1.一种气相沉积设备，包括：真空腔室，位于所述真空腔室内的背板、位于背板上方的金属掩膜以及用于支撑所述背板的基座，所述金属掩膜上设有抗等离子体涂布层，其特征在于，还包括：
位于所述基座两个相对侧的夹持机构，每个夹持机构用于夹持所述金属掩膜的一端以将所述金属掩膜拉开，且用于夹持同一金属掩膜的两个夹持机构之间的距离可调；
对位系统，用于控制每个夹持机构以设定拉力拉开所述金属掩膜，还用于分别控制每个夹持机构移动以将所述金属掩膜贴合在所述背板的设定位置上；
所述对位系统包括：
采集装置，用于采集所述背板上的第一对位标识图像信息和所述金属掩膜上的第二对位标识图像信息；
与每个夹持机构一一对应的搬送装置，所述搬送装置用于带动与其对应的夹持机构沿第一设定方向、第二设定方向以及第三设定方向移动，其中所述第一设定方向和第二设定方向与水平面平行，且第一设定方向和第二设定方向垂直，所述第三设定方向与水平面垂直；
与所述采集装置和每个搬送装置信号连接的控制装置，所述控制装置根据接收到的第一对位标识图像信息和第二对位标识图像信息、以及所述设定拉力分别控制每个搬送装置工作；
所述搬送装置包括：
底座；
传动杆，所述传动杆的一端与所述底座固定连接，所述传动杆的另一端与一夹持机构固定连接；
安装于所述底座、驱动所述底座沿所述第一设定方向移动的第一运动机构；
安装于所述底座、驱动所述底座沿所述第二设定方向移动的第二运动机构；
安装于所述底座、驱动所述底座沿所述第三设定方向移动的第三运动机构；
所述搬送装置还包括：与所述控制装置信号连接的压力传感器，用于检测所述传动杆所受的压力信息，所述控制装置根据所述压力信息控制所述底座在第三设定方向上的移动量。
2.根据权利要求1所述的气相沉积设备，其特征在于，所述夹持机构包括：平行设置的第一夹板和第二夹板，所述第一夹板与所述传动杆的另一端固定连接，所述第一夹板和所述第二夹板之间通过卡口和卡扣连接。
3.根据权利要求2所述的气相沉积设备，其特征在于，所述金属掩膜上设有与所述卡扣配合的通孔。
4.根据权利要求1～3任一项所述的气相沉积设备，其特征在于，所述底座、第一运动机构、第二运动机构以及第三运动机构位于所述真空腔室外，所述传动杆的一端伸入所述真空腔室，所述传动杆的另一端位于所述真空腔室外、且通过波纹管与所述真空腔室的外壁密封连接。
5.根据权利要求4所述的气相沉积设备，其特征在于，所述第一运动机构为第一伸缩缸，所述第一伸缩缸的缸体相对所述真空腔室固定，所述第一伸缩缸的伸缩杆的伸缩方向与所述第一设定方向平行；和/或；
所述第二运动机构为第二伸缩缸，所述第二伸缩缸的缸体相对所述真空腔室固定，所述第二伸缩缸的伸缩杆的伸缩方向与所述第二设定方向平行；和/或；
所述第三运动机构为第三伸缩缸，所述第三伸缩缸的缸体相对所述真空腔室固定，所述第三伸缩缸的伸缩杆的伸缩方向与所述第三设定方向平行。
6.根据权利要求5所述的气相沉积设备，其特征在于，所述第一运动机构包括：与所述底座传动连接的第一螺纹丝杠，所述第一螺纹丝杠的轴线与所述第一设定方向平行；与所述真空腔室相对固定、且与所述第一螺纹丝杠的一端传动连接的第一驱动电机；和/或，所述第二运动机构包括：与所述底座传动连接的第二螺纹丝杠，所述第二螺纹丝杠的轴线与所述第二设定方向平行；与所述真空腔室相对固定、且与所述第二螺纹丝杠的一端传动连接的第二驱动电机；和/或，
所述第三运动机构包括：与所述底座传动连接的第三螺纹丝杠，所述第三螺纹丝杠的轴线与所述第三设定方向平行；与所述真空腔室相对固定、且与所述第三螺纹丝杠的一端传动连接的第三驱动电机。
7.根据权利要求4所述的气相沉积设备，其特征在于，所述采集装置为电荷耦合元件镜头。