技术领域
[0001] 本
发明涉及阀技术领域，尤其涉及了真空系统
安全阀。
背景技术
[0002] 随着真空技术在真空
镀膜、
核聚变、低温超导、航空航天等领域的应用日益深入，真空容器的安全问题也愈发重要。真空容器内部管道
泄漏、气体释放量增大或进行充气加压时，真空容器内压
力迅速增大，真空容器容易产生
变形、破裂甚至爆炸等现象。传统的压力管路上使用的安全阀，对部分真空容器需要在接近环境背景压力下可靠开启的使用要求无法满足。为了解决这些问题，需要在真空容器上设计安装能在接近环境背景压力下可靠开启的安全阀。
[0003] 目前在真空系统中一般采用的是压力
传感器设定设备的压力而进行电动控制放气，确保设备的安全，但是此方法不科学，其原因在于，一旦出现突然停电情况，可能造成安全事故。
[0004] 同时，各个真空系统设备商在设备生产中也有部分厂家采用非标制作安全阀，其通用性较差且有一定的设计
缺陷。如：有害气体的排放，安全阀无过滤设计易卡死，
接口固化无法根据实际工作状态进行调解或更换等等缺陷。
[0005] 以上情况的存在需要市场上推广一款适用于大多真空系统，接口通用，易于调压/更换，有过滤，污染气体等排放受控的一款通用性真空安全阀。
[0006] 目前，
专利名称为一种安全阀，专利号为201420006229.1的实用新型专利，公开了一种安全阀，包括
阀体，阀体上设有排气孔，在阀体内部安装有
密封圈，所述的密封圈的中心安装在一L形拉杆上，在所述的阀体外部
焊接一L形
支撑杆，所述的L形支撑杆上端与所述的L形拉杆的端部通过销钉滑动连接，在L形拉杆与阀体之间设有一拉簧，拉簧上端挂扣在拉杆的挂
耳上，拉簧下端挂扣在阀体的挂耳上。所述的阀体下端设有外
螺纹，在螺纹上设有螺纹
锁固胶，螺纹上部设有与阀体一体式设计的外六
角螺帽。所述的L形支撑杆上设有一供销钉滑动的滑槽，L形拉杆的端部设有一U形槽，L形支撑杆卡接在U形槽内。在所述的阀体上端设有一防尘盖。
[0007] 该
申请的原理是当阀体内的气压的压力高于拉簧的拉力的时候，L形拉杆和密封圈随气压推动向上运动，当密封圈高于排气口的
位置时，气体从排气口排出，气压迅速下降，当气压的压力低于拉簧的拉力的时候，拉簧带动L形拉杆和密封圈向下运动，致使密封圈堵住排气口，达到密封的目的。
[0008] 上述已经公开的专利申请具有结构简单，安装拆卸方便，便于加工生产，大大节约了原材料，同时减少了生产成本，实用性强。该申请具有结构简单，安装拆卸方便，便于加工生产，大大节约了原材料，同时减少了生产成本，实用性强，但还存在接口不通用、不利于进行调压、无过滤系统的缺陷。
发明内容
[0009] 本发明针对
现有技术中接口不通用、不利于进行调压、无过滤系统缺点，提供了真空系统安全阀。
[0010] 为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：
[0011] 真空系统安全阀，包括
阀座和阀芯，阀芯活动设置并控制安装阀的开闭，阀座包括进气口和出气口，阀座的进气口处安装有安装有过滤网，过滤网包括至少一个细过滤网和至少一个粗过滤网。
[0012] 作为优选，细过滤网和粗过滤网沿着气体流动方向依次设置，细过滤网为150目不锈
钢过滤网。
[0013] 作为优选，阀座的进气口处设有滤网槽，滤网槽内安装有
卡簧，卡簧与细过滤网或粗过滤网
接触并将细过滤网和粗过滤网压紧在滤网槽内，卡簧防止细过滤网和粗过滤网在滤网槽内轴向移动。
[0014] 作为优选，进气口和出气口分别安装有进气
法兰接口和出气法兰接口，进气法兰接口为真空KF25接口，出气法兰接口为真空KF40接口。
[0015] 作为优选，阀芯固装在阀座内，阀芯上设有竖直设置的排气孔，排气孔内安装有顶杆，顶杆靠近进气口的一端定义为下端，顶杆的另一端定义为其上端，阀芯上安装有密封圈，还包括套设在顶杆上的
弹簧，弹簧的下端与顶杆下端接触，弹簧的上端与阀芯接触并拉动顶杆的上端向下压紧在密封圈上。
[0016] 作为优选，顶杆的下端设有
外螺纹，顶杆下端安装有与其外螺纹配合的调节
螺母，弹簧的下端通过调节螺母与顶杆的下端接触，调节螺母控制弹簧的压缩量。
[0017] 作为优选，密封圈位于阀芯的上端面上，顶杆上端伸出排气孔外并连接有
压板，压板的下表面上设有向下延伸的密封环，密封环的截面为宽度沿向下方向逐渐减小的尖勾型，密封环与密封圈接触并压紧配合。
[0018] 作为优选，阀芯包括上阀芯和下阀芯，上阀芯和下阀芯相互连接并在连接处安装有阀芯密封圈，排气孔设置在上阀芯上，上阀芯的上端设有密封槽，密封圈安装在密封槽中，下阀芯为两端开口筒体，下阀芯的上开口与排气孔连通，下阀芯的下开口与进气口连通。
[0019] 作为优选，阀座包括下阀座和上阀座，下阀座和上阀座之间安装有阀座密封圈。
[0020] 作为优选，进气口设置在下阀座上，出气口设置在上阀座上。
[0021] 本发明由于采用了以上技术方案，具有显著的技术效果：
[0022] (1)本发明所述安全阀采用机械式原理，避免了
电路问题引发的安全阀不能正确动作的问题；
[0023] (2)本发明对接口进行标准化系列设计，其接口采用标准真空KF接口，接口处采用标准氟胶O型圈和
不锈钢中心
支架保持架，保证期
密封性和较高的耐高温性；采用KF接口后，对于真空系统的接口通用有了保证，在真空系统设计和安全性改造时能够简化其过程；
[0024] (3)本发明同时满足对大气排放气体和对管道排放气体，对管道排放时，排放口也采用KF接口设计，保证其出气口的接口通用性和便捷性：
[0025] (4)本发明所述安全阀在进气口处加有两级滤网片，防止
正压排气时真空系统内的固态杂质随气流进入安全阀，对安全阀
泄压阀芯的正常动作产生影响，如弹簧卡死，同时避免对密封O型圈的污染等情况的发生；
[0026] (5)本发明所属安全阀，其压力的调节采用压簧锁紧调节的方式，针对不同真空系统的实际运行需求，在出厂时可对泄压压力进行快速标定，同时，在使用过程中，如需变更泄压压力，由于其通用行的KF接口设计，也可进行快速更换，节省时间成本。
附图说明
[0027] 图1是本发明的结构示意图。
[0028] 图2是图1的局部放大图Ⅰ。
[0029] 图3是图1的局部放大图Ⅱ。
[0030] 附图中各数字标号所指代的部位名称如下：1—阀座、2—过滤网、3—阀芯、4—顶杆、5—弹簧、6—密封圈、7—卡簧、101—下阀座、102—上阀座、103—阀座密封圈、11—进气口、111—进气法兰接口、12—出气口、121—出气法兰接口、13—滤网槽、21—细过滤网、22—粗过滤网、301—上阀芯、3011—密封槽、302—下阀芯、303—阀芯密封圈、31—排气孔、
41—调节螺母、42—压板、421—密封环。
具体实施方式
[0031] 下面结合附图与
实施例对本发明作进一步详细描述。
[0032] 实施例1
[0033] 真空系统安全阀，如图所示，包括阀座1和阀芯3，阀芯3活动设置并控制安装阀的开闭，阀座1包括进气口11和出气口12，阀座1的进气口11处安装有安装有过滤网2，过滤网2包括一个细过滤网21和一个粗过滤网22。
[0034] 细过滤网21和粗过滤网22沿着气体流动方向依次设置，细过滤网21为150目不锈钢过滤网。
[0035] 细过滤网21为150目不锈钢滤网，与粗过滤网22结合组成安全阀的过滤系统，用以遮蔽固体杂质落入安全阀体内，避免固体杂质对安全阀机械动作产生影响；同时保持阀体清洁，避免密封O型圈污染影响密封。
[0036] 阀座1的进气口11处设有滤网槽13，滤网槽13内安装有卡簧7，卡簧7与细过滤网21接触并将细过滤网21和粗过滤网22压紧在滤网槽13内，卡簧7防止细过滤网21和粗过滤网22在滤网槽13内轴向移动。
[0037] 实施例2
[0038] 与实施例相同，不同的是进气口11和出气口12分别安装有进气法兰接口111和出气法兰接口121，进气法兰接口111为真空KF25接口，出气法兰接口121为真空KF40接口。
[0039] 其接口采用真空KF接口，接口处采用标准氟胶O型圈和不锈钢中心支架保持架，保证期密封性和较高的耐高温性；采用KF接口后，对于真空系统的接口通用有了保证，在真空系统设计和安全性改造时能够简化其过程。
[0040] 实施例3
[0041] 与实施例相同，不同的是阀芯3固装在阀座1内，阀芯3上设有竖直设置的排气孔31，排气孔31内安装有顶杆4，顶杆4靠近进气口11的一端定义为下端，顶杆4的另一端定义为其上端，阀芯1上安装有密封圈6，还包括套设在顶杆4上的弹簧5，弹簧5的下端与顶杆4下端接触，弹簧5的上端与阀芯3接触并拉动顶杆4的上端向下压紧在密封圈6上。
[0042] 顶杆4的下端设有外螺纹，顶杆4下端安装有与其外螺纹配合的调节螺母41，弹簧5的下端通过调节螺母41与顶杆4的下端接触。
[0043] 调节螺母41控制弹簧5的压缩量。调节螺母41可改变弹簧5的压缩量，从而调节安全阀的释放气压。调节螺母41向上调节时，弹簧5被进一步压缩。
[0044] 密封圈6位于阀芯3的上端面上，顶杆4上端伸出排气孔3外并连接有压板42，压板42的下表面上设有向下延伸的密封环421，密封环421的截面为宽度沿向下方向逐渐减小的尖勾型，密封环421与密封圈6接触并压紧配合，顶杆4受到弹簧5的弹力作用向下移动并带动密封环421向下压紧在密封圈6上。
[0045] 在气体压力低于弹簧5的锁紧力时，密封环421与密封圈6紧密配合并压缩密封圈6，使安全阀腔室密封保持其真空度。
[0046] 当气体压力高于弹簧5锁紧力时，气体压力使顶杆4克服弹簧5的作用力并顶起，密封环421与密封圈6间密封性被破坏释放超压气体。
[0047] 当气体压强降低至设定释放气压后，密封环421与密封圈6重新密封。
[0048] 实施例4
[0049] 与实施例相同，不同的是阀芯3包括上阀芯301和下阀芯302，上阀芯301和下阀芯302相互连接并在连接处安装有阀芯密封圈303，排气孔3设置在上阀芯301上，上阀芯301的上端设有密封槽3011，密封圈6安装在密封槽3011中，下阀芯302为两端开口筒体，下阀芯
302的上开口与排气孔3连通，下阀芯302的下开口与进气口11连通。顶杆4的下端位于下阀芯302中。
[0050] 实施例5
[0051] 与实施例相同，不同的是阀座1包括下阀座101和上阀座102，下阀座101和上阀座102之间安装有阀座密封圈103。
[0052] 进气口11设置在下阀座101上，出气口12设置在上阀座102上。
[0053] 本申请的技术方案具有以下优点：
[0054] (1)本发明所述安全阀采用机械式原理，避免了电路问题引发的安全阀不能正确动作的问题；
[0055] (2)本发明对接口进行标准化系列设计，其接口采用真空KF接口，接口处采用标准氟胶O型圈和不锈钢中心支架保持架，保证期密封性和较高的耐高温性
[0056] (3)采用KF接口后，对于真空系统的接口通用有了保证，在真空系统设计和安全性改造时能够简化其过程；
[0057] (4)本发明同时满足对大气排放气体和对管道排放气体，对管道排放时，排放口也采用KF接口设计，保证其出气口的接口通用性和便捷性：
[0058] (5)本发明所述安全阀在进气口处加有两级滤网片，防止正压排气时真空系统内的固态杂质随气流进入安全阀，对安全阀泄压阀芯的正常动作产生影响，如弹簧卡死，同时避免对密封O型圈的污染等情况的发生；
[0059] (6)本发明所属安全阀，其压力的调节采用压簧锁紧调节的方式，针对不同真空系统的实际运行需求，在出厂时可对泄压压力进行快速标定，同时，在使用过程中，如需变更泄压压力，由于其通用行的KF接口设计，也可进行快速更换，节省时间成本。
[0060] 总之，以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明申请专利范围所作的均等变化与修饰，皆应属本发明专利的涵盖范围。
