| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 21 | 涡轮分子泵 | CN201610023936.5 | 2016-01-14 | CN106246563B | 2020-05-19 | 筒井慎吾 |
| 本发明提供一种涡轮分子泵，能够实现维护成本的降低。涡轮分子泵(1)包括：涡轮翼泵部(TP)，包含固定翼(21)及旋转翼(12)；牵引泵部(DP)，比涡轮翼泵部(TP)设置得靠排气下游侧；以及保护构件(40)、保护构件(41)、保护构件(42)，以覆盖比涡轮翼泵部TP靠排气下游侧的接触气体面的方式能够装卸地设置，防止堆积物对接触气体面的附着。 | ||||||
| 22 | 涡轮分子泵 | CN201710068005.1 | 2014-12-02 | CN106968969B | 2019-04-26 | 筒井·慎吾 |
| 本发明提供一种涡轮分子泵，包括：冷却隔片(23b)，配置在最下段的隔片与基座(20)之间，且具备供冷却液流通的隔片冷却管(45)；加热器(42)，使螺纹定子升温；温度传感器(43)，检测螺纹定子的温度；以及基座冷却管(46)，串联连接于隔片冷却管(45)，使基座(20)冷却；且所述涡轮分子泵包括作为温度控制部的调温用控制器(51)，所述调温用控制器(51)控制冷却液向串联连接的隔片冷却管(45)及基座冷却管(46)的流通与加热器(42)的通电，而将螺纹定子(24)的温度维持在规定温度。根据本发明，可同时实现大流量排气及防止产物堆积。 | ||||||
| 23 | 涡轮分子泵 | CN201610028614.X | 2016-01-15 | CN105987012B | 2019-03-19 | 坪川彻也 |
| 本发明提供一种涡轮分子泵，能够抑制生成物对间隔件内周面的堆积。涡轮分子泵(1)包括：隔着环状的间隔件(29B)而积层的多个固定翼(21)，以及相对于多个固定翼(21)旋转的多个旋转翼(12)，并且，在间隔件(29B)设置着抑制从间隔件(29B)的内周部(291)向外周部(292)的热移动的热阻部(290)。 | ||||||
| 24 | 涡轮分子泵 | CN201810866747.3 | 2018-08-01 | CN109404307A | 2019-03-01 | 渡边耕太 |
| 本发明提供一种能防止气体从背压侧经由紧固泵转子的螺钉与泵转子的间隙向泵吸气口侧泄漏的涡轮分子泵。本发明的涡轮分子泵具备：主轴(4b)，由电机旋转驱动；泵转子(4a)；多个螺钉(50)，从泵吸气口侧贯穿泵转子(4a)，将泵转子(4a)紧固于主轴(4b)的泵吸气口侧端部；以及O环密封件(52)，将泵转子(4a)与主轴(4b)的紧固面的间隙密封。 | ||||||
| 25 | 涡轮分子泵 | CN201410334765.9 | 2014-07-11 | CN104421171B | 2017-09-12 | 筒井慎吾 |
| 本发明提供一种涡轮分子泵，所述涡轮分子泵防止含有铁、铬的零件因处理气体而腐蚀，且不使含有铁、铬的金属粒子倒流到真空室。本发明对气体接触部实施镀镍，所述气体接触部即比从真空排气上游侧数起第一段的转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气上游侧的处理气体所接触的区域。 | ||||||
| 26 | 涡轮分子泵 | CN201710068005.1 | 2014-12-02 | CN106968969A | 2017-07-21 | 筒井·慎吾 |
| 本发明提供一种涡轮分子泵，包括：冷却隔片(23b)，配置在最下段的隔片与基座(20)之间，且具备供冷却液流通的隔片冷却管(45)；加热器(42)，使螺纹定子升温；温度传感器(43)，检测螺纹定子的温度；以及基座冷却管(46)，串联连接于隔片冷却管(45)，使基座(20)冷却；且所述涡轮分子泵包括作为温度控制部的调温用控制器(51)，所述调温用控制器(51)控制冷却液向串联连接的隔片冷却管(45)及基座冷却管(46)的流通与加热器(42)的通电，而将螺纹定子(24)的温度维持在规定温度。根据本发明，可同时实现大流量排气及防止产物堆积。 | ||||||
| 27 | 涡轮分子泵 | CN201410270398.0 | 2014-06-17 | CN104454569B | 2017-04-12 | 筒井·慎吾 |
| 本发明提供一种涡轮分子泵，其课题在于提高排气流量及防止反应生成物的堆积。将多段隔片(23a)中的至少一个隔片(23a)作为冷却隔片(23b)，所述冷却隔片(23b)具有向泵大气侧延伸出的冷却部，依据对螺纹定子(24)的温度进行检测的温度传感器(43)的检测温度，对设于基底(2)的加热器进行接通断开控制，将隔热构件(44)设在基底(2)与隔片(23a)之间，且包括辅助环(60)，所述辅助环(60)的至少一部分设在最下段的旋转翼(30al)与隔片(23a)、隔片(23b)之间的空隙内。 | ||||||
| 28 | 涡轮分子泵 | CN201610028614.X | 2016-01-15 | CN105987012A | 2016-10-05 | 坪川彻也 |
| 本发明提供一种涡轮分子泵，能够抑制生成物对间隔件内周面的堆积。涡轮分子泵(1)包括：隔着环状的间隔件(29B)而积层的多个固定翼(21)，以及相对于多个固定翼(21)旋转的多个旋转翼(12)，并且，在间隔件(29B)设置着抑制从间隔件(29B)的内周部(291)向外周部(292)的热移动的热阻部(290)。 | ||||||
| 29 | 涡轮分子泵 | CN201310349243.1 | 2013-08-12 | CN103398013B | 2016-08-24 | 李兵; 李奇志 |
| 本发明公开了一种涡轮分子泵，其包括泵体、主轴、涡轮转子、电机以及静涡轮级，其中，电机包括电机定子和电机转子，电机转子和电机定子为中部具有通孔的盘形结构，电机转子和电机定子通过各自通孔先后套设在主轴上，电机转子与电机定子盘面相对，且电机定子固定不动，电机转子固定设置在主轴与涡轮转子的连接处，以使电机定子与电机转子形成的旋转动力源位于或者接近主轴与涡轮转子形成的轴系转子的质心处，从而使得本发明的涡轮分子泵运转时动不平衡降低，振动较小，提高了涡轮分子泵的运行可靠性。 | ||||||
| 30 | 涡轮分子泵 | CN201180011499.0 | 2011-07-20 | CN102762870B | 2016-06-29 | 坂口祐幸; 三轮田透; 和田昭彦 |
| 本发明以提高涡轮分子泵的能力作为目的。涡轮分子泵是将叶片部和螺纹槽部组合的真空泵。而且，在保持转子叶片(5)的转子叶片保持部(31)和保持转子筒部(17)的台阶部(72)的接合部，形成有遍及两者的开口(51)。对叶片部进行排气后的气体中的一部分，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15a)构成的螺纹槽部被排出，剩余经由开口(51)而被引导至转子筒部(17)的内侧，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15b)构成的螺纹槽部被排出。开口(51)，在形成于转子叶片保持部(31)和台阶部(72)的接合部的情况下，能够承受转子(4)的旋转所导致的应力。另外，通过将设置有平衡器用的重锤的槽(61)设置于比定子螺纹槽(15b)更靠近吸气口侧的间隙部分，从而没有必要缩短定子螺纹槽(15b)的长度。 | ||||||
| 31 | 涡轮分子泵 | CN201510518401.0 | 2015-08-21 | CN105443404A | 2016-03-30 | 森山伸彦 |
| 本发明提供一种能使起动操作简化的涡轮分子泵。涡轮分子泵(100)包括：泵转子(4)，由马达(M)旋转驱动；定子(32)，对应于泵转子(4)而设；加热器(38)，使定子(32)升温至目标温度(T0)；温度传感器(39)，检测定子(32)的温度；及控制单元(2)，若在加热器(38)开始通电后输入有旋转开始指令，则在定子(32)的温度达到设定为小于目标温度的规定温度之前，禁止以常态转数旋转驱动泵转子(4)，当定子(32)的温度超过规定温度时，以常态转数进行旋转驱动。 | ||||||
| 32 | 涡轮分子泵 | CN201410270398.0 | 2014-06-17 | CN104454569A | 2015-03-25 | 筒井·慎吾 |
| 本发明提供一种涡轮分子泵，其课题在于提高排气流量及防止反应生成物的堆积。将多段隔片(23a)中的至少一个隔片(23a)作为冷却隔片(23b)，所述冷却隔片(23b)具有向泵大气侧延伸出的冷却部，依据对螺纹定子(24)的温度进行检测的温度传感器(43)的检测温度，对设于基底(2)的加热器进行接通断开控制，将隔热构件(44)设在基底(2)与隔片(23a)之间，且包括辅助环(60)，所述辅助环(60)的至少一部分设在最下段的旋转翼(30al)与隔片(23a)、隔片(23b)之间的空隙内。 | ||||||
| 33 | 涡轮分子泵 | CN200980145099.1 | 2009-10-05 | CN102209851B | 2014-02-26 | 大石耕太 |
| 本发明提供一种涡轮分子泵，对于旋转叶轮(4B)的动叶轮叶片及固定叶轮(2B)的静叶轮叶片的叶轮间距S和弦长C的比即无量纲数X，将第1叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(R)及Xi(R)，将第2叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(S)及Xi(S)，此时，对于在旋转轴方向上相邻的叶轮层，设置至少一层满足第1关系式“Xo(R)＞Xo(S)”及第2关系式“Xi(R)＜Xi(S)”的叶轮层。其结果，与基于二维的叶轮截面模型进行叶轮设计的现有涡轮分子泵相比，能够提高排气性能、特别是大流量区域的排气性能。 | ||||||
| 34 | 涡轮分子泵 | CN200910161320.4 | 2009-07-20 | CN101634307B | 2013-06-12 | 大林哲郎; 正司毅 |
| 本发明提供一种动叶层和静叶层交互配置而成的涡轮分子泵，该涡轮分子泵可以防止因真空破坏而发生空气冲入运转中的装置的情况时动叶层与静叶层的叶发生接触的事故，而且转子中心部也不会受到过大的离心力，并且泵的排气性能也比现有的提高了。动叶层(1)的动叶(2)中，圆周方向的叶剖面(2a)的形状以如下方式形成：该叶剖面(2a)的前半部分以凸状向旋转方向后方弯曲，并该叶剖面(2a)的后半部以凸状向旋转方向前方弯曲，从而使该叶剖面(2a)的剖面形状形成为S字形或反S字形。 | ||||||
| 35 | 泵-涡轮机 | CN200910128632.5 | 2009-03-16 | CN101539088B | 2012-12-26 | 手塚光太郎; 中村一幸 |
| 本发明提供一种泵-涡轮机，其即使在由于电力系统的频率变化造成转子旋转速度改变时也能够高效地继续稳定的泵操作。带有发电电动机的泵-涡轮机10包括直接连接至发电电动机1的水轮机轴11、固定至所述水轮机轴11的转子12以及各设置为围绕所述转子12的外周的多个导向叶片13。每个导向叶片13由控制单元20控制和驱动。控制单元20从对应于从存储器21发送的两个或多个旋转速度的适当导向叶片开口数据中选择对应于从传感器23获得的转子旋转速度的适当导向叶片开口数据。控制单元20通过使用所选择的适当导向叶片开口数据并且根据从监视单元22发送的泵特性而确定适当的导向叶片开口，来驱动每个导向叶片13。 | ||||||
| 36 | 涡轮分子泵 | CN201180011499.0 | 2011-07-20 | CN102762870A | 2012-10-31 | 坂口祐幸; 三轮田透; 和田昭彦 |
| 本发明以提高涡轮分子泵的能力作为目的。涡轮分子泵是将叶片部和螺纹槽部组合的真空泵。而且，在保持转子叶片(5)的转子叶片保持部(31)和保持转子筒部(17)的台阶部(72)的接合部，形成有遍及两者的开口(51)。对叶片部进行排气后的气体中的一部分，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15a)构成的螺纹槽部被排出，剩余经由开口(51)而被引导至转子筒部(17)的内侧，在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15b)构成的螺纹槽部被排出。开口(51)，在形成于转子叶片保持部(31)和台阶部(72)的接合部的情况下，能够承受转子(4)的旋转所导致的应力。另外，通过将设置有平衡器用的重锤的槽(61)设置于比定子螺纹槽(15b)更靠近吸气口侧的间隙部分，从而没有必要缩短定子螺纹槽(15b)的长度。 | ||||||
| 37 | 涡轮分子泵 | CN200880124830.8 | 2008-11-27 | CN101952602A | 2011-01-19 | 海因里希·恩伦德尔 |
| 本发明涉及一种涡轮分子泵，其具有与驱动轴(10)相连接的转子(12)。所述转子(12)具有多个转子翼片(16)。所述转子(12)由定子环(26)围绕，其中每个转子翼片(16)设有一个定子环(26)。为了在工作时允许所述转子翼片的径向膨胀，所述定子环(26)具有环形槽(32)。 | ||||||
| 38 | 涡轮分子泵 | CN200880019895.6 | 2008-06-05 | CN101680458A | 2010-03-24 | 罗伯特·施奈德斯; 马库斯·亨利; 格哈德·威廉·沃尔特 |
| 本发明涉及一种涡轮分子泵(12)，其具有在入口转子级(18)远端的圆形的吸气口(16)。所述吸气口(16)具有至少两个相互分开的开口部分(41、42、43)。 | ||||||
| 39 | 泵-涡轮机 | CN200910128632.5 | 2009-03-16 | CN101539088A | 2009-09-23 | 手塚光太郎; 中村一幸 |
| 本发明提供一种泵－涡轮机，其即使在由于电力系统的频率变化造成转子旋转速度改变时也能够高效地继续稳定的泵操作。带有发电电动机的泵－涡轮机10包括直接连接至发电电动机1的水轮机轴11、固定至所述水轮机轴11的转子12以及各设置为围绕所述转子12的外周的多个导向叶片13。每个导向叶片13由控制单元20控制和驱动。控制单元20从对应于从存储器21发送的两个或多个旋转速度的适当导向叶片开口数据中选择对应于从传感器23获得的转子旋转速度的适当导向叶片开口数据。控制单元20通过使用所选择的适当导向叶片开口数据并且根据从监视单元22发送的泵特性而确定适当的导向叶片开口，来驱动每个导向叶片13。 | ||||||
| 40 | 涡轮燃油泵 | CN03136325.3 | 2003-05-28 | CN100526652C | 2009-08-12 | 本岛淳一; 饭岛正昭 |
| 涡轮燃油泵包括一个具有多个叶片的叶轮，每个叶片包括沿叶轮径向直线延伸的直线叶片部分，和从直线叶片部分的头部开始、向着从叶轮转动的方向看的在前一侧圆形地弯曲延伸的弯曲叶片部分组成。直线叶片部分的长度为(1/3至2/3)×H，其中H是叶轮的总长度。 | ||||||
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