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流体流路装置

阅读:108发布:2020-10-28

专利汇可以提供流体流路装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且提供一种即使在多个 流体 流路形成为以相互平行的状态延伸的情况下也能够使多个流体流路各自的流路长度变长、并且能够容易地将多个流体流路各自的内部清扫的流体流路装置。在流体流路装置中,形成有以相互平行的状态延伸并且分别使流体流通的多个流体流路。流体流路装置具备:主体,具有在规定的层叠方向上层叠的多个 基板 ;以及多个盖,分别能够相对于主体拆装。多个流体流路分别包括:第1流体流路,形成在多个基板中的在上述层叠方向上 接触 的两个基板之间;以及第2流体流路,形成在多个基板中的在上述层叠方向上接触的两个基板之间,在上述层叠方向上配置在与第1流体流路不同的 位置 ,在流体流动的方向上位于比第1流体流路靠下游侧。,下面是流体流路装置专利的具体信息内容。

1.一种流体流路装置,形成有以相互平行的状态延伸并且分别使流体流通的多个流体流路,其特征在于,
具备:
主体,具有在规定的层叠方向上层叠的多个基板;以及
多个盖,分别相对于前述主体能够拆装地安装;
前述多个流体流路分别包括:
第1流体流路,形成在前述多个基板中的在前述层叠方向上接触的两个基板之间;
第2流体流路,形成在前述多个基板中的在前述层叠方向上接触的两个基板之间,在前述层叠方向上配置在与前述第1流体流路不同的位置,在前述流体流动的方向上位于比前述第1流体流路靠下游侧;以及
第3流体流路,将前述第1流体流路的下游端部和前述第2流体流路的上游端部在前述层叠方向上连接;
前述第1流体流路的上游端及下游端分别在前述多个基板中的形成前述第1流体流路的两个基板各自具有的侧面的至少一方开口;
前述第2流体流路的上游端及下游端分别在前述多个基板中的形成前述第2流体流路的两个基板各自具有的侧面的至少一方开口;
前述多个盖包括:
第1盖,在安装于前述主体的状态下将前述第1流体流路的上游端覆盖;以及第2盖,在安装于前述主体的状态下将前述第1流体流路的下游端和前述第2流体流路的上游端覆盖。
2.如权利要求1所述的流体流路装置,其特征在于,
前述第3流体流路形成在前述第2盖与前述主体之间。
3.如权利要求2所述的流体流路装置,其特征在于,
前述第3流体流路通过形成在前述主体的侧面的槽被前述第2盖覆盖而形成。
4.如权利要求1~3中任一项所述的流体流路装置,其特征在于,
前述第1流体流路及前述第2流体流路的至少一方从其上游端朝向下游端直线状地延伸。
5.如权利要求1~3中任一项所述的流体流路装置,其特征在于,
前述第2流体流路的下游端从前述层叠方向观察形成在与前述第1流体流路的上游端不同的位置。
6.如权利要求1~3中任一项所述的流体流路装置,其特征在于,
前述第1盖还将前述第2流体流路的下游端覆盖。

说明书全文

流体流路装置

技术领域

[0001] 本发明涉及形成有使流体流通的流体流路的流体流路装置,详细地讲,涉及多个流体流路形成为以相互平行的状态延伸的流体流路装置。

背景技术

[0002] 作为将多个流体混合的机构,已知有流体流路装置。流体流路装置例如被用于反应装置。反应装置例如是通过将多个流体混合而使其化学反应来得到作为目的的反应生成物用的装置。例如在下述专利文献1中公开了这样的反应装置。
[0003] 专利文献1所记载的反应装置使第1反应剂和第2反应剂一边流通一边反应。反应装置具备流路构造体。流路构造体具有第1导入路、第2导入路、合流路和反应路。
[0004] 第1导入路将第1反应剂导入。第2导入路将第2反应剂导入。合流路将第1导入路的下游端与第2导入路的下游端连接。合流路使在第1导入路中流动的第1反应剂与在第2导入路中流动的第2反应剂合流。反应路连接在合流路的下游端。反应路使在合流路中合流的第1反应剂和第2反应剂一边流通一边反应。
[0005] 流路构造体具有基板、第1封闭部件和第2封闭部件。第1封闭部件与基板的一方的面接合,将该一方的面覆盖。第2封闭部件与基板的另一方的面接合,将该另一方的面覆盖。
[0006] 在基板的一方的面,形成有第1导入槽和第2导入槽。第1导入槽构成第1导入路。第2导入槽构成第2导入路。
[0007] 在基板的另一方的面,形成有反应槽。反应槽构成反应路。反应槽在基板的另一方的面一边蜿蜒一边延伸。即,反应路在某个平面上一边蜿蜒一边延伸。如果进行其他表达,则反应路具有向一方侧延伸的部分和在该部分的下游侧向另一方侧延伸的部分交替地相连的形状。因此,反应路的流路长度(反应路延伸的方向上的长度)变长。结果,使在合流路中合流的第1反应剂和第2反应剂的滞留时间变长,能够促进第1反应剂与第2反应剂的反应。
[0008] 但是,在专利文献1中,由于反应路被形成为在某个平面上蜿蜒,所以当在反应路内析出物、异物堵塞时,难以将析出物、异物除掉。
[0009] 为了应对这样的问题,提出了下述专利文献2所记载的流路构造体。专利文献2所记载的流路构造体具备主体部、第1盖部和第2盖部。在主体部的第1端面开口有第2折回部,所述第2折回部将合流流体流路中的向一方侧延伸的部分和配置在其下游侧并向另一方侧延伸的部分相连。在主体部的第2端面开口有第2折回部,所述第2折回部将合流流体流路中的向另一方侧延伸的部分和配置在其下游侧并向一方侧延伸的部分相连。第1盖部在与第1端面接触以将第1折回部的开口封闭的状态下相对于主体部能够拆装地结合。第2盖部在与第2端面接触以将第2折回部的开口封闭的状态下相对于主体部能够拆装地结合。
[0010] 在专利文献2所记载的流路构造体中,通过将第1盖部及第2盖部从主体部拆下,能够从主体部的第1端面侧或第2端面侧将清扫器具向流路内插入而将析出物、异物除掉。
[0011] 现有技术文献专利文献
专利文献1:日本特开2010-162428号公报
专利文献2:日本特开2013-56315号公报。

发明内容

[0012] 专利文献1所记载的反应装置、专利文献2所记载的流路构造体为了使合流的多个反应剂反应而被使用。这里,根据反应的反应剂的种类,需要充分地确保用来使合流的多个反应剂反应的时间。为此,必须尽可能使合流的多个反应剂流通的流体流路的流路长度变长。
[0013] 在专利文献1、专利文献2中,通过使合流的多个反应剂流通的流体流路在某个平面上蜿蜒,使流体流路的流路长度变长。但是,仅通过使流体流路在某个平面上蜿蜒,难以使流体流路的流路长度充分地变长。
[0014] 特别是,在专利文献1中,为了使更多的反应剂流通,多个流体流路在某个平面上形成为以相互平行的状态延伸。但是,在某个平面上用来形成流体流路的空间受限。因此,如果将多个流体流路在某个平面上形成为以相互平行的状态延伸,则更加难以充分地确保多个流体流路各自的流路长度。
[0015] 本发明的目的是提供一种即使在多个流体流路形成为以相互平行的状态延伸的情况下也能够使多个流体流路各自的流路长度变长、并且能够容易地将多个流体流路各自的内部清扫的流体流路装置。
[0016] 本发明的流体流路装置,是形成有以相互平行的状态延伸并且分别使流体流通的多个流体流路的流体流路装置,具备:主体,具有在规定的方向上层叠的多个基板;以及多个盖,分别相对于前述主体能够拆装地安装;前述多个流体流路分别包括:第1流体流路,形成在前述多个基板中的在前述层叠方向上接触的两个基板之间;第2流体流路,形成在前述多个基板中的在前述层叠方向上接触的两个基板之间,在前述层叠方向上配置在与前述第1流体流路不同的位置,在前述流体流动的方向上位于比前述第1流体流路靠下游侧;以及第3流体流路,将前述第1流体流路的下游端部和前述第2流体流路的上游端部在前述层叠方向上连接;前述第1流体流路的上游端及下游端分别在前述多个基板中的形成前述第1流体流路的两个基板各自具有的侧面的至少一方开口;前述第2流体流路的上游端及下游端分别在前述多个基板中的形成前述第2流体流路的两个基板各自具有的侧面的至少一方开口;前述多个盖包括:第1盖,在安装于前述主体的状态下将前述第1流体流路的上游端覆盖;以及第2盖,在安装于前述主体的状态下将前述第1流体流路的下游端和前述第2流体流路的上游端覆盖。
[0017] 根据本发明的流体流路装置,能够使多个流体流路各自的流路长度变长,并且能够容易地将多个流体流路各自的内部清扫。附图说明
[0018] 图1是本发明的实施方式的流体流路装置的俯视图。
[0019] 图2是本发明的实施方式的流体流路装置的主视图。
[0020] 图3是表示构成图1所示的流体流路装置具备的主体的多个基板的侧视图。
[0021] 图4是构成处理(process)流路单元的四个基板中的位于最下方的基板的俯视图。
[0022] 图5是将构成图1所示的流体流路具备的主体的多个基板的一部分放大表示的侧视图。
[0023] 图6是构成处理流路单元的四个基板中的与图4所示的基板重叠的基板的仰视图。
[0024] 图7是表示在图4所示的基板与图6所示的基板之间形成的流路的俯视图。
[0025] 图8是构成处理流路单元的四个基板中的与图6所示的基板重叠的基板的俯视图。
[0026] 图9是将构成图1所示的流体流路具备的主体的多个基板的一部分(与图5不同的部分)放大表示的侧视图。
[0027] 图10是构成处理流路单元的四个基板中的与图8所示的基板重叠的基板的仰视图。
[0028] 图11是表示在图8所示的基板与图10所示的基板之间形成的流路的俯视图。
[0029] 图12是将图7的一部分放大表示的俯视图。
[0030] 图13是将图11的一部分放大表示的俯视图。
[0031] 图14是将图7的另一部分放大表示的俯视图。
[0032] 图15是将图11的另一部分放大表示的俯视图。
[0033] 图16是构成温度调整流路单元的多个基板中的形成有多个槽的基板的俯视图。
[0034] 图17是构成温度调整流路单元的多个基板中的与图16所示的基板重叠的基板的俯视图。
[0035] 图18是表示在图16所示的基板与图17所示的基板之间形成的流路的俯视图。
[0036] 图19是图1所示的流体流路装置的左侧视图。
[0037] 图20是表示图1所示的流体流路装置具备的两个凸缘中的左侧的凸缘的内部构造的剖视图。
[0038] 图21是图1所示的流体流路装置的右侧视图。
[0039] 图22是表示图1所示的流体流路装置具备的两个凸缘中的右侧的凸缘的内部构造的剖视图。
[0040] 图23是表示在图1所示的流体流路装置具备的两个流体流路的各自中流体流动的方向的说明图。
[0041] 图24是表示在图1所示的流体流路装置具备的温度调整流路中流体流动的方向的说明图。

具体实施方式

[0042] 以下,一边参照附图一边对本发明的实施方式详细叙述。
[0043] 一边参照图1及图2一边对本发明的实施方式的流体流路装置10进行说明。图1是流体流路装置10的俯视图。图2是流体流路装置10的主视图。
[0044] 另外,在以下的说明中,将图1的上下方向设为流体流路装置10的前后方向,将图1的左右方向设为流体流路装置10的左右方向,将图1的垂直于纸面的方向设为流体流路装置10的上下方向。流体流路装置10的上下方向是后述的多个基板20A(参照图3)被层叠的方向。多个基板20A被层叠的方向与基板20A的厚度方向一致。此外,在以下的说明中,流路(或槽)的截面是指相对于流路(或槽)延伸的方向垂直的方向上的截面。
[0045] 流体流路装置10为了使多个流体合流而产生相互作用而被使用。流体流路装置10例如被用于微通道反应器、热交换器、提取反应用的反应装置、乳液化用的混合装置等。
[0046] 如图1及图2所示,流体流路装置10具备作为主体的主体20和作为多个盖的两个凸缘30。以下,对它们进行说明。
[0047] [主体]如图1所示,主体20作为整体而具有矩形的形状(例如,长方体形状)。主体20具有左端面204、右端面205、前端面206和后端面207。
[0048] 如图2所示,主体20包括多个基板20A。多个基板20A在上下方向上被层叠。
[0049] 如图1及图2所示,多个基板20A分别作为整体而具有矩形的板形状。多个基板20A从上下方向观察具有相互相同的外形。多个基板20A分别具有左端面20A4、右端面20A5、前端面20A6和后端面20A7。
[0050] 一边参照图3一边对多个基板20A进行说明。图3是表示构成主体20的多个基板20A的侧视图。
[0051] 多个基板20A分别具有上表面20A1及下表面20A2。上表面20A1及下表面20A2分别在相对于多个基板20A被层叠的方向垂直的方向上展开。
[0052] 将多个基板20A在层叠的状态下相互固定。具体而言,将在层叠方向上相邻的两个基板20A(在上下方向上重叠的两个基板20A)中的一方的基板20A(下侧的基板20A)具有的上表面20A1与另一方的基板20A(上侧的基板20A)具有的下表面20A2扩散接合。由此,防止了液体从后述的各种流路泄漏
[0053] 在图1及图2所示的例子中,主体20的左端面204由多个基板20A分别具有的左端面20A4实现。主体20的右端面205由多个基板20A分别具有的右端面20A5实现。主体20的前端面206由多个基板20A分别具有的前端面20A6实现。主体20的后端面207由多个基板20A分别具有的后端面20A7实现。
[0054] 如图3所示,主体20具备三个处理流路单元20X、两个温度调整流路单元20Y和两个温度调整流路单元20Z。以下,对它们进行说明。
[0055] [处理流路单元20X]三个处理流路单元20X分别包括四个基板20A。将四个基板20A以在上下方向上层叠的状态固定。
[0056] 一边参照图4,一边对构成处理流路单元20X的四个基板20A中的位于最下方的基板20A(以下称作基板21)进行说明。图4是基板21的俯视图。
[0057] 在基板21的上表面20A1形成有多个槽211。多个槽211分别作为整体以大致一定的半圆形截面(参照图5)在左右方向上直线状地延伸。
[0058] 多个槽211各自的左端在基板21的左端面20A4开口。多个槽211各自的右端在基板21的右端面20A5开口。
[0059] 多个槽211包括两个槽211B-211C。它们形成为成对的每两个槽211以相互平行的状态延伸。
[0060] 在基板21的上表面20A1,在比多个槽211靠前侧形成有两个槽212。两个槽212形成为以相互平行的状态延伸。两个槽212分别形成为以大致一定的半圆形截面(参照图5)在左右方向上延伸。
[0061] 两个槽212各自的左端位于基板21的左端面20A4的附近,但不在基板21的左端面20A4开口。两个槽212各自的右端在基板21的右端面20A5开口。
[0062] 另外,多个槽211及两个槽212例如借助蚀刻而形成。
[0063] 一边参照图6一边对构成处理流路单元20X的四个基板20A中的与基板21重叠的基板20A(以下称作基板22)进行说明。图6是基板22的仰视图。
[0064] 在基板22的下表面20A2形成有多个槽221。多个槽221分别作为整体以大致一定的半圆形截面(参照图5)在左右方向上直线状地延伸。
[0065] 多个槽221各自的左端在基板22的左端面20A4开口。多个槽221各自的右端在基板22的右端面20A5开口。
[0066] 在多个槽221各自的左端,形成有在基板22的厚度方向(基板22的上下方向,即图6的垂直于纸面的方向)上以大致一定的矩形截面直线状地延伸的槽2211。
[0067] 在多个槽221各自的右端,形成有在基板22的厚度方向(基板22的上下方向,即图6的垂直于纸面的方向)上以大致一定的矩形截面直线状地延伸的槽2212。
[0068] 多个槽221包括两个槽221B-221C。它们形成为成对的每两个槽221以相互平行的状态延伸。
[0069] 多个槽221形成在与多个槽211对应的位置。因此,在将基板22层叠于基板21的状态下,如图7所示,形成有多个流路40。即,在基板22与基板21之间形成有多个流路40。
[0070] 一边参照图7一边对多个流路40进行说明。多个流路40都具有隧道形状。多个流路40都由一个槽211和一个槽221形成(参照图5)。多个流路40分别以大致一定的圆形截面在左右方向上直线状地延伸。多个流路40各自的左端在基板21的左端面20A4及基板22的左端面20A4开口。多个流路40各自的右端在基板21的右端面20A5及基板22的右端面20A5开口。
[0071] 多个流路40各自的右端从多个基板20A被层叠的方向观察,处于与经由设置在该流路40的左端的流路44(参照图9、图12及图13)连接的流路42(参照图11)的右端不同的位置。
[0072] 多个流路40包括两个流路40B-40C。它们形成为成对的每两个流路40以相互平行的状态延伸。
[0073] 再次一边参照图6一边进行说明。在基板22的下表面20A2形成有两个槽222。两个槽222形成为以相互平行的状态延伸。两个槽222分别以大致一定的半圆形截面(参照图5)在左右方向上直线状地延伸。
[0074] 两个槽222各自的左端位于基板22的左端面20A4的附近,但不在基板22的左端面20A4开口。两个槽222各自的右端在基板22的右端面20A5开口。
[0075] 在两个槽222各自的左端形成有孔2221。孔2221在基板22的厚度方向(基板22的上下方向,即图6的垂直于纸面的方向)上以大致一定的圆形截面直线状地延伸。孔2221将基板22贯通。
[0076] 两个槽222形成在基板21的与两个槽212对应的位置。因此,在基板22层叠于基板21的状态下,如图7所示,形成有两个流路41A。即,在基板22与基板21之间形成有两个流路
41A。
[0077] 一边参照图7一边对两个流路41A进行说明。两个流路41A都具有隧道形状。两个流路41A都由一个槽212和一个槽222形成。两个流路41A分别以大致一定的圆形截面在左右方向上直线状地延伸。两个流路41A各自的左端位于基板21的左端面20A4及基板22的左端面20A4的附近,但不在基板21的左端面20A4及基板22的左端面20A4开口。两个流路41A各自的右端在基板21的右端面20A5及基板22的右端面20A5开口。
[0078] 另外,多个槽221及两个槽222例如借助蚀刻而形成。设置在两个槽222的各自处的孔2221例如借助切削加工等而形成。位于多个槽221各自的左端的槽2211例如在将在多个槽221各自的底面开口的孔借助切削加工等形成后,通过将基板21的左端面切削加工而形成。位于多个槽221各自的右端的槽2212例如在将在多个槽221各自的底面开口的孔借助切削加工等形成后,通过将基板21的右端面切削加工而形成。
[0079] 一边参照图8一边对构成处理流路单元20X的四个基板20A中的与基板22重叠的基板20A(以下称作基板23)进行说明。图8是基板23的俯视图。
[0080] 在基板23的上表面20A1形成有多个槽231。多个槽231分别作为整体以大致一定的半圆形截面(参照图9)在左右方向上直线状地延伸。
[0081] 多个槽231各自的左端在基板23的左端面20A4开口。多个槽231各自的右端在基板23的右端面20A5开口。
[0082] 在多个槽231各自的左端(但是,两个槽231A各自的左端除外),形成有在基板23的厚度方向(基板23的上下方向,即图8的垂直于纸面的方向)上以大致一定的矩形截面直线状地延伸的槽2311。
[0083] 在多个槽231各自的右端(但是,两个槽231C各自的右端除外),形成有在基板23的厚度方向(基板23的上下方向,即图8的垂直于纸面的方向)上以大致一定的矩形截面直线状地延伸的槽2312。
[0084] 多个槽231包括两个槽231A-231C。它们形成为成对的每两个槽231以相互平行的状态延伸。
[0085] 在两个槽231A各自的左端近旁形成有孔2313。孔2313在基板23的厚度方向(基板23的上下方向,即图8的垂直于纸面的方向)上以大致一定的圆形截面直线状地延伸。孔
2313将基板23贯通。
[0086] 另外,多个槽231例如借助蚀刻而形成。设置在两个槽231A的各自处的孔2313例如借助切削加工等而形成。位于多个槽231各自的左端的槽2311例如在将在多个槽231各自的底面开口的孔借助切削加工等形成后,通过将基板23的左端面切削加工而形成。位于多个槽231各自的右端的槽2312例如在将在多个槽231各自的底面开口的孔借助切削加工等形成后,通过将基板23的右端面切削加工而形成。
[0087] 一边参照图10,一边对四个基板20A中的与基板23重叠的基板20A(以下称作基板24)进行说明。图10是基板24的仰视图。
[0088] 在基板24的下表面20A2形成有多个槽241。多个槽241分别以大致一定的半圆形截面(参照图9)在左右方向上直线状地延伸。
[0089] 多个槽241各自的左端在基板24的左端面20A4开口。多个槽241各自的右端在基板24的右端面20A5开口。
[0090] 多个槽241包括两个槽241A-241C。它们形成为成对的每两个槽241以相互平行的状态延伸。
[0091] 多个槽241形成在与多个槽231对应的位置。因此,在基板24层叠于基板23的状态下,如图11所示,形成多个流路42。即,在基板24与基板23之间形成多个流路42。
[0092] 一边参照图11一边对多个流路42进行说明。多个流路42都具有隧道形状。多个流路42都由一个槽231和一个槽241形成(参照图9)。多个流路42分别以大致一定的圆形截面在左右方向上直线状地延伸。多个流路42各自的左端在基板23的左端面20A4及基板24的左端面20A4开口。多个流路42各自的右端在基板23的右端面20A5及基板24的右端面20A5开口。
[0093] 多个流路42各自的左端从多个基板20A被层叠的方向观察,处于与经由设置在该流路42的右端的流路46(参照图5、图14及图15)连接的流路40(参照图7)的左端不同的位置。
[0094] 多个流路42包括两个流路42A-42C。它们形成为成对的每两个流路42以相互平行的状态延伸。
[0095] 另外,多个槽241例如借助蚀刻而形成。
[0096] 在基板23层叠于基板22的状态下,形成在基板22的两个孔2221处于与形成在基板23的两个孔2321对应的位置。由孔2221和孔2321形成以大致一定的圆形截面在上下方向上直线状地延伸的流路43A(参照图7及图11)。即,在处理流路单元20X形成有两个流路43A。
[0097] 流路43A的上端与流路42A连接。流路43A的下端与流路41A连接。
[0098] 在基板23层叠于基板22的状态下,如图9、图12及图13所示,多个槽2311处于与多个槽2211对应的位置。由槽2311和槽2211形成槽441。即,在处理流路单元20X形成有多个槽441。
[0099] 一边参照图9、图12及图13一边对多个槽441进行说明。多个槽441分别被后述的凸缘30A覆盖。由此,形成多个流路44。多个流路44分别以大致一定的截面形状在上下方向上直线状地延伸。
[0100] 多个流路44各自的上端与流路42的左端连接。多个流路44各自的下端与流路40的左端连接。
[0101] 多个流路44包括两个流路44A-44B。它们形成为成对的每两个流路44以相互平行的状态延伸。
[0102] 在基板23层叠于基板22的状态下,如图5、图14及图15所示,多个槽2312处于与多个槽2212对应的位置。由槽2312和槽2212形成槽461。即,在处理流路单元20X形成有多个槽461。
[0103] 一边参照图5、图14及图15一边对多个槽461进行说明。多个槽461分别被后述的凸缘30B覆盖。由此,形成多个流路46。多个流路46分别以大致一定的截面形状在上下方向上直线状地延伸。
[0104] 多个流路46各自的上端与流路42的右端连接。多个流路46各自的下端与流路40的右端连接。
[0105] 多个流路46包括两个流路46A-46B。它们形成为成对的每两个流路46以相互平行的状态延伸。
[0106] [温度调整流路单元20Y]接着,一边参照图3一边对主体20具备的两个温度调整流路单元20Y进行说明。两个温度调整流路单元20Y分别包括两个基板20A。两个基板20A以在上下方向上层叠的状态被固定。
[0107] 一边参照图16一边对构成温度调整流路单元20Y的两个基板20A中的位于下方的基板20A(以下称作基板25)进行说明。图16是基板25的俯视图。
[0108] 在基板25的上表面20A1形成有多个槽251。多个槽251以相互平行的状态一边蜿蜒一边延伸。
[0109] 在基板25的上表面20A1,形成有沿左右方向延伸的槽252。多个槽251各自的前端与槽252连接。
[0110] 在基板25的上表面20A1,形成有沿左右方向延伸的槽253。多个槽251各自的后端与槽253连接。
[0111] 在基板25形成有孔20A11。孔20A11在基板25的前后方向上位于比槽252靠前方。孔20A11以大致一定的半圆形截面在基板25的厚度方向上延伸。另外,孔20A11也在构成处理流路单元20X的四个基板21-24的各自形成。
[0112] 在基板25形成有孔20A512。孔20A12在基板25的前后方向上位于比槽253靠后方。孔20A12以大致一定的半圆形截面在基板25的厚度方向上延伸。另外,孔20A12也在构成处理流路单元20X的四个基板21-24的各自形成。
[0113] 在基板25的上表面20A1形成有多个槽254。多个槽254将槽252与孔20A11连接。
[0114] 在基板25的上表面20A1形成有多个槽255。多个槽255将槽253与孔20A12连接。
[0115] 一边参照图17,一边对构成温度调整流路单元20Y的两个基板20A中的层叠于基板25的基板20A(以下称作基板26)进行说明。图17是基板26的俯视图。
[0116] 基板26相比于基板25,在没有形成多个槽251、槽252、槽253、多个槽254和多个槽255这一点上不同。即,在基板26的上表面20A1及下表面20A2的各自没有形成槽。
[0117] 如图3所示,将基板26相对于基板25在上下方向上层叠。在该状态下,形成在基板25的上表面20A1的全部的槽251-255被基板26的下表面20A2覆盖。结果,如图18所示,由多个槽251、槽252、槽253、多个槽254和多个槽255形成流路50。
[0118] [温度调整流路单元20Z]接着,一边参照图3一边对主体20具备的两个温度调整流路单元20Z进行说明。两个温度调整流路单元20Z分别包括三个基板20A。三个基板20A以在上下方向上层叠的状态被相互固定。
[0119] 三个基板20A由两个基板25和一个基板26构成。
[0120] 在两个基板25层叠的状态下,形成在下侧的基板25的上表面20A1的全部的槽251-255被上侧的基板25的下表面20A2覆盖。与温度调整流路单元20Y同样,由多个槽251、槽252、槽253、多个槽254和多个槽255形成流路50。
[0121] 在基板26层叠于基板25的状态下,形成在基板25的上表面20A1的全部的槽251-255被基板26的下表面20A2覆盖。与温度调整流路单元20Y同样,由多个槽251、槽252、槽
253、多个槽254和多个槽255形成流路50。
[0122] 如图3所示,将三个处理流路单元20X、两个温度调整流路单元20Y及两个温度调整流路单元20Z以规定的顺序在上下方向上层叠。以下,一边参照图3一边对这些单元20X、20Y、20Z的层叠进行说明。
[0123] 另外,在以下的说明中,三个处理流路单元20X由处理流路单元20X1、处理流路单元20X2及处理流路单元20X3构成。两个温度调整流路单元20Y由温度调整流路单元20Y1及温度调整流路单元20Y2构成。两个温度调整流路单元20Z由温度调整流路单元20Z1及温度调整流路单元20Z2构成。
[0124] 处理流路单元20X1层叠于温度调整流路单元20Y1。温度调整流路单元20Z1层叠于处理流路单元20X1。处理流路单元20X2层叠于温度调整流路单元20Z1。温度调整流路单元20Z2层叠于处理流路单元20X2。处理流路单元20X3层叠于温度调整流路单元20Z2。温度调整流路单元20Y2层叠于处理流路单元20X3。
[0125] [上端单元20U]主体20如图3所示,还具备上端单元20U。一边参照图3一边对上端单元20U进行说明。
[0126] 上端单元20U层叠于温度调整流路单元20Y2。上端单元20U包括两个基板20A。两个基板20A由基板20U1和基板20U2构成。
[0127] 基板20U1相比于基板26,在厚度较大这一点上不同。
[0128] 基板20U2相比于基板26,在厚度较大这一点上不同。基板20U2相比于基板26,在没有形成两个孔20A11、20A12这一点上不同。代之,在基板20U2,在与两个孔20A11、20A12对应的位置形成有两个螺孔(未图示)。两个螺孔分别将基板20U2在厚度方向上贯通。在形成在与孔20A11对应的位置的螺孔,安装着连接器61(参照图1及图2)。在形成在与孔20A12对应的位置的螺孔,安装着连接器62(参照图1及图2)。基板20U2位于基板20U1的上方。
[0129] [下端单元20L]主体20如图3所示,还具备下端单元20L。一边参照图3一边对下端单元20L进行说明。
[0130] 下端单元20L层叠于温度调整流路单元20Y1。下端单元20L包括两个基板20A。两个基板20A由基板20L1和基板20L2构成。
[0131] 基板20L1相比于基板26,在厚度较大这一点上不同。
[0132] 基板20L2相比于基板26,在厚度较大这一点上不同。基板20L2相比于基板26,在没有形成两个孔20A11、20A12这一点上不同。基板20L2位于基板20L1的下方。
[0133] 在上端单元20U层叠于温度调整流路单元20Y2、并且下端单元20L层叠于温度调整流路单元20Y1的状态下,在主体20形成有两个流路51、52。
[0134] 流路51由在多个基板20A中的除了位于上端的基板20A(基板20U2)和位于下端的基板20A(基板20L2)以外的基板20A的各自形成的孔20A11实现。流路51与流路50的一端连接。流路51与连接器61连接。
[0135] 流路52由在多个基板20A中的除了位于上端的基板20A(基板20U2)和位于下端的基板20A(基板20L2)以外的基板20A的各自形成的孔20A12实现。流路52与流路50的另一端连接。流路52与连接器62连接。
[0136] [凸缘]接着,一边参照图1及图2一边对两个凸缘30进行说明。两个凸缘30分别作为整体而具有矩形的板形状。两个凸缘30分别具有左表面301及右表面302。
[0137] 两个凸缘30分别相对于主体20能够拆装地安装。具体而言,两个凸缘30中的一方的凸缘30(以下称作凸缘30A)相对于主体20的左端面204能够拆装地安装。两个凸缘30中的另一方的凸缘30(以下称作凸缘30B)相对于主体20的右端面205能够拆装地安装。
[0138] 接着,一边参照图12、图13、图19及图20一边对凸缘30A进行说明。图19是流体流路装置10的左侧视图。图20是凸缘30A的剖视图。
[0139] 在凸缘30A的右表面302,形成有多个凹部302A-302C和多个环状槽3021-3023。以下,对它们进行说明。
[0140] 多个凹部302A-302C分别形成为,从流体流路装置10的左侧观察,将三个处理流路单元20X各自具有的多个流路40及多个流路42的某个开口覆盖。多个环状槽3021-3023分别形成为,将多个凹部302A-302C的某个包围。
[0141] 在凹部302B收容着片状的密封部件3122。在凸缘30A安装于主体20的状态下,密封部件3122被夹在凸缘30A与主体20之间。此时,密封部件3122将三个处理流路单元20X各自具有的两个槽441覆盖。由此,两个流路44A被密封。
[0142] 在凹部302C收容着片状的密封部件3123。在凸缘30A安装于主体20的状态下,密封部件3123被夹在凸缘30A与主体20之间。此时,密封部件3123将三个处理流路单元20X各自具有的两个槽441覆盖。由此,两个流路44B被密封。
[0143] 在凸缘30A,在与凹部302A对应的位置形成有孔303。
[0144] 在凸缘30A,安装着连接器32。连接器32以插入于孔303的状态安装在凸缘30A。
[0145] 凸缘30A被用多个螺栓331固定在主体20的左端面204。在凸缘30A固定于主体20的状态下,凸缘30A的右侧面302与主体20的左端面204接触。
[0146] 在此状态下,在多个环状槽3021-3023的各自配置有各一个的多个密封部件312A-312C分别被夹在凸缘30A与主体20之间。由此,多个凹部302A-302C各自的周围被密封。
[0147] 接着,一边参照图14、图15、图21及图22,一边对凸缘30B进行说明。图21是流体流路装置10的右侧视图。图22是凸缘30B的剖视图。
[0148] 在凸缘30B的左表面301,形成有多个凹部301A-301D和多个环状槽3011-3014。以下,对它们进行说明。
[0149] 多个凹部301A-301D分别形成为,从流体流路装置10的右侧观察,将三个处理流路单元20X各自具有的多个流路40及多个流路42的某个开口覆盖。多个环状槽3011-3014分别形成为,将多个凹部301A-3014的某个包围。
[0150] 在凹部301B,收容着片状的密封部件3112。在凸缘30B安装于主体20的状态下,密封部件3112被夹在凸缘30B与主体20之间。此时,密封部件3112将三个处理流路单元20X各自具有的两个槽461覆盖。由此,两个流路46A被密封。
[0151] 在凹部301C,收容着片状的密封部件3113。在凸缘30B安装于主体20的状态下,密封部件3113被夹在凸缘30B与主体20之间。此时,密封部件3113将三个处理流路单元20X各自具有的两个槽461覆盖。由此,两个流路46B被密封。
[0152] 在凸缘30B,形成有多个孔304-307。多个孔304-307形成在与多个凹部301A-301D对应的位置。
[0153] 在凸缘30B,安装着两个连接器34、37。连接器34在被插入于孔304的状态下固定在凸缘30B。连接器37在被插入于孔307的状态下固定在凸缘30B。
[0154] 凸缘30B被用多个螺栓333固定在主体20的左端面204。在凸缘30B被固定于主体20的状态下,凸缘30B的左侧面301与主体20的右端面205接触。
[0155] 在此状态下,在多个环状槽3011-3014的各自配置有各一个的多个密封部件312A-312D分别被夹在凸缘30B与主体20之间。由此,多个凹部301A-301D各自的周围被密封。
[0156] [流体流路装置中的流体的流通]接着,一边参照图1、图7及图11,一边对流体流路装置10中的流体的流通进行说明。
[0157] 流体流路装置10如图1所示,在每一个处理流路单元20X具备两个流路12和两个流路41A。两个流路12分别具备多个流路40B-40C、多个流路42A-42C、多个流路44A-44B和多个流路46A-46B。
[0158] 两个流路12分别如图23所示那样使流体流通。具体而言,是以下这样的。
[0159] 第1流体经由连接器32及孔303被向作为第1流体流路的流路42A导入。被导入到流路42A的第1流体从流体流路装置10的右朝向左而在流路42A中流动。
[0160] 第2流体经由连接器34及孔304被向作为导入流路的流路41A导入。被导入到流路41A的第2流体从流体流路装置10的左朝向右而在流路41A中流动。
[0161] 在流路41A中流动的第2流体经由流路43A被向流路42A导入。由此,第2流体与第1流体一起在流路42A中流动。以下,将第2流体与第1流体一起流动的状态的流体称作混合流体。
[0162] 在流路42A中流动的混合流体经由作为第3流体流路的流路46A被向作为第2流体流路的流路40B导入。被导入到流路40B的混合流体从流体流路装置10的右朝向左而在流路40B中流动。
[0163] 在流路40B中流动的混合流体经由流路44A被向流路42B导入。被导入到流路42B的混合流体从流体流路装置10的左朝向右而在流路42B中流动。
[0164] 这样,混合流体当从流体流路装置10的左朝向右流动时,在多个流路42的某个中流动,当从流体流路装置10的右朝向左流动时,在多个流路40的某个中流动。在多个流路42的某个中流动的混合流体经由与该流路42连接的流路46被向多个流路40的某个(具体而言,与该流路46连接的流路40)导入。在多个流路40的某个中流动的混合流体经由与该流路40连接的流路44被向多个流路42的某个(具体而言,与该流路44连接的流路42)导入。
[0165] 混合流体这样一边在流体流路装置10的左右方向上(从右向左,或从左向右)移动,一边从流体流路装置10的前朝后移动。并且,如果到达规定的位置,则被向流体流路装置10的外部排出。具体而言,是以下这样的。
[0166] 如上述那样在流路42B中流动的混合流体经由流路46B、流路40C及流路44B被向流路42C导入。在流路42C中流动的混合流体经由孔307及连接器37被向流体流路装置10的外部排出。
[0167] 流体流路装置10在每个处理流路单元20X具备两个流路12。两个流路12分别如图23所示,包括使流体从流体流路装置10的左朝向右流通的流路(图7所示的多个流路40B-
40C)、和使流体从流体流路装置10的右朝向左流通的流路(图11所示的多个流路42A-
42C)。使流体从流体流路装置10的左朝向右流通的流路(图7所示的多个流路40B-40C)和使流体从流体流路装置10的右朝向左流通的流路(图11所示的多个流路42A-42C)在多个基板20A被层叠的方向上形成在不同的位置。即,流体流路装置10具备的两个流路12分别具有层叠构造。因此,在流体流路装置10中,能够使两个流路12各自的流路长度变长。
[0168] 在流体流路装置10中,多个流路40B-40C的左端被凸缘30A覆盖,多个流路40B-40C的右端被凸缘30B覆盖。这里,凸缘30A及凸缘30B分别相对于主体20能够拆装地安装。因而,只要在将凸缘30A及凸缘30B从主体20拆下的状态下,从多个流路40B-40C各自的左端或右端将清扫器具插入,就能够容易地将多个流路40B-40C各自的内部清扫。另外,多个流路40B-40C各自的内部的清扫也可以利用清扫用的流体。
[0169] 在流体流路装置10中,多个流路42A-42C的左端被凸缘30A覆盖,多个流路42A-42C的右端被凸缘30B覆盖。这里,凸缘30A及凸缘30B分别相对于主体20能够拆装地安装。因而,只要在将凸缘30A及凸缘30B从主体20拆下的状态下,从多个流路42A-42C各自的左端或右端将清扫器具插入,就能够容易地将多个流路42A-42C各自的内部清扫。另外,多个流路42A-42C各自的内部的清扫也可以利用清扫用的流体。
[0170] 流体流路装置10其图7所示的多个流路40B-40C分别在主体20的左右方向上直线状地延伸。因此,更容易将多个流路40B-40C各自的内部清扫。
[0171] 流体流路装置10其图11所示的多个流路42A-42C分别在主体20的左右方向上直线状地延伸。因此,更容易将多个流路42A-42C各自的内部清扫。
[0172] 在流体流路装置10中,多个流路44通过对主体20的左端面204安装凸缘30A而形成。因此,能够容易地形成多个流路44。
[0173] 在流体流路装置10中,在主体20的左端面204形成有形成多个流路44的各自的槽441。因此,通过将凸缘30A拆下,能够将槽441清扫。
[0174] 在流体流路装置10中,多个流路46通过对主体20的右端面205安装凸缘30B而形成。因此,能够容易地形成多个流路46。
[0175] 在流体流路装置10中,在主体20的右端面205形成有形成多个流路46的各自的槽461。因此,通过将凸缘30B拆下,能够将槽461清扫。
[0176] 在流体流路装置10中,流路42的左端(上游端)从多个基板20A被层叠的方向观察,处于与经由设置在该流路42的右端(下游端)的流路46连接的流路40的左端(下游端)不同的位置。此外,流路40的右端(上游端)从多个基板20A被层叠的方向观察,处于与经由设置在该流路42的左端(下游端)的流路44连接的流路42的右端(下游端)不同的位置。因此,能够将流路40及流路42交替地连接。结果,即使多个流路40及多个流路42分别从多个基板20A被层叠的方向观察是直线状地延伸的形状,也能够使多个流路12各自的流路长度变长。
[0177] 流体流路装置10在每个温度调整流路单元20Y具备一个流路50。此外,流体流路装置10在每个温度调整流路单元20Z具备两个流路50。流路50如图24所示那样使流体流通。通过流体在流路50中流动,能够对在两个流路12的各自中流动的流体的温度进行调整。
[0178] 以上,对本发明的实施方式进行了详细叙述,但这些终归是例示,上述的实施方式在不脱离本发明的主旨的范围内能够适当变形而实施。
[0179] 在上述实施方式中,两个流路12形成为以相互平行的状态延伸,但例如也可以三个以上的流路12形成为以相互平行的状态延伸。
[0180] 在上述实施方式中,两个流路12分别跨越两个层而形成,但例如也可以两个流路12分别跨越三个以上的层而形成。
[0181] 流路40、42、44、46的数量并不限定于在上述实施方式中记载的数量。流路40、42、44、46的数量可以根据流路12的流路长度而适当变更。
[0182] 在上述实施方式中,多个流路40及多个流路42的各自在主体20的左端面204和右端面205开口,但多个流路40及多个流路42的各自例如也可以在主体20的前端面206和后端面207开口,也可以在主体20的前端面206和左端面204开口,也可以在主体20的前端面206和右端面205开口,也可以在主体20的后端面207和左端面204开口,也可以在主体20的后端面207和右端面205开口。
[0183] 在上述实施方式中,流体流路装置10具备三个处理流路单元20X,但例如流体流路装置10具备的处理流路单元20X的数量也可以是一个,也可以是两个,也可以是四个以上。
[0184] 在上述实施方式中,用来将混合流体排出的连接器37以插入于孔307的状态被固定在凸缘30B,但例如连接器37也可以以插入于孔305或孔306的状态被固定在凸缘30B。这里,在将连接器37插入于孔305的情况下,不再需要密封部件3122。同样,在将连接器37插入于孔306的情况下,不再需要密封部件3123。
[0185] 在上述实施方式中,流体流路装置10具备两个温度调整流路单元20Z,但也可以代替这两个温度调整流路单元20Z而采用两个温度调整流路单元20Y。
[0186] 在上述实施方式中,流体流路装置10具备两个温度调整流路单元20Y,但也可以代替这两个温度调整流路单元20Y而采用两个温度调整流路单元20Z。
[0187] 在上述实施方式中,流体流路装置10具备两个温度调整流路单元20Y及两个温度调整流路单元20Z,但流体流路装置10也可以不具备这些温度调整流路单元20Y、20Z。
[0188] 在上述实施方式中,流路50形成为从多个基板20A被层叠的方向观察蜿蜒,但流路50的形状并不限定于在上述实施方式中记载的形状。
[0189] 在上述实施方式中,多个流路44形成在主体20的左端面204与凸缘30A的右表面302之间,但多个流路44也可以是在从主体20的左端面204离开的位置形成于主体20的隧道状的流路。
[0190] 在上述实施方式中,多个流路46形成在主体20的右端面205与凸缘30B的左表面301之间,但多个流路46也可以是在从主体20的右端面205离开的位置形成于主体20的隧道状的流路。
[0191] 以上,对本发明的实施方式及其变形例进行了详细叙述,但这些终归是例示,本发明完全不受上述实施方式及其变形例限定。
[0192] 在本发明中,流体流路装置的用途没有被特别限定。流体流路装置例如既可以被用于反应器,也可以被用于热交换器。
[0193] 在本发明中,多个流体流路的各自流通的流体没有被特别限定。多个流体流路的各自流通的流体例如既可以是液体,也可以是气体,也可以是液体与气体混合的形态。
[0194] 在本发明中,多个流体流路各自的截面(与流路延伸的方向垂直的方向上的截面)的形状没有被特别限定。多个流体流路各自的截面的形状例如既可以是半圆,也可以是圆,也可以是多边形。这里,圆不仅是正圆,也包括椭圆。
[0195] 在本发明中,多个流体流路各自的截面的形状在多个流体流路各自延伸的方向上既可以是一定,也可以不是一定。
[0196] 在本发明中,多个流体流路各自的截面的大小没有被特别限定。多个流体流路各自的截面的大小既可以相互相同,也可以相互不同。多个流体流路各自的截面的大小例如考虑流体在流体流路内流通时的阻(流通阻力)而设定。
[0197] 在本发明中,多个流体流路各自的截面的大小在多个流体流路各自延伸的方向上既可以是一定,也可以不是一定。
[0198] 在本发明中,多个流体流路各自的形状(从多个基板被层叠的方向观察的形状)没有被特别限定。多个流体流路各自的形状例如既可以是第1流体流路及第2流体流路的至少一方直线地延伸的形状,也可以是第1流体流路及第2流体流路的至少一方在途中弯曲或弯折而延伸的形状。
[0199] 在本发明中,第1流体流路的上游端开口的方向既可以与第1流体流路的下游端开口的方向相同,也可以不同。第1流体流路的上游端开口的方向也可以是与第1流体流路的下游端开口的方向相反的方向。
[0200] 在本发明中,第2流体流路的上游端开口的方向既可以与第2流体流路的下游端开口的方向相同,也可以不同。第2流体流路的上游端开口的方向也可以是与第2流体流路的下游端开口的方向相反的方向。
[0201] 在本发明中,多个基板各自的形状没有被特别限定。在本发明中,只要多个基板分别具有在层叠的状态下接触的平坦面就可以。多个基板的各自既可以例如是矩形的板形状,也可以是圆板形状。
[0202] 在本发明中,多个盖各自的形状没有被特别限定。在本发明中,只要多个盖分别具有与主体接触的面就可以。多个盖也可以分别例如是矩形的板形状。
[0203] 在本发明中,基板及盖的材料没有被特别限定。基板及盖的材料例如既可以是金属,也可以是陶瓷。金属例如是不锈。基板及盖的材料例如考虑对于多个流体流路的各自流通的流体的耐腐蚀性而设定。
[0204] 在本发明中,多个盖各自被安装的是主体的侧面。主体的侧面由层叠的多个基板各自具有的侧面实现。
[0205] 在本发明中,第1流体流路形成在两个基板之间的形态,例如包括通过形成在一方的基板的槽被另一方的基板覆盖而形成的形态。也可以在另一方的基板,在与形成于一方的基板的槽对应的位置形成槽。在仅在一方的基板形成有槽的情况下,第1流体流路的上游端及下游端分别仅在一方的基板的侧面开口。在两个基板的各自形成有槽的情况下,第1流体流路的上游端及下游端分别在两个基板各自的侧面开口。
[0206] 在本发明中,第2流体流路形成在两个基板之间的形态,例如包括通过形成在一方的基板的槽被另一方的基板覆盖而形成的形态。也可以在另一方的基板,在与形成于一方的基板的槽对应的位置形成槽。在仅在一方的基板形成有槽的情况下,第2流体流路的上游端及下游端分别仅在一方的基板的侧面开口。在两个基板的各自形成有槽的情况下,第2流体流路的上游端及下游端分别在两个基板各自的侧面开口。
[0207] 在本发明中,形成第2流体流路的两个基板的某个也可以与形成第1流体流路的两个基板的某个相同。在此情况下,在层叠的三个基板中的第一个基板与第二个基板之间形成第1流体流路,在第二个基板与第三个基板之间形成第2流体流路。因此,能够减少用来形成第1流体流路及第2流体流路的基板的数量。
[0208] 在本发明中,形成第2流体流路的两个基板也可以与形成第1流体流路的两个基板不同。
[0209] 在本发明中,第3流体流路也可以不在与多个基板被层叠的方向平行的方向上延伸。例如,第3流体流路也可以在相对于多个基板被层叠的方向倾斜的方向上延伸。即,从多个基板被层叠的方向观察,第1流体流路的下游端也可以处于与第2流体流路的上游端不同的位置。
[0210] 在本发明中,第3流体流路形成在主体与第2盖之间的形态例如包括主体及第2盖的另一方将形成在主体及第2盖的一方的槽覆盖的形态。在此情况下,也可以在主体及第2盖的另一方,在与形成在主体及第2盖的一方的槽对应的位置形成槽。
[0211] 在本发明中,也可以在多个盖的某个形成有用来将在多个流体流路的各自中流通的流体向流体流路装置的外部排出的孔。孔既可以是一个,也可以是多个。在形成有多个孔的情况下,经由多个孔的某个将流体向流体流路装置的外部排出。孔的位置例如根据多个流体流路各自的流路长度而设定。即,根据需要的流路长度(流体的反应所需要的时间)来选择将流体排出的孔。
[0212] 如以上这样,根据本发明,能够提供一种即使在多个流体流路形成为以相互平行的状态延伸的情况下也能够使多个流体流路各自的流路长度变长、并且能够容易地将多个流体流路各自的内部清扫的流体流路装置。
[0213] 由本发明提供的是一种形成有以相互平行的状态延伸并且分别使流体流通的多个流体流路的流体流路装置,具备:主体,具有在规定的方向上层叠的多个基板;以及多个盖,分别相对于前述主体能够拆装地安装;前述多个流体流路分别包括:第1流体流路,形成在前述多个基板中的在前述层叠方向上接触的两个基板之间;第2流体流路,形成在前述多个基板中的在前述层叠方向上接触的两个基板之间,在前述层叠方向上配置在与前述第1流体流路不同的位置,在前述流体流动的方向上位于比前述第1流体流路靠下游侧;以及第3流体流路,将前述第1流体流路的下游端部和前述第2流体流路的上游端部在前述层叠方向上连接;前述第1流体流路的上游端及下游端分别在前述多个基板中的形成前述第1流体流路的两个基板各自具有的侧面的至少一方开口;前述第2流体流路的上游端及下游端分别在前述多个基板中的形成前述第2流体流路的两个基板各自具有的侧面的至少一方开口;前述多个盖包括:第1盖,在安装于前述主体的状态下将前述第1流体流路的上游端覆盖;以及第2盖,在安装于前述主体的状态下将前述第1流体流路的下游端和前述第2流体流路的上游端覆盖。
[0214] 在上述流体流路装置中,与多个流体流路在某个平面上形成为以相互平行的状态延伸的情况相比,能够使多个流体流路各自的流路长度变长。其理由是以下这样的。
[0215] 在上述流体流路装置中,多个流体流路分别包括第1流体流路和第2流体流路。第2流体流路在多个基板被层叠的方向上形成在与第1流体流路不同的位置。即,多个流体流路跨越两个层而形成。如果进行别的表达,则多个流体流路具有层级构造。结果,与多个流体流路在某个平面上(即在一个层上)形成为以相互平行的状态延伸的情况相比,能够使多个流体流路各自的流路长度变长。
[0216] 此外,在上述流体流路装置中,能够容易地将多个流体流路各自的内部清扫。其理由是以下这样的。
[0217] 在上述流体流路装置中,第1流体流路的上游端及下游端分别在形成第1流体流路的两个基板各自具有的侧面的至少一方开口。第2流体流路的上游端及下游端分别在形成第2流体流路的两个基板各自具有的侧面的至少一方开口。
[0218] 这里,将第1流体流路的上游端覆盖的第1盖以及将第1流体流路的下游端和第2流体流路的上游端覆盖的第2盖分别相对于主体能够拆装地安装。
[0219] 因而,在上述流体流路装置中,通过将第1盖及第2盖拆下,能够将第1流体流路的上游端及下游端分别开放。因此,例如通过从第1流体流路的上游端及下游端的至少一方将清扫器具向第1流体流路内插入,能够将第1流体流路内的析出物、异物去除。此外,通过将第2盖拆卸,能够将第2流体流路的上游端及下游端分别开放。因此,例如通过从第2流体流路的上游端及下游端的至少一方将清扫器具向第2流体流路内插入,能够将第2流体流路内的析出物、异物除掉。
[0220] 即,在上述流体流路装置中,能够容易地将多个流体流路各自的内部清扫。
[0221] 在上述流体流路装置中,优选的是,前述第3流体流路形成在前述第2盖与前述主体之间。
[0222] 在此情况下,通过将第2盖体从主体拆下,能够容易地将第3流体流路清扫。
[0223] 在上述流体流路装置中,优选的是,前述第3流体流路通过形成在前述主体的侧面的槽被前述第2盖覆盖而形成。
[0224] 在此情况下,通过将第2盖体从主体拆下,能够容易地将第3流体流路清扫。
[0225] 在上述流体流路装置中,优选的是,前述第1流体流路及前述第2流体流路的至少一方从其上游端朝向下游端直线状地延伸。
[0226] 在此情况下,对于第1流体流路及第2流体流路中的从其上游端朝向下游端直线状地延伸的流路,内部的清扫变得容易。
[0227] 在上述流体流路装置中,前述第2流体流路的下游端从前述层叠方向观察形成在与前述第1流体流路的上游端不同的位置。
[0228] 在此情况下,能够容易地对第2流体流路的下游端连接其他的流路。结果,能够使多个流体流路各自的流路长度变得更长。
[0229] 在上述流体流路装置中,优选的是,前述第1盖还将前述第2流体流路的下游端覆盖。
[0230] 在此情况下,也可以不另外设置将第2流体流路的下游端覆盖的盖。因此,能够减少多个盖的总数。
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