专利汇可以提供一种具有复合密封方式的静压气体轴承及其使用方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种具有复合密封方式的静压 气体 轴承 及其使用方法,它至少由:轴承体(1)、电加热器(2)、回流槽(3)、供气孔I(4)、气腔(5)、节流孔(6)、供气孔II(7)、承载面(8)、回流孔I(9)、回流孔II(10)、机械 泵 (11)、机械泵进气管(12)、 开关 阀 (13)、 真空 泵排气管(14)、 真空泵 (15)、真空泵进气管(16)、插板阀(17)、 压缩机 (18)、压缩机排气管(19)和调压阀(20)组成,本 发明 使静压 气体轴承 可工作在真空或超洁净环境并能避免润滑气体对真空或超洁净环境的污染。,下面是一种具有复合密封方式的静压气体轴承及其使用方法专利的具体信息内容。
1.一种具有复合密封方式的静压气体轴承,它至少由:轴承体(1)、电加热器(2)、回流槽(3)、供气孔I(4)、气腔(5)、节流孔(6)、供气孔II(7)、承载面(8)、回流孔I(9)、回流孔II(10)、机械泵(11)、机械泵进气管(12)、开关阀(13)、真空泵排气管(14)、真空泵(15)、真空泵进气管(16)、插板阀(17)、压缩机(18)、压缩机排气管(19)和调压阀(20)组成,其特征在于,所述的轴承体(1)上设置电加热器(2),轴承体(1)与承载面(8)之间的气膜(21)与回流槽(3)下部连通,回流槽(3)上部通过回流孔I(9)与回流孔II(10)连通,回流孔II(10)与插板阀(17)的进气口连通,插板阀(17)的出气口通过真空泵进气管(16)与真空泵(15)的进气口连通,真空泵(15)的出气口通过真空泵排气管(14)与开关阀(13)的进气口连通,开关阀(13)的出气口通过机械泵进气管(12)与机械泵(11)的进气口连通,压缩机(18)的出气口通过压缩机排气管(19)与调压阀(20)的进气口连通,调压阀(20)的出气口与供气孔I(4)连通,供气孔I(4)通过供气孔II(7)与节流孔(6)连通,节流孔(6)通过气腔(5)与气膜(21)连通,回流槽(3)、回流孔I(9)、回流孔II(10)、插板阀(17)、真空泵进气管(16)、真空泵(15)、真空泵排气管(14)、开关阀(13)、机械泵进气管(12)和机械泵(11)组成轴承排气系统(K)。
2.根据权利要求1所述的一种具有复合密封方式的静压气体轴承,其特征在于:轴承排气系统(K)和电加热器(2)的数量可根据密封需要设置。
3.根据权利要求1所述的一种具有复合密封方式的静压气体轴承的静压气体轴承的使用方法,其特征在于:轴承工作前,为电加热器(2)通电加热,启动机械泵(11)、打开开关阀(13),当真空泵进气管(16)内的压力小于真空泵(15)的开启压力时,启动真空泵(15)直至真空泵进气管(16)内的压力保持不变,开启压缩机(18),通过调压阀(20)调整供气压力,使轴承体(1)浮于承载面(8)上而处工作状态,工作结束后,依次关闭压缩机(18)、调压阀(20)、插板阀(17)、真空泵(15)、开关阀(13)和机械泵(11),切断电加热器(2)的电源。
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