专利汇可以提供智能真空器件在线监测方法及其装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种智能 真空 器件在线检测方法及其装置,包括设于真空密封腔体上并且一端与真空密封腔体内部连通的连接管,以及与连接管另一端连通的 波纹管 ,波纹管远离连接管的另一端上固定一光感应装置,另设有光发射装置和光接收装置,光发射装置发射光 信号 连续监测该光感应装置的 位置 并将其传输给光接收装置,光接收装置将接收的 光信号 通过光缆传输给 中央处理器 。该智能真空器件在线监测装置持续监控真空器件的真空度变化,在产品失效前及时发出警告,提醒工作人员采取措施,避免事故发生。不仅减免了对真空器件的脱机检验,降低了运营和维护成本;而且增加了产品的可靠性,减少了对人员和资产伤害的 风 险;并可实现远程监控,利用智能化发展。,下面是智能真空器件在线监测方法及其装置专利的具体信息内容。
1.一种智能真空器件在线检测装置,其特征在于:包括设于真空密封腔体(1)上并且一端与该真空密封腔体内部连通的连接管(2),以及与该连接管另一端连通的波纹管(3),该波纹管远离该连接管的另一端上固定一光感应装置(4),另设有光发射装置(5)和光接收装置(6),该光发射装置发射光信号连续监测该光感应装置的位置并将其传输给光接收装置,该光接收装置将接收的光信号通过光缆传输给中央处理器。
2.根据权利要求1所述的智能真空器件在线检测装置,其特征在于:所述光感应装置为光栅。
3.根据权利要求2所述的智能真空器件在线检测装置,其特征在于:所述光发射装置和光接收装置分别设置于该光栅的相对两侧。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的智能真空器件在线检测装置,其特征在于:所述连接管为金属管。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的智能真空器件在线检测装置,其特征在于:还设有指示器,所述真空密封腔体内的真空度降低至使用下限时,该指示器发出报警信号。
6.一种智能真空器件在线检测方法,其特征在于:
在真空密封腔体(1)上通过连接管(2)连接一波纹管(3)使该波纹管和所述真空密封腔体连通;
在所述波纹管远离所述连接管的另一端上固定一光感应装置(4);
对应所述光感应装置设置一光发射装置(5)和一光接收装置(6),该光发射装置发射光信号连续监测该光感应装置的位置并将其传输给光接收装置,该光接收装置将接收的光信号通过光缆传输给一中央处理器。
7.根据权利要求6所述的智能真空器件在线检测方法,其特征在于:所述光感应装置为光栅。
8.根据权利要求7所述的智能真空器件在线检测方法,其特征在于:所述光发射装置和光接收装置分别设置于该光栅的相对两侧。
9.根据权利要求6所述的智能真空器件在线检测方法,其特征在于:所述连接管为金属管。
10.根据权利要求6所述的智能真空器件在线检测方法,其特征在于:还设置一指示器,所述真空密封腔体内的真空度降低至使用下限时,该指示器能够发出报警信号。
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