专利汇可以提供压阻式自由场压力传感器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种压阻式自由场压 力 传感器 由敏感组件、调理 电路 、 电缆 以及传感器 外壳 组成,传感器外壳为 流线 体结构,敏感组件为 硅 压阻式组件,敏感组件之受压面与传感器外表面齐平安装而背压面通过安装于传感器腔体内的调理电路外接到电缆,敏感组件为具有惠斯通电桥硅敏感元件之 正面 连通传感器腔体,调理电路由 温度 补偿电路和高频宽带放大电路组成,电缆具有保护套及在保护套和电缆间装有绝热填充料,传感器外壳由呈锐 角 圆锥型的流线 基座 和旋固于流线基座尾部的管冒组成,本 发明 将成熟的硅压阻式 压力传感器 引入爆炸力学研究领域,制作了压阻式自由场压力传感器,具有一致性好、廉价、低频特性好、 信号 处理简单、方便等特点。,下面是压阻式自由场压力传感器专利的具体信息内容。
1.一种压阻式自由场压力传感器,由敏感组件、调理电路、输出电缆以及传感器外壳组成,其特征在于,该传感器外壳采用流线体结构,该敏感组件采用硅压阻式组件,该敏感组件齐平安装于该传感器前端区域,并通过安装于传感器腔体内的该调理电路外接到该输出电缆。
2.如权利要求1所述的一种压阻式自由场压力传感器,其特征在于,该敏感组件为,具有惠斯通电桥结构的硅敏感元件(2)之正面敏感部外的区域裸露出单晶硅衬底(15),并与PYREX玻璃固支环(3)静电封接后形成硅敏感芯座,该硅敏感芯座之金属化层(18)通过特制的金丝球焊机焊接金丝内引线(6),该玻璃固支环的端面与安装于该传感器腔体前端区域的芯座架(5)固定,并使该敏感元件之背面作为受压面与该传感器外壳表面齐平安装而该硅敏感元件之正面连通该传感器腔体,该芯座架同时固定转接板(4),而该内引线另一端焊接于该转接板,与该内引线对应端的该转接板部位焊接有转接线(7),该转接线另一端作为该调理电路输入端。
3.如权利要求2所述的一种压阻式自由场压力传感器,其特征在于,该惠斯通电桥之应变电阻(17)具有低于1KΩ的低阻值。
4.如权利要求1或2所述的一种压阻式自由场压力传感器,其特征在于,该调理电路由温度补偿电路和高频宽带放大电路组成,并一体化安装于调理电路板(9),该调理电路板通过固板架(8)固定于该传感器腔体内,该高频带宽放大电路由两级放大电路组成,第一级放大电路采用单位增益带宽高至800KHz的放大器AD8221利用其5倍的放大倍率,第二级放大电路采用单位增益带宽高至30MHz的放大器OP37和10-40倍的放大倍率,该高频带宽放大电路具有高达100KHz的带宽和小于1μS的上升时间及极低的噪声。
5.如权利要求1或2所述的一种压阻式自由场压力传感器,其特征在于,该输出电缆具有保护套(13)及在该保护套和输出电缆间装有绝热填充料(14)的结构。
6.如权利要求5所述的一种压阻式自由场压力传感器,其特征在于,该输出电缆依次穿套压线帽(12)、防护套(13)、绝热填充料(14)和防护帽,该压线帽旋固于该管帽尾部,该防护帽旋固于该压线帽。
7.如权利要求2所述的一种压阻式自由场压力传感器,其特征在于,该传感器外壳由前端呈锐角圆锥型的流线基座(1)和旋固于该流线基座尾部的管冒(10)组成,并形成该传感器腔体,位于该流线基座之前端1/3~2/5区域通过该芯座架齐平安装该硅敏感元件,该传感器外壳采用不锈钢或合金铝制成。
8.如权利要求2所述的一种压阻式自由场压力传感器,其特征在于,该硅敏感元件之圆形面为Φ2mm或Φ4mm,该玻璃固支环内径为Φ2mm或Φ4mm而相应外径为Φ5mm~Φ6mm或Φ7mm~Φ8mm,该金丝内引线为Φ25μm~Φ40μm,惠斯通电桥之引出点为Φ2mm或Φ4mm的力敏区,该流线基座之锥头呈30°~45°而该管帽直径选为Φ20~Φ40mm。
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