专利汇可以提供改进型多晶硅铸锭炉专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种改进型多晶 硅 铸锭 炉,属于 多晶硅 生产设备技术领域,解决了传统多晶硅铸锭炉结构设计不合理,热场结构不完善,硅锭 质量 无法得到保证的问题。主要包括炉体、保温 隔热 笼、 坩埚 、坩埚护板、 石墨 底板 、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器以及进气管、热交换平台,坩埚的底部呈波浪型,热交换平台底部中间 位置 处设有截面呈三 角 形状的三角槽体。本实用新型使得硅锭质量大幅度提高,为企业带来可观经济效益和社会效益;改进成本低,实现容易,实用性强,可广泛应用硅锭制造商。,下面是改进型多晶硅铸锭炉专利的具体信息内容。
1.一种改进型多晶硅铸锭炉,其包括炉体(1)、设置在炉体(1)上的抽气孔(2)、设置在所述炉体(1)内的带有升降杆(3)的保温隔热笼(4),所述保温隔热笼(4)内设置有坩埚(5)、带有尾气排放孔(6)的坩埚护板(7)、石墨底板(8)、石墨盖板(9)、侧部加热器(10)、顶部加热器(11)以及进气管(12),所述石墨底板(8)放置在热交换平台(13)上,所述坩埚(5)放置在所述石墨底板(8)上,所述坩埚护板(7)设置在坩埚(5)外侧,所述侧部加热器(10)设置在所述坩埚护板(7)外侧,所述石墨盖板(9)设置在所述坩埚(5)上方,所述顶部加热器(11)设置在石墨盖板(9)上方,其特征在于:所述坩埚(5)的底部呈波浪型,即其底部设有若干截面呈弧形状的条型凹槽(14),且相邻条形凹槽(14)无间距依次等齐排列;所述热交换平台(13)底部中间位置处设有截面呈三角形状的三角槽体(15),所述三角槽体(15)两底角边缘相隔间距与所述坩埚(5)底部宽度等宽,所述三角槽体(15)的长度与所述条形凹槽(14)的长度等长,所述热交换平台(13)经石墨立柱(16)固定在所述炉体(1)底部。
2.根据权利要求1所述的改进型多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述条形凹槽(14)的长度与所述坩埚(5)的长度等长。
3.根据权利要求1或2所述的改进型多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述条形凹槽(14)的凹槽深度为0.8-1.2mm,凹槽直径为1.2-2mm。
4.根据权利要求1所述的改进型多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述坩埚(5)与坩埚护板(7)之间设有碳毡。
5.根据权利要求1所述的改进型多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述坩埚(5)是熔融石英坩埚。
6.根据权利要求1所述的改进型多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述三角槽体(15)的高度为热交换平台(13)高度的1/4-1/2。
7.根据权利要求1所述的改进型多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述炉体(1)底部安装有溢流毯(17),所述溢流毯(17)为四层结构,从上到下依次为针织陶瓷纤维毯层、针织陶瓷纤维毯层、陶瓷纤维毯层、碳毡层,所述针织陶瓷纤维层的厚度的为10mm、针织陶瓷纤维毯层的厚度为10mm、陶瓷纤维毯层的厚度为25mm、碳毡层的厚度为10mm。
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