水顶盖的下端能插入所述环槽内。

说明书全文

一种抛光转盘驱动装置

技术领域

[0001] 本发明涉及片抛光技术领域,特别涉及一种抛光转盘驱动装置。

背景技术

[0002] 在半导体工艺流程中,化学机械抛光是非常重要的一道工序,有时也称之为化学机械平坦化。化学机械抛光亦称为化学机械研磨,其原理是化学腐蚀作用和机械去除作用相结合的加工技术,化学机械抛光是目前机械加工中唯一可以实现表面全局平坦化的技术。一般,硅片要经过三步抛光才能完成抛光工艺,分别为粗抛、第一次精抛和第二次精抛。
[0003] 其中在抛光工作区切换时,抛光头通常是利用抛光转盘驱动旋转切换工位,但现有使用的抛光转盘驱动装置存在着旋转不够稳定,易造成抛光头发生平面偏转或偏移,导致硅片抛光厚度不均。

发明内容

[0004] 本发明的目的是提供一种能够稳定旋转的抛光转盘驱动装置。
[0005] 为达到上述目的,本发明提供了一种抛光转盘驱动装置,其包括:
[0006] 驱动机构,其包括主轴和与所述主轴的下端相接的驱动电机,所述驱动电机能驱动所述主轴转动;
[0007] 转盘,其连接于所述主轴的上端并能与所述主轴同步转动,所述转盘的底面沿周向连接有至少四个间隔设置的滑
[0008] 机架,其上连接有支撑环板,所述支撑环板上设有呈圆环形的轨道,所述滑块连接于所述轨道上并能沿所述轨道滑动。
[0009] 如上所述的抛光转盘驱动装置,其中,所述主轴的下端设有连接法兰,所述连接法兰通过安全联轴器与所述驱动电机的输出轴相接。
[0010] 如上所述的抛光转盘驱动装置,其中,所述机架上还连接有至少四个等间隔设置的定位机构,所述转盘的外周面设有多个与各所述定位机构相配合的定位槽,所述定位机构包括定位座、定位销和定位驱动气缸,所述定位座连接于所述机架上,所述定位驱动气缸的缸筒连接于所述定位座上,所述定位销的第一端与所述定位驱动气缸的活塞杆相接,所述定位销的第二端连接有锥头,所述定位驱动气缸的活塞杆能驱动所述定位销移动,所述定位销的移动能带动所述锥头插入所述定位槽内。
[0011] 如上所述的抛光转盘驱动装置,其中,所述机架上连接有至少两个间隔设置的刹车机构,所述刹车机构包括连接座和制动气缸,所述连接座和所述制动气缸的缸筒均连接于所述机架上,所述连接座上能转动的连接有制动杆,所述制动杆的一端连接有制动轮,所述制动气缸的活塞杆能驱动所述制动杆转动,所述制动杆的转动能带动所述制动轮抵接所述转盘的外周面。
[0012] 如上所述的抛光转盘驱动装置,其中,所述机架上连接有用于检测所述转盘旋转度的槽型开关,所述转盘上连接有至少四个等间隔设置的舌片,所述舌片能插入所述槽型开关内。
[0013] 如上所述的抛光转盘驱动装置,其中,所述转盘上连接有温度传感器
[0014] 如上所述的抛光转盘驱动装置,其中,所述主轴的外部套设有支撑组件,所述支撑组件包括由上至下依次连接的上端盖、套管和下端盖,所述套管的下部与所述机架相接,所述套管的上端与所述主轴之间设有第一轴承,所述套管的下端与所述主轴之间设有第二轴承,所述上端盖与所述主轴之间设有上油封,所述下端盖与所述主轴之间设有下油封。
[0015] 如上所述的抛光转盘驱动装置,其中,所述主轴的下部套设有轴环,且所述主轴的下部旋接有螺母,所述轴环的下端面抵接于所述锁紧螺母,所述第二轴承的内圈抵接于所述轴环的上端面。
[0016] 如上所述的抛光转盘驱动装置,其中,所述机架上连接有底板,所述底板套设于所述套管的外部,所述套管的下部外周面设有向外凸出的环形凸起,所述环形凸起的下端面抵接于所述底板。
[0017] 如上所述的抛光转盘驱动装置,其中,所述底板的上表面连接有防底盖,所述防水底盖套设于所述套管的外部,且所述防水底盖的上端设有环槽,所述转盘的底面连接有防水顶盖,所述防水顶盖能套设于所述套管的外部,且所述防水顶盖的下端能插入所述环槽内。
[0018] 与现有技术相比,本发明的优点如下:
[0019] 本发明的抛光转盘驱动装置,通过滑块与轨道的配合,既能使得转盘顺畅的转动,又能确保转盘在转动过程中的稳定性,从而保证了随转盘同步转动的抛光头的稳定性,进而使得硅片的抛光厚度能均匀,良品率更高;
[0020] 本发明的抛光转盘驱动装置,通过安全联轴器连接主轴与驱动电机,且安全联轴器在实际扭矩大于预设扭矩时会分离,使得驱动主轴转动的操作更加安全可靠;
[0021] 本发明的抛光转盘驱动装置,通过设置定位机构,能够增加转盘在加工过程中的稳定性;
[0022] 本发明的抛光转盘驱动装置,通过设置刹车机构,使得转盘在遇到突发事故时,能够被制动,从而提高了抛光转盘驱动装置的使用安全性。附图说明
[0023] 以下附图仅旨在于对本发明做示意性说明和解释,并不限定本发明的范围。其中:
[0024] 图1是本发明的抛光转盘驱动装置的结构示意图;
[0025] 图2是图1中A部放大结构示意图;
[0026] 图3是转盘、刹车机构和定位机构的结构示意图;
[0027] 图4是图3中B部放大结构示意图。
[0028] 附图标号说明:
[0029] 100、驱动机构;
[0030] 110、驱动电机;120、主轴;121、连接法兰;122、连接销;123、轴环;124、锁紧螺母;130、安全联轴器;
[0031] 200、转盘;210、滑块;220、防水顶盖;230、舌片;
[0032] 300、机架;
[0033] 310、支撑环板;311、轨道;320、底板;330、防水底盖;
[0034] 400、刹车机构;
[0035] 410、连接座;411、制动杆;412、制动轮;420、制动气缸;
[0036] 500、定位机构;
[0037] 510、定位座;520、定位销;521、锥头;530、定位驱动气缸;540、连接板;
[0038] 600、支撑组件;
[0039] 610、上端盖;611、上油封;620、套管;630、下端盖;631、下油封;640、第一轴承;650、第二轴承;
[0040] 700、槽型开关。

具体实施方式

[0041] 为了对本发明的技术方案、目的和效果有更清楚的理解,现结合附图说明本发明的具体实施方式。其中,形容词性或副词性修饰语“上”和“下”、“内”和“外”的使用仅是为了便于多组术语之间的相对参考,且并非描述对经修饰术语的任何特定的方向限制。另外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量,由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
[0042] 如图1所示,本发明提供了一种抛光转盘驱动装置,其包括驱动机构100、转盘200和机架300,其中:
[0043] 驱动机构100包括主轴120和与主轴120的下端相接的驱动电机110,具体的,驱动电机110连接于机架300上,驱动电机110的输出轴与主轴120的下端同轴连接,驱动电机110能驱动主轴120转动;
[0044] 转盘200连接于主轴120的上端并能与主轴120同步转动,具体的,主轴120的上端抵接于转盘200的中央,且主轴120的上端通过连接销122与转盘200相接,以使得转盘200与主轴120之间不能相对转动,转盘200只能随主轴120同步转动,转盘200的底面沿周向连接有至少四个间隔设置的滑块210,较佳的,相邻两滑块210之间的距离相等,即若转盘200的底面沿周向连接有四个滑块210,则相邻两滑块210之间相距90度,以提高转动过程中的稳定性,在图3所示的实施例中,在转盘200的底面连接有八个等间隔设置的滑块210,当然,也可以在转盘200的底面连接九个或者十个滑块210;
[0045] 机架300上连接有支撑环板310,支撑环板310位于转盘200的下方,支撑环板310上设有呈圆环形的轨道311,滑块210连接于轨道311上并能沿轨道311滑动,轨道311能够对滑块210起到支撑和导向作用,以使得转盘200能够更加稳定的转动,较佳的,为了使滑块210能够更加顺畅的沿轨道311滑动,滑块210的形状为与轨道311的形状相适配的弧形。
[0046] 本发明的抛光转盘驱动装置,通过滑块210与轨道311的配合,既能使得转盘200顺畅的转动,又能确保转盘200在转动过程中的稳定性,从而保证了随转盘200同步转动的抛光头的稳定性,进而使得硅片的抛光厚度能均匀,良品率更高。
[0047] 进一步,如图1所示,主轴120的下端设有连接法兰121,连接法兰121通过安全联轴器130与驱动电机110的输出轴相接,具体的,安全联轴器130上设有扭矩传感器(图中未示出),当扭矩传感器检测到的实时扭矩大于预设扭矩时,扭矩传感器控制安全联轴器130分离,此时安全联轴器130以打滑的形式限制驱动电机110所传动的扭,当扭矩传感器检测到的扭矩小于或者等于预设的扭矩时,扭矩传感器控制安全联轴器130恢复联结,此时,安全联轴器130向主轴120传动驱动电机110所传动的扭力,其中,连接法兰121的设置,使得主轴120与安全联轴器130之间的连接变得简单方便,安全联轴器130的设置,使得驱动主轴120转动的操作更加安全可靠。
[0048] 进一步,如图2所示,机架300上连接有用于检测转盘200旋转角度的槽型开关700,转盘200上连接有至少四个等间隔设置的舌片230,舌片230通过螺栓连接于转盘200上,舌片230能插入槽型开关700内,当槽型开关700内插入舌片230后,槽型开关700会反馈信号给驱动电机110,使驱动电机110停止工作,槽型开关700的具体结构为现有技术,在此不再赘述,槽型开关700的响应速度快,能够及时反馈转盘200的转动角度,从而保证了转盘200的抛光工作区切换操作准确性。
[0049] 需要说明的是,通常转盘200上设有上下料区、粗抛区、中抛区和精抛区四个工作区域,对应各个工作区域的位置分别连接一舌片230即可,当然,舌片230的具体设置数量也可以根据实际使用需要而定,例如五个、八个或十个等,在此不再赘述。
[0050] 再进一步,抛光转盘驱动装置还包括控制器(图中未示出),槽型开关700和驱动电机110与控制器电连接,控制器根据接收到的槽型开关700的反馈信号,控制驱动电机110的工作,其中该控制器可以是PLC控制器。
[0051] 进一步,转盘200上连接有温度传感器(图中未示出),温度传感器能够实时检测转盘200的温度变化,以在适当的时候进行降温处理操作,提高硅片抛光工艺的良品率,具体的,在转盘200上的各抛光工作区内分别设置一个温度传感器,通过各温度传感器实时检测转盘200的各工作区的温度变化。
[0052] 在本发明的一种实施方式中,如图3所示,机架300上还连接有至少四个等间隔设置的定位机构500,即若机架300上等间隔设置有四个定位机构500,则相邻两定位机构500之间相距90度,转盘200的外周面设有多个与各定位机构500相配合的定位槽(图中未示出),即若机架300上等间隔设置有四个定位机构500,则转盘200的外周面等间隔设置有四个定位槽,且相邻两定位槽之间相距90度,也即定位槽与定位机构500一一对应设置,当然,定位机构500的数量可以为五个、七个、十个或者十二个,在此不再赘述;如图4所示,定位机构500包括定位座510、定位销520和定位驱动气缸530,定位座510连接于机架300上,定位驱动气缸530的缸筒连接于定位座510上,具体的,定位座510通过螺栓连接于机架300上,且定位座510可以设置于连接座410的一侧,定位驱动气缸530的缸筒通过螺栓连接于定位座510上,定位销520的第一端与定位驱动气缸530的活塞杆相接,定位销520的第二端连接锥头521,定位驱动气缸530的活塞杆能驱动定位销520移动,定位销520的移动能带动锥头521插入定位槽内,即定位驱动气缸530的活塞杆的伸出能够驱动定位销520朝向转盘200移动,定位驱动气缸530的活塞杆的缩回能够驱动定位销520背向转盘200移动,定位销520的移动带动锥头521插入或者拔出定位槽,通过锥头521与定位槽的配合,能够限制转盘200的转动,从而更加有利于转盘200在加工过程中的稳定性。
[0053] 进一步,如图3所示,定位销520的第一端也可以通过连接件与定位驱动气缸530的活塞杆相接,即定位销520既可以直接与定位驱动气缸530的活塞杆相接,也可以通过连接件与定位驱动气缸530的活塞杆相接,具体的,连接件为连接板540,当然连接件也可以是连接杆,连接板540通过螺栓或者固定销连接于定位驱动气缸530的活塞杆上,定位驱动气缸530的活塞杆的伸缩移动带动连接板540朝向或者背向转盘200移动,定位销520通过螺栓或者焊接连接于连接板540上,锥头521位于连接板540的外部,连接板540的移动带动定位销
520移动,定位销520的移动带动锥头521插入或者拔出定位槽。
[0054] 再进一步,各定位驱动气缸530均与控制器电连接,通过控制器控制定位驱动气缸530的动作。
[0055] 在本发明的一种实施方式中,如图2和图3所示,机架300上连接有至少两个间隔设置的刹车机构400,刹车机构400沿转盘200的周向设置,刹车机构400的数量可以根据实际使用需求设置,可以是三个、四个或七个,在此不再赘述,如图4所示,刹车机构400包括连接座410和制动气缸420,连接座410和制动气缸420的缸筒均连接于机架300上,具体的,连接座410和制动气缸420的缸筒通过螺栓连接于机架300上,连接座410上能转动的连接有制动杆411,具体的,制动杆411通过销轴与连接座410相接,制动杆411的一端连接有制动轮412,制动气缸420的活塞杆能驱动制动杆411转动,制动杆411的转动能带动制动轮412抵接转盘200的外周面,具体的,制动气缸420的活塞杆伸出缸筒推动制动杆411转动,使连接于制动杆411上的制动轮412抵接转盘200的外周面,通过制动轮412与转盘200的外周面之间产生的摩擦力实现对转盘200的制动。
[0056] 再进一步,各制动气缸420均与控制器电连接,通过控制器控制制动气缸420的动作。
[0057] 在本发明的一种实施方式中,如图1所示,主轴120的外部套设有支撑组件600,支撑组件600能够对主轴120起到支撑和导向作用,支撑组件600包括由上至下依次连接的上端盖610、套管620和下端盖630,套管620的下部与机架300相接,套管620的上端与主轴120之间设有第一轴承640,套管620的下端与主轴120之间设有第二轴承650,第一轴承640和第二轴承650的设置,使得主轴120能够顺畅的相对套管620转动,上端盖610与主轴120之间设有上油封611,下端盖630与主轴120之间设有下油封631,上油封611和下油封631的设置,提高了支撑组件600与主轴120之间连接的密封性,从而降低了外界因素(如冷却液等)对第一轴承640和第二轴承650的影响,进而保证了第一轴承640和第二轴承650的使用寿命。
[0058] 进一步,如图1所示,主轴120的下部套设有轴环123,且主轴120的下部旋接有锁紧螺母124,轴环123的下端面抵接于锁紧螺母124,第二轴承650的内圈抵接于轴环123的上端面,下油封631设置于下端盖630与轴环123之间,即通过锁紧螺母124限制轴环123沿主轴120向下移动,通过轴环123限制第二轴承650向下移动,以避免轴环123和第二轴承650下移影响驱动电机110驱动主轴120转动。
[0059] 进一步,如图1所示,机架300上连接有底板320,底板320套设于套管620的外部,套管620的下部外周面设有向外凸出的环形凸起,环形凸起的下端面抵接于底板320,通过底板320限制套管620沿主轴120向下移动,以避免套管620沿主轴120下移影响驱动电机110驱动主轴120转动。
[0060] 进一步,底板320的上表面连接有防水底盖330,防水底盖330套设于套管620的外部,且防水底盖330的上端设有环槽,转盘200的底面连接有防水顶盖220,防水顶盖220能套设于套管620的外部,且防水顶盖220的下端能插入环槽内,在使用过程中,防水顶盖220插入防水底盖330的环槽内,使得防水顶盖220与防水底盖330连接成套设于主轴120的外部的防水护套,防水护套能够防止冷却液飞溅到主轴120上。
[0061] 下面结合附图具体说明本发明的抛光转盘驱动装置的工作过程:
[0062] 通常转盘200上设有上下料区、粗抛区、中抛区和精抛区四个工作区域,且四个工作区域均布于转盘200上,驱动电机110依据工艺时间通过驱动主轴120转动,主轴120转动带动转盘200旋转,使抛光头切换工作区域完成工艺流程;
[0063] 具体的,如图1所示,控制器控制驱动电机110转动,驱动电机110驱动主轴120转动,主轴120转动带动转盘200同步转动,控制器在接收到槽型开关700的反馈信号后,控制驱动电机110停止转动,以使得抛光头准确切换工作区,且在转盘200转动过程中,滑块210始终沿轨道311滑动,保证了转盘200转动过程中的稳定性,同时,在接收到槽型开关700的反馈信号后,控制器控制定位驱动气缸530的活塞杆伸出缸筒,定位驱动气缸530的活塞杆的伸出驱动定位销520朝向转盘200移动,使锥头521插入定位槽内,将转盘200定位于当前位置,待完成当前工作区域的工艺后,控制器控制定位驱动气缸530的活塞杆的缩回缸筒内,定位驱动气缸530的活塞杆的缩回动作带动定位销520背向转盘200移动,使锥头521拔出定位槽内,同时控制器驱动电机110动作,驱动电机110驱动主轴120转动,主轴120转动带动转盘200旋转,使抛光头进入下一工作区域;
[0064] 在驱动电机110驱动主轴120转动的过程中,若扭矩传感器检测到的扭矩大于预设的扭矩时,扭矩传感器控制安全联轴器130分离,当扭矩传感器检测到的扭矩小于或者等于预设的扭矩时,扭矩传感器控制安全联轴器130恢复联结;
[0065] 当然,在出现突发事故时,可以通过控制器控制制动气缸420的活塞杆伸出缸筒,以推动制动杆411转动,使连接于制动杆411上的制动轮412抵接转盘200的外周面,实现对转盘200的制动;
[0066] 设置于转盘200上的温度传感器,能够实时检测各工作区域的温度,工作人员能够根据温度传感器反馈的信号判断是否需要进行冷却处理,且在冷却处理过程中,套设于主轴120的外部的防水底盖330和防水顶盖220能够有效防止冷却液飞溅到主轴120上。
[0067] 综上所述,本发明的抛光转盘驱动装置,通过滑块与轨道的配合,既能使得转盘顺畅的转动,又能确保转盘在转动过程中的稳定性,从而保证了随转盘同步转动的抛光头的稳定性,进而使得硅片的抛光厚度能均匀,良品率更高;
[0068] 本发明的抛光转盘驱动装置,通过安全联轴器连接主轴与驱动电机,且安全联轴器在实际扭矩大于预设扭矩时会分离,使得驱动主轴转动的操作更加安全可靠;
[0069] 本发明的抛光转盘驱动装置,通过设置定位机构,能够增加转盘在加工过程中的稳定性;
[0070] 本发明的抛光转盘驱动装置,通过设置刹车机构,使得转盘在遇到突发事故时,能够被制动,从而提高了抛光转盘驱动装置的使用安全性。
[0071] 以上所述仅为本发明示意性的具体实施方式,并非用以限定本发明的范围。任何本领域的技术人员,在不脱离本发明的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改,均应属于本发明保护的范围。而且需要说明的是,本发明的各组成部分并不仅限于上述整体应用,本发明的说明书中描述的各技术特征可以根据实际需要选择一项单独采用或选择多项组合起来使用,因此,本发明理所当然地涵盖了与本案发明点有关的其它组合及具体应用。
高效检索全球专利

专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。

我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。

申请试用

分析报告

专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。

申请试用

QQ群二维码
意见反馈