专利汇可以提供利用调制的复合一维纳米材料制备单电子器件的方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 属于纳 电子 学及纳电子器件领域,具体为利用调制的复合一维 纳米材料 构建单电子器件并提高其 工作 温度 到室温或更高的思想和方法。通过在生长过程中控制地在一维纳米结构( 纳米管 )中引入势垒(可以用金属颗粒、成分改变、金属和绝缘体或非晶和晶体的转变、 定位 的电子或 离子注入 ),可以改变纳米管的电学性质。用这种复合纳米材料制备出单电子器件。通过调节势垒的间距,可以控制由此制备的单电子器件的工作温度达到室温或更高温。本发明用于纳电子学研究及单电子器件制备。,下面是利用调制的复合一维纳米材料制备单电子器件的方法专利的具体信息内容。
1.一种制备单电子器件的方法,包括碳纳米管的制备、电极的设计制备及通过组装和纳米加工构成器件,其特征是利用调制的复合一维纳米材料制备单电子器件,通过在生长过程中控制地在一维纳米结构中引入势垒,改变纳米管的电学性质,使单电子器件工作温度提高到室温或更高。
2.根据权利要求1所述的制备单电子器件的方法,其特征是决定单电子器件工作温度的库仑岛的尺寸是由势垒间距决定的。
3.根据权利要求1所述的制备单电子器件的方法,其特征是按下述方法步骤制备:1)用化学气相沉积方法制备碳纳米管,在其生长过程中定时填充过量的金属或非金属引入势垒,得到有调制结构的碳纳米管;2)用微电子光刻技术制备电极;3)将上述有调制结构的碳纳米管在二氯乙烷中超声分散后组装到上述电极上,并可用聚焦离子束工作站或电子束曝光机等纳米加工手段进一步加工改造,最终构成单电子器件。
4.根据权利要求1所述的制备单电子器件的方法,其特征是所述的制备有调制结构的碳纳米管还可采用周期性地改变成分、金属、和绝缘体的转变或定位的电子、离子注入的方法引入势垒。
5.根据权利要求1或3所述的制备单电子器件的方法,其特征是所述的引入势垒制备有调制结构的碳纳米管的具体方法中使用的是0.08克酞氰铁或二茂铁溶解于300毫升左右的芳香类有机溶剂中,如二甲苯。
6.根据权利要求1或3所述的制备单电子器件的方法,其特征是所述的利用微电子光刻技术制备电极,电极间距100纳米到1微米,线宽100到300纳米。
7.根据权利要求1或3所述的制备单电子器件的方法,其特征是所述的将有调制结构的碳纳米管组装到电极上是采用将碳管在二氯乙烷中超声分散后滴洒组装在电极上,通过控制滴洒的溶液浓度和溶液量控制电极上碳管的数目。
8.根据权利要求1或3所述的制备单电子器件的方法,其特征是所述的制备有调制结构的碳纳米管时还可以填充金属Co、Ni、Ag来实现引入势垒。
9.根据权利要求1或3所述的制备单电子器件的方法,其特征是所述的制备有调制结构的碳纳米管时还可以填充非金属N、P来实现引入势垒。
10.根据权利要求4所述的制备单电子器件的方法,其特征是所述的引入势垒制备有调制结构的碳纳米管的具体方法步骤是:1)按常规CVD或电弧放电法制备纯净纳米碳管;2)用电子束曝光方法制作间距20-50纳米、线宽10-30纳米的筛型模板;3)将纳米碳管平铺于一平板基底上,上面加上上述模板;4)将上述结构暴露在高能电子束或离子束下即可进行定位的电子、离子注入;如暴露在合适的化学气氛下即可实现纳米管成分的周期性转变或金属与绝缘体的转变。
11.利用调制的复合一维纳米材料制备单电子器件并提高工作温度至室温或更高的方法用作纳电子学研究和纳电子器件制备。
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