技术领域
[0001] 本
发明涉及真空技术的领域,尤其涉及一种
真空泵。
背景技术
[0002] 普通的罗茨真空泵是不能单独使用的,必须配上合适的
前级真空泵组成机组使用。前级真空泵的作用是降低罗茨真空泵的排出压
力,使罗茨真空泵的进、排气压差和压缩比被控制在一定的范围内。由于罗茨真空泵的压缩比是有限的,所以选择前级真空泵的抽速很重要,否则会使罗茨真空泵出现
过热、过载或咬死等情况,影响整个真空泵机组的工作状况。
发明内容
[0003] 本发明主要解决的技术问题是提供一种真空泵,可以单独使用也可以作为
前级泵使用,抽气量大,能在较恶劣的环境下工作,经久耐用,结构紧凑,占地面积小,使用寿命长,适用于真空
镀膜、真空
热处理、真空
烧结和分子蒸馏等场合。
[0004] 为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供了一种真空泵,包括泵体、偏心轮、真空
阀、阀杆、排气阀以及进气管,所述的偏心轮安装在泵体的内部,所述的真空阀通过阀杆与偏心轮相连接,所述的泵体与进气管相连通,所述的排气阀安装在泵体与进气管相连接处的上部并与泵体相连通。
[0005] 在本发明一个较佳
实施例中,所述的真空阀位于泵体与进气管相连接处的内部。
[0006] 在本发明一个较佳实施例中,所述的泵体、偏心轮和真空阀均为圆形结构。
[0007] 在本发明一个较佳实施例中,所述的阀杆通过真空阀在泵体内上下左右摆动。
[0008] 在本发明一个较佳实施例中,所述的真空泵还包括固定座,所述的固定座分别安装在泵体的下部。
[0009] 本发明的有益效果是:本发明的真空泵,可以单独使用也可以作为前级泵使用,抽气量大,能在较恶劣的环境下工作,经久耐用,结构紧凑,占地面积小,使用寿命长,适用于
真空镀膜、真空热处理、真空烧结和分子蒸馏等场合。
附图说明
[0010] 为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图,其中:图1 是本发明真空泵的一较佳实施例的截图示意图;
附图中的标记为:1、泵体,2、偏心轮,3、真空阀,4、阀杆,5、排气阀,6、进气管,7、固定座。
具体实施方式
[0011] 下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本发明保护的范围。
[0012] 如图1所示,本发明实施例包括:一种真空泵,包括泵体1、偏心轮2、真空阀3、阀杆4、排气阀5以及进气管6,所述的偏心轮2安装在泵体1的内部,所述的真空阀3通过阀杆4与偏心轮2相连接,所述的泵体1与进气管6相连通,所述的排气阀6安装在泵体1与进气管6相连接处的上部并与泵体1相连通。其中,所述的真空阀3位于泵体1与进气管6相连接处的内部。
[0013] 进一步的,所述的泵体1、偏心轮2和真空阀3均为圆形结构。由于真空阀3为圆形结构,能够在泵体1与进气管6相连接处的内部进行转动,从而带动所述的阀杆4通过真空阀3在泵体内上下左右摆动。因此泵体1内的腔室被阀杆4和偏心轮2分隔成两个腔室。
[0014] 在运转过程中,由于两个腔室容积周期性地改变,使被抽气体不断进入逐渐增大容积的吸气腔,同时,在排气腔随着容积的缩小而使气体受压缩,并通过排气阀5排出泵体1外。
[0015] 再进一步的,所述的真空泵还包括固定座7,所述的固定座7分别安装在泵体1的下部,用于
支撑固定整个真空泵的
位置。
[0016] 综上所述,本发明的真空泵,可以单独使用也可以作为前级泵使用,抽气量大,能在较恶劣的环境下工作,经久耐用,结构紧凑,占地面积小,使用寿命长,适用于真空镀膜、真空热处理、真空烧结和分子蒸馏等场合。
[0017] 以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的
专利范围,凡是利用本发明
说明书内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其它相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。