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一种双工形十字梁结构的一体化六维力 传感器

阅读：1040发布：2020-05-17

专利汇可以提供一种双工形十字梁结构的一体化六维力传感器专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供了一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，包括：双“工”形十字梁和若干个电阻应变片；双“工”形十字梁包括外圈、四个弹性体和内圈；四个弹性体以轮辐形式均匀分布于外圈和内圈之间，且四个弹性体呈十字形对称分布构成十字梁，用于敏感受力；弹性体包括相互垂直设置第一、第二“工”形构件，使第一、第二“工”形构件的横梁分别形成相互垂直的水平板、垂直板；若干个电阻应变片分别设置于水平板的上下两面和垂直板的两个侧面。本发明除了具备结构简单、加工方便、维间耦合小、灵敏度高、抗过载能力强等优点，还将传感器机械结构与信号控制电路整合，进行一体化设计，能够灵活方便的集成在机器人执行机构末端。，下面是一种双工形十字梁结构的一体化六维力传感器专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，其特征在于：包括：双“工”形十字梁和若干个电阻应变片；其中，
所述双“工”形十字梁包括外圈、四个弹性体和内圈；四个所述弹性体以轮辐形式均匀分布于所述外圈和所述内圈之间，且四个所述弹性体呈十字形对称分布构成十字梁，用于敏感受力；
所述弹性体包括相互垂直设置的第一“工”形构件和第二“工”形构件，使所述第一“工”形构件、所述第二“工”形构件的横梁分别形成相互垂直的水平板、垂直板；
若干个所述电阻应变片分别设置于所述水平板的上下两面和所述垂直板的两个侧面。
2.根据权利要求1所述的一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，其特征在于：还包括十字梁基座，所述十字梁基座设置于所述双“工”形十字梁的下方，并与所述双“工”形十字梁连接为一体；
所述十字梁基座包括平板和四个定位凸台；其中，
四个所述定位凸台设置于所述平板的上表面，且均匀分布于所述平板的上表面，用于连接所述双“工”形十字梁的所述外圈；
所述定位凸台的上表面与所述双“工”形十字梁的下表面接触，所述定位凸台的中心设有螺纹孔；
所述平板上设有多个贯穿其上下面的第一通孔，用于螺栓连接和所述电阻应变片的导线连接；
所述平板的中心设有一圆形凸台，所述圆形凸台的上表面与所述双“工”形十字梁的所述内圈的下表面之间具有设定距离的缝隙，用于限制所述双“工”形十字梁形变。
3.根据权利要求2所述的一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，其特征在于：
所述外圈呈环形结构，所述外圈的内壁上设有向内延伸的四个凸板，四个所述凸板均匀分布；
所述凸板上设有第二通孔，所述第二通孔与所述定位凸台的所述螺纹孔位于同一轴线，所述第二通孔与所述螺纹孔通过螺栓连接，实现所述外圈与所述十字梁基座的连接；
所述内圈为圆柱体结构，所述内圈上设有四个均匀分布的螺纹孔，所述螺纹孔贯穿所述内圈的上下面。
4.根据权利要求2所述的一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，其特征在于：所述十字梁基座的所述圆形凸台与所述双“工”形十字梁的所述内圈下端面的缝隙大小为0.12mm-0.24mm。
5.根据权利要求2所述的一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，其特征在于：还包括外壳，所述双“工”形十字梁、所述十字梁基座设置于所述外壳内；
所述外壳包括盖板、环形壳和底板；其中，所述盖板设置于所述环形壳的上部，使所述环形壳的上端封闭；所述底板设置于所述环形壳的下端，所述环形壳的下端的外壁设有一圈外沿，所述外沿通过螺栓与所述底板连接，使所述盖板、所述环形壳和所述底板装配后形成封闭腔体；
所述盖板的中心设有中心孔和环形凸台，所述中心孔贯穿于所述盖板的上下面；所述环形凸台位于所述盖板下端面，沿所述中心孔下表面向下延伸形成一圈凸起；所述环形凸台的下表面与所述双“工”形十字梁的所述内圈上端面的之间具有设定距离的缝隙，用于对所述双“工”形十字梁受力形变进行限位；所述中心孔的四周均匀分布四个第二凸台，四个所述第二凸台位于所述盖板的下表面，沿所述盖板的下表面向下延伸形成一圈凸起，并设有用于螺栓连接的沉头孔；
所述环形壳侧面设有一个圆孔，用于设置电缆信号线；
所述环形壳内部设有环形凸起，所述十字梁基座位于所述环形凸起上，所述十字梁基座通过螺栓与所述环形凸起连接。
6.根据权利要求5所述的一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，其特征在于：所述盖板的所述环形凸台与所述双“工”形十字梁的所述内圈上端面的缝隙大小为
0.12mm-0.24mm。
7.根据权利要求5所述的一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，其特征在于：还包括电路板，所述电路板设置于所述壳体内，位于所述十字梁基座的下方，所述电路板与所述十字梁基座的所述平板通过铜柱和螺栓连接。
8.根据权利要求5所述的一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，其特征在于：还包括过渡接头，所述过渡接头设置于所述双“工”形十字梁的上方，所述过渡接头穿过所述外壳的所述盖板，且所述过渡接头的外壁与所述盖板的所述环形凸台内壁之间具有设定距离的缝隙；
所述渡接头为圆台形构件，所述圆台形构件下端面设有四个螺栓沉头孔，通过螺栓与所述双“工”形十字梁连接为一体。
9.根据权利要求8所述的一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，其特征在于：所述盖板的所述环形凸台内壁与所述过渡接头的外壁的缝隙大小为0.08mm-0.16mm。
10.根据权利要求1所述的一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，其特征在于：所述电阻应变片的数量为二十四个，二十四个所述电阻应变片在四个所述垂直板、所述水平板上分布情况如下：
其中，每个所述水平板上设有三个所述电阻应变片，以一个和两个的数量形式分别分布于所述水平板的上下两个面；四个所述水平板中一组相邻的两个所述水平板的上面均分布有两个所述电阻应变片，另外一组相邻的两个所述水平板的上面均分布有一个所述电阻应变片；
每个所述垂直板上设有三个所述电阻应变片，以一个和两个的数量形式分别分布于所述垂直板的两个侧面；四个所述垂直板中位于同一条直线上的两个所述垂直板同一侧面的所述电阻应变片分布数量相同。

说明书全文

一种双工形十字梁结构的一体化六维力 传感器

技术领域

[0001] 本发明属于机器人及其传感器应用领域，涉及力传感器，具体地，涉及一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器。

背景技术

[0002] 随着机器人技术的不断发展，对机器人执行机构末端的力控需求也日益增多。六维力传感器可以检测空间中三维力和力矩的大小，能够满足机器人执行机构末端的力控需求。现有的六维力传感器发展已较为成熟，但在机器人领域中，尤其是针对机器人执行机构末端的力控需求，对六维力传感器的性能有着更高的要求，比如体积小、灵敏度高、安全性高等。

[0003] 经对现有技术的文献检索发现，申请号为CN201010577466的中国专利，提供了一种六维力传感器采用双十字梁传感器设计，减小了维间耦合，提高传感器精度，但双十字梁设计使得传感器体积增大，高度增高。

[0004] 申请号为CN201620008204的中国专利提供了一种整体结构更为紧凑的六维力传感器，整体体积小，高度低，但同样具有量程小的特点。

[0005] 申请号为CN201710227696的中国专利提供了一种六维力传感器，通过在十字梁末端设计轴向滑动定位部件，实现了力正交解耦。

[0006] 申请号为CN201910064852的中国专利提供了一种具有蛇形结构梁的力传感器，对传统十字梁进行改进设计，提高弹性体受力时的灵敏度。但当力传感器整体尺寸较小时，该蛇形结构梁间隙较小，难以加工制作。

[0007] 申请号为CN201910524444中国专利提供了一种应用于工业现场的六维力传感器，采用传统的十字梁结设计，设置了限位结构，具有一定的扛过载能力，但十字梁刚度较大，传感器灵敏度较低，难以适用于机器人执行机构末端。

[0008] 虽然，上述专利提供了创新的力传感器设计，但针对机器人领域的需求，尤其是机器人执行机构末端的力控需求，目前的六维力传感器仍存在包括结构复杂、抗过载能力弱、灵敏度低、安装复杂等问题。

发明内容

[0009] 针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器。

[0010] 为了实现上述发明目的，本发明提供一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器；一种双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器，其特征在于：包括：双“工”形十字梁和若干个电阻应变片；其中，

[0011] 所述双“工”形十字梁包括外圈、四个弹性体和内圈；四个所述弹性体以轮辐形式均匀分布于所述外圈和所述内圈之间，且四个所述弹性体呈十字形对称分布构成十字梁，用于敏感受力；

[0012] 所述弹性体包括相互垂直设置的第一“工”形构件和第二“工”形构件，使所述第一“工”形构件、所述第二“工”形构件的横梁分别形成相互垂直的水平板、垂直板；

[0013] 若干个所述电阻应变片分别设置于所述水平板的上下两面和所述垂直板的两个侧面。

[0014] 优选地，还包括十字梁基座，所述十字梁基座设置于所述双“工”形十字梁的下方，并与所述双“工”形十字梁连接为一体；

[0015] 所述十字梁基座包括平板和四个定位凸台；其中，

[0016] 四个所述定位凸台设置于所述平板的上表面，且均匀分布于所述平板的上表面，用于连接所述双“工”形十字梁的所述外圈；

[0017] 所述定位凸台的上表面与所述双“工”形十字梁的下表面接触，所述定位凸台的中心设有螺纹孔；

[0018] 所述平板上设有多个贯穿其上下面的第一通孔，用于螺栓连接和所述电阻应变片的导线连接；

[0019] 所述平板的中心设有一圆形凸台，所述圆形凸台的上表面与所述双“工”形十字梁的所述内圈的下表面之间具有设定距离的缝隙，用于限制所述双“工”形十字梁形变。

[0020] 优选地，所述外圈呈环形结构，所述外圈的内壁上设有向内延伸的四个凸板，四个所述凸板均匀分布；

[0021] 所述凸板上设有第二通孔，所述第二通孔与所述定位凸台的所述螺纹孔位于同一轴线，所述第二通孔与所述螺纹孔通过螺栓连接，实现所述外圈与所述十字梁基座的连接；

[0022] 所述内圈为圆柱体结构，所述内圈上设有四个均匀分布的螺纹孔，所述螺纹孔贯穿所述内圈的上下面。

[0023] 优选地，所述十字梁基座的所述圆形凸台与所述双“工”形十字梁的所述内圈下端面的缝隙大小为0.12mm-0.24mm。

[0024] 优选地，还包括外壳，所述双“工”形十字梁、所述十字梁基座设置于所述外壳内；

[0025] 所述外壳包括盖板、环形壳和底板；其中，所述盖板设置于所述环形壳的上部，使所述环形壳的上端封闭；所述底板设置于所述环形壳的下端，所述环形壳的下端的外壁设有一圈外沿，所述外沿通过螺栓与所述底板连接，使所述盖板、所述环形壳和所述底板装配后形成封闭腔体；

[0026] 所述盖板的中心设有中心孔和环形凸台，所述中心孔贯穿于所述盖板的上下面；所述环形凸台位于所述盖板下端面，沿所述中心孔下表面向下延伸形成一圈凸起；所述环形凸台的下表面与所述双“工”形十字梁的所述内圈上端面的之间具有设定距离的缝隙，用于对所述双“工”形十字梁受力形变进行限位；所述中心孔的四周均匀分布四个第二凸台，四个所述第二凸台位于所述盖板的下表面，沿所述盖板的下表面向下延伸形成一圈凸起，并设有用于螺栓连接的沉头孔；

[0027] 所述环形壳侧面设有一个圆孔，用于设置电缆信号线；

[0028] 所述环形壳内部设有环形凸起，所述十字梁基座位于所述环形凸起上，所述十字梁基座通过螺栓与所述环形凸起连接。

[0029] 优选地，所述盖板的所述环形凸台与所述双“工”形十字梁的所述内圈上端面的缝隙大小为0.12mm-0.24mm。

[0030] 优选地，还包括电路板，所述电路板设置于所述壳体内，位于所述十字梁基座的下方，所述电路板与所述十字梁基座的所述平板通过铜柱和螺栓连接。

[0031] 优选地，还包括过渡接头，所述过渡接头设置于所述双“工”形十字梁的上方，所述过渡接头穿过所述外壳的所述盖板，且所述过渡接头的外壁与所述盖板的所述环形凸台内壁之间具有设定距离的缝隙；

[0032] 所述渡接头为圆台形构件，所述圆台形构件下端面设有四个螺栓沉头孔，通过螺栓与所述双“工”形十字梁连接为一体。

[0033] 优选地，所述盖板的所述环形凸台内壁与所述过渡接头的外壁的缝隙大小为0.08mm-0.16mm。

[0034] 优选地，所述电阻应变片的数量为二十四个，二十四个所述电阻应变片在四个所述垂直板、所述水平板上分布情况如下：

[0035] 其中，每个所述水平板上设有三个所述电阻应变片，以一个和两个的数量形式分别分布于所述水平板的上下两个面；四个所述水平板中一组相邻的两个所述水平板的上面均分布有两个所述电阻应变片，另外一组相邻的两个所述水平板的上面均分布有一个所述电阻应变片；

[0036] 每个所述垂直板上设有三个所述电阻应变片，以一个和两个的数量形式分别分布于所述垂直板的两个侧面；四个所述垂直板中位于同一条直线上的两个所述垂直板同一侧面的所述电阻应变片分布数量相同。

[0037] 与现有技术相比，本发明具有至少如下有益效果：

[0038] 1、本发明上述结构中，采用双“工”形十字梁减小了十字梁的刚度，十字梁受力时，形变更大，且应变将集中于“工”形构件的横梁上，传感器维间耦合小、测量灵敏度高。

[0039] 2、本发明上述结构中，双“工”形十字梁结构简单，可直接采用数控铣床加工，加工难度低，成本低，安装方便。

[0040] 3、进一步，本发明设计了三维空间的限位结构，限制了十字梁过大幅度的形变，对十字梁结构具有过载保护作用，提高传感器的抗过载性能和使用安全性。

[0041] 4、进一步，本发明将传感器机械结构与信号控制电路整合，进行一体化设计，无需在外部连接传感器信号放大器，能够灵活方便的集成在机器人执行机构末端。附图说明

[0042] 通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

[0043] 图1为本发明一较优实施例的总体外观示意图；

[0044] 图2为本发明一较优实施例的总体结构剖视图；

[0045] 图3为本发明一较优实施例中的三维装配示意图；

[0046] 图4为本发明一较优实施例中的盖板结构剖视图；

[0047] 图5为本发明一较优实施例中的双“工”形十字梁示意图；

[0048] 图6为本发明一较优实施例中的电阻应变片位置示意俯视图；

[0049] 图7为本发明一较优实施例中的电阻应变片位置示意仰视图；

[0050] 图8为本发明一较优实施例中的电阻应变片电桥电路示意图；

[0051] 图中标记分别表示为：盖板1、环形壳2、底板3、平板4、定位凸台5、双“工”形十字梁6、电路板7、铜柱8、过渡接头9、电阻应变片10、中心孔1-1、环形凸台1-2、第二凸台1-3、沉头孔1-4、外圈6-1、内圈6-3、弹性体6-2A、 6-2B、6-2C、6-2D。

具体实施方式

[0052] 下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。

[0053] 参照图1、图2、图3所示，为本发明一实施例中双“工”形十字梁结构的一体化六维力传感器的结构示意图。

[0054] 参照图1所示，该传感器包括：双“工”形十字梁6和若干个电阻应变片 10；其中，双“工”形十字梁6包括外圈6-1、四个弹性体6-2A、6-2B、6-2C、 6-2D和内圈6-3；四个弹性体6-2A、6-2B、6-2C、6-2D以轮辐形式均匀分布于外圈6-1和内圈6-3之间，且四个弹性体6-2A、6-
2B、6-2C、6-2D呈十字形对称分布构成十字梁，用于敏感受力；弹性体6-2A、6-2B、6-2C、6-2D 包括相互垂直设置的第一“工”形构件和第二“工”形构件，使第一“工”形构件、第二“工”形构件的横梁分别形成相互垂直的水平板、垂直板；参照图5所示，第一“工”形构件的一边与外圈6-1连接，第二“工”形构件的一边与内圈6-3连接，且两者共用另一边。第一“工”形构件的横梁平行于双“工”形十字梁6内圈6-3平面，为上述水平板，第二“工”形构件的横梁垂直于双“工”形十字梁6内圈6-3平面，为上述垂直板。若干个电阻应变片10分别设置于水平板的上下两面和垂直板的两个侧面。

[0055] 在其他部分优选实施例中，该传感器还包括十字梁基座，十字梁基座设置于双“工”形十字梁6的下方，并与双“工”形十字梁6连接为一体；十字梁基座包括平板4和四个定位凸台5；其中，四个定位凸台5设置于平板 4的上表面，且均匀分布于平板4的上表面，并通过螺栓与平板4连接。定位凸台5的上表面与双“工”形十字梁6外圈6-1下表面接触，定位凸台5的中心设有螺纹孔和第一凸台，通过螺栓连接双“工”形十字梁6的外圈6-1；平板4的中心设有一圆形凸台，该圆形凸台与双“工”形十字梁6的内圈6-3 底面平行，但不接触，两个平面之间存在一定距离的缝隙，用于限制双“工”形十字梁6形变。在圆形凸台周围均匀分布多个贯穿其上下面的第一通孔，用于螺栓连接和电阻应变片10的导线连接。

[0056] 在其他部分优选实施例中，外圈6-1呈环形结构，外圈6-1的内壁上设有向内延伸的四个凸板，四个凸板均匀分布；四个凸板上分别设有第二通孔，第二通孔与定位凸台5的螺纹孔位于同一轴线，通过螺栓固定，实现外圈6-1 与十字梁基座连接；内圈6-3为圆柱体结构，内圈6-3上设有四个均匀分布的螺纹孔，螺纹孔贯穿内圈6-3的上下面。

[0057] 在其他部分优选实施例中，还包括外壳，双“工”形十字梁6、十字梁基座设置于外壳内；外壳包括盖板1、环形壳2和底板3；其中，盖板1安装在环形壳2的上部，使环形壳2的上端封闭；底板3安装在环形壳2的下端。在环形壳2的下端的外壁设有一圈外沿，外沿通过螺栓与底板3连接，使盖板1、环形壳2和底板3装配后形成封闭腔体。

[0058] 参照图4所示，盖板1的中心设有中心孔1-1和环形凸台1-2，中心孔1-1 贯穿于盖板1的上下面。环形凸台1-2位于盖板1下端面，沿中心孔1-1下表面向下延伸形成一圈凸起。盖板1的环形凸台1-2的下表面与双“工”形十字梁6的内圈6-3上端面的之间具有一定的缝隙，用于对双“工”形十字梁6 受力形变进行限位；在中心孔1-1的四周均匀分布四个第二凸台1-3，第二凸台1-3位于盖板1的下表面，沿盖板1的下表面向下延伸形成一圈凸起，并设有沉头孔1-4；四个第二凸台1-3与双“工”形十字梁6外圈6-1接触，盖板1沉头孔处的第二凸台
1-3与双“工”形十字梁6上表面接触，沉头孔1-4 用于螺栓连接，沉头孔1-4、双“工”形十字梁6四个凸板的第二通孔与定位凸台5中心螺纹孔位于同一轴线，通过螺栓将三者在轴线方向上进行固定。

[0059] 环形壳2侧面设有一个圆孔，用于设置电缆信号线；

[0060] 环形壳2内部设有向其内延伸的环形凸起，在环形壳2的内壁上形成一圈内楞，将十字梁基座安装在环形凸起上方，十字梁基座通过螺栓与环形凸起连接。

[0061] 在其他部分优选实施例中，还包括电路板7，电路板7设置于壳体内，位于十字梁基座的下方，电路板7与十字梁基座的平板4通过铜柱8和螺栓连接。双“工”形十字梁6等传感器机械结构与电路板7等信号控制电路整合于一体，进行一体化设计，无需在外部连接传感器信号放大器，能够灵活方便的集成在各个机器人执行机构末端。

[0062] 在其他部分优选实施例中，还包括过渡接头9，过渡接头9设置于双“工”形十字梁6的上方，过渡接头9穿过外壳的盖板1，与双“工”形十字梁6 的内圈6-3连接，用于连接外部载荷，过渡接头9的外壁与盖板1的内壁之间具有一定缝隙，对双“工”形十字梁6受力形变进行限位。渡接头为圆台形构件，圆台形构件下端面设有4个螺栓沉头孔，用于螺栓连接，将过渡接头9 的四个螺栓沉头孔通过螺栓分别与双“工”形十字梁6内圈6-3的四个螺纹孔连接。

[0063] 在其他部分优选实施例中，外壳、十字梁基座、双“工”形十字梁6和过渡接头9通过螺栓连接装配完成后，盖板1的中心环形凸台1-2与双“工”形十字梁6的内圈6-3上端面的缝隙大小0.12mm-0.24mm之间；盖板1的中心环形凸台1-2内壁与过渡接头9的外壁的缝隙大小0.08mm-0.16mm之间；十字梁基座的平板4的中心圆形凸台与双“工”形十字梁6的内圈6-3下端面的缝隙大小 0.12mm-0.24mm之间。通过对上述缝隙的限制，形成了对双“工”形十字梁6 的限位保护，提高六维力传感器的抗过载能力和安全性。

[0064] 在其他部分优选实施例中，电阻应变片10的数量为二十四个，二十四个电阻应变片10在四个垂直板、水平板上分布情况如下：

[0065] 其中，每个水平板上设有三个电阻应变片10，以一个和两个的数量形式分别分布于水平板的上下两个面；四个水平板中一组相邻的两个水平板的上面均分布有两个电阻应变片10，另外一组相邻的两个水平板的上面均分布有一个电阻应变片10；

[0066] 每个垂直板上设有三个电阻应变片10，以一个和两个的数量形式分别分布于垂直板的两个侧面；四个垂直板中位于同一条直线上的两个垂直板同一侧面的电阻应变片10分布数量相同。

[0067] 参照图5所示，定义以穿过弹性体6-2B截面中心的法线为X轴，以穿过弹性体6-2C截面中心的法线为Y轴，并通过三维坐标系中的右手定则，得到Z轴，三维空间中，三个轴向力和力矩分别定义为Fx，Fy，Fz，Mx，My，Mz。

[0068] 二十四个电阻应变片10设置于双“工”形十字梁6的弹性体6-2表面，其中在靠近双“工”形十字梁6内圈6-3的第二“工”形构件的横梁上，弹性体6-2A和6-2C朝向X轴正方向的一侧设置有两个电阻应变片10，朝向X 轴负方向的一侧设置有一个电阻应变片10；弹性体6-2B和6-2D朝向Y轴正方向的一侧设置有一个电阻应变片10，朝向Y轴负方向的一侧设置有两个电阻应变片10；在靠近双“工”形十字梁6外圈6-1的第一“工”形构件的横梁上，弹性体
6-2A和6-2B朝向Z轴正方向的一侧设置有两个电阻应变片 10，朝向Z轴负方向的一侧设置有一个电阻应变片10；弹性体6-2C和6-2D 朝向Z轴正方向的一侧设置有一个电阻应变片
10，朝向Z轴负方向的一侧设置有两个电阻应变片10。

[0069] 参照图6、图7和图8所示，二十四个电阻应变片10中，R1、R2、R3和 R4形成测量力Fx的一个惠斯特全桥电路；R5、R6、R7和R8形成测量力Fy的一个惠斯特全桥电路；R9、R10、R11和R12形成测量力Fz的一个惠斯特全桥电路；R13、R14、R15和R16形成测量力矩Mx的一个惠斯特全桥电路；R17、 R18、R19和R20形成测量力矩My的一个惠斯特全桥电路；R21、R22、R23和 R24形成测量力矩Mz的一个惠斯特全桥电路。

[0070] 本发明通过上述各种结构优化设计，具有结构简单、加工方便、成本低、维间耦合小、灵敏度高、抗过载能力强、一体化设计、应用灵活等特点。

[0071] 以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本发明的实质内容。

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