专利汇可以提供구조체의 전자기 산란 특성을 계산하고 이의 기하학적 파라미터 및 재료 파라미터를 추정하기 위한 방법 및 장치专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且산란측정에서, 규격화파라미터를포함하는메리트함수가측정된타겟의산란특성에대한값을찾기위한반복프로세스에서사용된다. 규격화파라미터에대한최적의값이각각의측정타겟에대하여그리고반복적프로세스의각각의반복과정에서획득된다. 불일치원리, 카이-제곱방법, 및메리트함수를포함하는, 불일치원리및 카이-제곱방법의신규한변경예를포함하는다양한방법들이규격화파라미터에대한값을찾기위하여사용될수 있다.,下面是구조체의 전자기 산란 특성을 계산하고 이의 기하학적 파라미터 및 재료 파라미터를 추정하기 위한 방법 및 장치专利的具体信息内容。
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METHOD AND SYSTEM FOR THE DETERMINATION OF SCATTERING COEFFICIENTS OF A FREQUENCY-CONVERTING DEVICE UNDER TEST | 2021-07-15 | 2 |
用於量測微影程序之參數的度量衡方法及裝置、電腦程式及微影系統 | 2020-10-12 | 4 |
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