上海微电子装备有限公司|专利百科 - 专利汇|PatentHub专利检索|专利查询网|发明专利查询分析

该申请人涉及专利文献：2550，涉及专利：1676件

覆盖主要的IPC大类包括：G03(1123)、H01(245)、G02(239)、G01(232)、H02(75)、F16(67)、G05(57)、G06(24)、B25(22)、B23(21)

专利类型分布状况：发明公开(1414)、实用新型(177)、发明申请(54)、外观设计(30)、发明授权(1)

专利不同法律状态数据分布状况：有效专利(1250)、无效专利(194)、失效专利(175)、公开(54)、实质审查(3)

该领域主要的发明人有：吴飞(47)、李运锋(46)、李焕炀(45)、张俊(38)、武珩(36)、关俊(29)、蔡燕民(28)、吴立伟(26)、杜聚有(25)、江旭初(23)

详细地址：中国上海市浦东新区上海市浦东新区张东路1525号 201203

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专利类型	专利名称	文献号
发明公开	芯片键合设备及方法	CN107134420A
发明公开	倒装芯片键合装置及其键合方法	CN107134419A
发明授权	用于EUV光刻设备的真空框架及密封方法	CN105223779B
发明授权	一种光刻机机械式快门叶片结构	CN104777716B
发明授权	一种改善掩模垂向重力弯曲的掩模台	CN104749894B
发明授权	一种激光退火装置和方法	CN104078339B
发明授权	用于光刻设备的调焦调平系统	CN104950583B
发明公开	硅片预对准机构、曝光装置及曝光方法	CN106997159A
发明公开	扫描反射镜监测系统及方法、调焦调平系统	CN106997152A
发明公开	一种降低光刻物镜压力灵敏度的方法及其应用	CN106997150A
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排名	企业名称	专利
1	上海微电子装备有限公司	2604

排名	发明人	专利
1	吴飞	47
2	李运锋	46
3	李焕炀	45
4	张俊	38
5	武珩	36
6	关俊	29
7	蔡燕民	28
8	吴立伟	26
9	杜聚有	25
10	江旭初	23

排名	企业名称	专利
1	上海思微知识产权代理事务所	1619
2	北京连和连知识产权代理有限公司	630
3	上海智信专利代理有限公司	250
4	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)	52
5	上海新天专利代理有限公司	35
6	上海泰能知识产权代理事务所	11
7	北京鸿元知识产权代理有限公司	2

排名	代理人	专利
1	屈蘅	1618
2	李时云	1446
3	王光辉	630
4	王洁	250
5	王敏杰	35
6	黄志达	11
7	谢文凯	10
8	智云	1
9	林德杰	1

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