图25为例如专利第3113885号“臭氧发生装置用放电单元”所记载的以 往臭氧发生器的剖面图。以往的臭氧发生器如图25所示，将近似平板状的刚 性体构成的多个低压电极7在板厚方向重叠并夹住两侧的一对块状体25，通过 这样构成多个电极组件的叠层体。电极组件的叠层体在电极压板22及底座24 之间，利用在叠层方向贯通两侧部分的多个固紧螺栓21固紧。
各电极组件具有上下一对低压电极7、夹在该低压电极7与7之间的两侧 的一对块状体25、位于块状体25与25内侧并配置在低压电极7与7之间的电 介质单元30、以及设置在电介质单元30的两面用来形成放电间隙6的多个放 电间隙形成用的弹性体衬垫26。弹性体衬垫26形成沿相对于纸面沿垂直方向 延伸的圆形截面的棒状体。
两侧的一对块状体25是由不锈钢板等导电性板材制成的刚性体，由于通 过低压电极7之间的两侧部分，这样，在它们之间形成与块状体厚度相等间隔 量的空间。
另外，图中将上下方向的尺寸都加以放大，实际厚度例如低压电极7为3mm 以下，块状体25为3mm以下，都做得非常薄。
上下一对低压电极7在内部形成冷却水通路9，兼作为散热器。另外，在 一侧的块状体25中也形成冷却水通路9。然后，低压电极7内的冷却水通路9 为使作为制冷剂的冷却水流通，通过块状体25而与设置在底座24的冷却水出 入口12连通。
另外，在低压电极7的与放电间隙6相对的主表面，例如，通过蚀刻等加 工形成臭氧气体通路8。该臭氧气体通路8经由块状体25上形成的臭氧气体通 路8与设置在底座24的臭氧气体出口11连通。另外，在放电间隙6的两侧部 分，设置在面向纸面的垂直方向上向放电间隙6供给氧气的氧气入口10。
在由上下一对低压电极7与两侧的一对块状体25包围的空间中所配置的 电介质单元30，是在作为电介质的上下一对玻璃5之间夹住高压电极3的、形 成的“三明治”结构的薄板状刚性体。高压电极3由不锈钢板等导电性薄板制 成，其一部分作为未图示的馈电端被引出到外面。
在电介质单元30的两表面侧上为了形成放电间隙6而设置的放电间隙形 成用弹性体衬垫26，是具有耐臭氧性及弹力性的、截面为圆形的细树脂线材， 将其以规定间隔配置在放电间隙6内。各衬垫26的厚度(外径)设定为在不压 缩的状态下比放电间隙6的各间隙量大5~6％左右。
通过该设定，弹性体衬垫26被低压电极7及电介质单元30从上下压缩， 由于该压缩，电介质单元30从上下以相等的压力被弹性按压，并保持在上述 空间内的上下方向中央部位。结果，在电介质单元30的两面形成相等间隙量 的放电间隙6。
另外，在采用刚性体衬垫代替弹性体衬垫26时，采用的刚性体衬垫的直 径肯定比在固紧块状体25时所决定的放电间隙长度(放电间隙在叠层方向的高 度)要小。因此，在放电间隙中沿叠层方向没有压缩衬垫。
下面说明工作情况。
一旦在低压电极7与高压电极3之间施加交流高电压时，则通过电介质5 在放电间隙6产生电介质阻挡(barrier)放电。利用该放电，氧气暂时分离为 氧原子，几乎同时该氧原子与其它的氧分子和壁面等引起三体碰撞，生成臭氧 气体。利用该组合，通过对放电间隙6连续供给氧气，则通过放电生成臭氧气 体能够从臭氧气体出口11作为臭氧化气体连续取出。
在该放电中取出的臭氧发生效率一般最大约为20％。即放电功率的80％用 于加热电极而消耗掉。另外，臭氧气体的发生效率取决于电极温度(严格讲是 放电气体温度)，电极温度越低，发生效率越高。因此，通过用冷却水等直接 冷却电极，或缩短放电间隙6的间隙长，以抑制放电间隙6中的气体温度上升， 而且通过提高电子温度，以提高臭氧生成效率，抑制臭氧分解，结果能够构成 高效率取出高浓度臭氧气体的臭氧发生器。
在这样构成的以往的臭氧发生器中，电极的冷却是低压电极7侧的单面冷 却，并没有冷却高压电极3。因此，与冷却高低压电极的两面冷却方式相比， 投入相同功率时，放电间隙6的气体温度约为4倍左右。而且，由于该气体温 度上升，将生成的臭氧进行分解的量增大，因此不能进一步提高投入到电极的 放电功率密度，不能高效产生臭氧气体。
另外，在采用弹性体衬垫26时，在放电间隙6内存在因放电而具有相当 高能量的电子，用有机材料形成的弹性体衬垫26，由于受该放电作用，高能量 电子(放电能)碰撞，受到化学键游离的损伤。而且，若连续运行臭氧发生器， 则与金属制衬垫相比，其缺点在于，衬垫26在短时间内会产生劣化，由于该 劣化，就不可能使气体均匀流动，效率急剧下降，装置的寿命缩短。
另外，在使用有耐臭氧性的特氟纶(Teflon，登记商标)制的弹性体衬垫时， 上述高能量电子(放电能)也会碰撞并受到化学键游离的损伤。再有，即使采用 在空气中一般是“阻燃性物质”的物质，而在高浓度臭氧及氧气气氛中也与“可 燃性物质”一样，若设置在放电空间直接接触的部分上，则存在的问题在于， 由于放电能量的作用，弹性体衬垫的升华反应活化，不能得到纯净的臭氧气体。
另外，在采用刚性体衬垫代替弹性体衬垫26时，要进行这样设计，以使 得其直径肯定比在通过块状体25进行固紧时所决定的放电间隙长度要小。因 此，在想要使放电间隙6形成微小间隙而以产生高浓度臭氧时，与放电气体通 路的压力损失(与图27的低面垂直的气体通路的压力损失)相比，以放电间隙 形成用衬垫26隔开的间隙的压力损失(放电间隙形成衬垫26与电介质5之间 的微小间隙的压力损失)非常小。因此，很难利用放电间隙形成用衬垫26使电 流均匀流过。结果存在的问题有，臭氧发生效率下降，不能构成紧凑的臭氧发 生器等。
一般，若不使衬垫26形成的间隙的压力损失为在放电通路部分的压力损 失的约10倍以上，则不能使气流均匀流过。例如，放电间隙6为0.1mm左右 时，对于衬垫26的厚度与放电间隙之间的缝隙，要求非常高的精度。因此， 要以这样的精度制成衬垫26并且要不与放电间隙接触而配置，这是非常困难 的。由于这样的原因，为了高精度制成衬垫26，成本就会上升，不可能以低价 制成装置。
另外，在这样构成的以往的臭氧发生器中，由上下一对低压电极7、夹在 该低压电极7与7之间的两侧一对块状体25、位于块状体25与25内侧并配置 在低压电极7与7之间的电介质单元30、以及设置在电介质单元30的两面用 来形成放电间隙6的多个放电间隙形成用的弹性体衬垫26构成电极组件，将 多个电极组件隔着低压电极7叠层，作为固定手段，以电极组件两侧位置上的 在叠层方向贯通的固紧螺栓21，将设置在上端的电极压板22与设置在下端的 底座24之间进行固紧。即在夹住电极组件的低压电极7的两端上进行固紧而 构成，因此电极组件的两边成为支点，这样存在的问题有，原来应该是平面的 低压电极7变形为圆弧状，特别是在0.1mm厚度的放电间隙中，间隙长变得不 均匀，不能够得到高浓度的臭氧。
再有，以往的臭氧气体通路8是不进行气密而作成的。因此，对于由各叠 层的低压电极7夹住的电极组件，不能100％供给原料氧气。即产生氧气不通 过电极组件的放电通路而直接泄漏到臭氧气体出口11的这种“短路现象”。 若发生该“短路现象”，则产生的问题有，电极组件的臭氧发生效率下降，同 时不能生成高浓度的臭氧，进而放电间隙6产生的臭氧浓度因原料氧气的短路 流量而降低，因此，得不到高浓度的臭氧气体。
本发明是为总结并解决上述若干个问题而提出的。
第1目的在于，提供具有不损害臭氧发生性能且可靠性高的电极组件结构、 并能够延长电极组件寿命的臭氧发生器。
第2目的在于，提供能够以简单的操作将非常薄的平板状电极组件进行叠 层组装、并进一步能够实现紧凑组件化的臭氧发生器。
第3目的在于，提供具有能够良好地冷却高压电极3及低压电极7这两种 电极的结构的臭氧发生器。
第4目的在于，提供对电极的至少一方同时具有冷却结构及臭氧取出结构、 并能够形成又薄又轻而且又便宜、质量又好的电极的臭氧发生器。
第5目的在于，提供生成的臭氧气体的纯度高、即能够生成纯净臭氧气体 的臭氧发生器。
第6目的在于，提供使臭氧发生器内的零部件功能合并以能够减少零部件 数量或降低零部件成本的臭氧发生器。
本发明是为达到上述目的而进行的，得到的臭氧发生器能够容易支持电极 组件，能够将电极组件间的原料气体可靠密封，同时能够容易进行电极定位， 并能够支持多个电极组件，而不产生放电间隙的差异，并且性能良好。
另外，本发明能够实现耐臭氧性优异、结构紧凑且寿命长、高质量的臭氧 发生器。
另外，能够获得一种臭氧发生器，它的放电间隙的结构不采用专利第 3113885号所用的放电间隙内的弹性体，也不需要直径小于间隙长度的高精度 的刚性体衬垫，能够采用厚度等于放电间隙长度的衬垫。

在本发明的臭氧发生器中，具有：平板状的低压电极；分别与低压电极主 表面相对的平板状的高压电极；设置在低压电极与高压电极之间的平板状的电 介质及用于在叠层方向上形成厚度小的放电间隙的衬垫；以及在高压电极的内 部形成与高压电极绝缘的冷却水通路的高压电极冷却单元，使得在低压电极与 高压电极之间施加交流电压，在注入氧气的第1放电间隙产生放电，并使得产 生臭氧气体。
又，高压电极冷却单元具有：插入到贯通高压电极的通孔中的高热传导率、 高电气绝缘性的流管；以及填充在流管与通孔之间的、用于将流管固定在通孔 中的高热传导率的热传导性粘合剂。
又，低压电极是将在主表面形成沟槽的2片以上的金属制的平板以使其沟 槽相对而贴合制成，由此在内部形成臭氧气体通路和冷却水通路。
又，与高压电极的主面平行地并列设置多条流管。
又，金属制平板仅通过加热及加压贴合而成。
又，低压电极的与放电间隙相对的主表面被无机物形成的电介质膜覆盖。
又，电介质膜由陶瓷材料制成。
又，电介质膜由玻璃材料制成。
又，电介质的与高压电极相对的主表面被具有导电性的导电膜覆盖，导电 膜与高压电极接触。
又，电介质与高压电极用导电性粘结剂结合。
又，导电膜的外周边缘部分被无机物形成的绝缘保护膜覆盖。
又，导电性粘结剂的外周边缘部分被由无机物形成的绝缘保护膜覆盖。
又，高压电极的外径小于电介质的外径。
又，高压电极的外径小于覆盖电介质的导电膜的外径。
又，具备与低压电极相邻设置的、形成与设置在该低压电极的冷却水通路 连接的冷却水通路或者与设置在该低压电极的臭氧气体通路连接的臭氧气体 通路的总管块状体。
又，总管块状体具有在低压电极、高压电极的叠层方向上有弹性功能的弹 性结构。
又，将衬垫配置在与低压电极的用于形成冷却水通路的筋条相对的位置 上。
又，在本发明的臭氧发生器中，具有：平板状的低压电极；分别与低压电 极的主面相对的平板状的高压电极；设置在低压电极与高压电极之间的平板状 的电介质及用于在叠层方向上形成厚度小的放电间隙的衬垫；在高压电极的内 部形成与该高压电极绝缘的冷却水通路的高压电极冷却单元；以及与低压电极 相邻设置的、形成与设置在该低压电极的冷却水通路连接的冷却水通路或者与 设置在该低压电极的臭氧气体通路连接的臭氧气体通路的总管块状体，低压电 极的与放电间隙相对的主表面被无机物形成的电介质膜覆盖，电介质的与高压 电极相对的主表面被具有导电性的导电膜覆盖，导电膜与该高压电极接触。
又，将多个具有低压电极、高压电极、电介质、衬垫以及高压电极冷却单 元的电极组件叠层。
又，导电膜设置在与形成在低压电极上的臭氧气体通路相对的位置以外的 部分。
又，衬垫由放电间隙形成用衬垫与非放电用衬垫形成，放电间隙形成用衬 垫设置在与形成在低压电极的臭氧气体通路相对的位置以外的部分上并且形 成放电空间，非放电用衬垫设置在与形成在低压电极的臭氧气体通路相对的位 置上并未留有放电间隙的规定空间。
附图说明
图1为说明本发明的臭氧发生器模式性的示意图。
图2为表示本发明实施形态1的臭氧发生器的臭氧发生器电极的模式性的 详细剖面图。
图3表示本发明实施形态2的臭氧发生器的低压电极7俯视图。
图4为沿图3的A-A线的箭头方向的剖面图。
图5为沿图3的B-B线的箭头方向的剖面图。
图6为表示本发明实施形态3的臭氧发生器的高压电极冷却单元2的说明 图。
图7为表示本发明实施形态5的臭氧发生器的臭氧发生器电极的详细剖面 图。
图8为表示本发明实施形态6的臭氧发生器的低压电极7俯视图。
图9为沿图8的E-E线的箭头方向的剖面图。
图10为沿图8的F-F线的箭头方向的剖面图。
图11为表示本发明实施形态7的臭氧发生器的低压电极7俯视图。
图12为沿图11的G-G线的箭头方向的剖面图。
图13为沿图11的H-H线的箭头方向的剖面图。
图14为表示本发明实施形态8的臭氧发生器的臭氧发生器电极的详细剖 面图。
图15为表示本发明实施形态9的臭氧发生器的高压电极3与电介质5的 侧视图。
图16为表示从上方以及横向观察本发明发明实施形态10的臭氧发生器的 电介质5时的图。
图17为表示本发明实施形态11的臭氧发生器的高压电极3与电介质5的 侧视图。
图18为表示本发明实施形态14的臭氧发生器的总管块状体23的剖面图。
图19为表示本发明实施形态15的臭氧发生器的低压电极7的俯视图。
图20为沿图19的I-I线的箭头方向的剖面图
图21为表示本发明实施形态16的臭氧发生器的臭氧发生器电极的详细剖 面图。
图22从上方观察表示本发明实施形态18的臭氧发生器的电介质5时的图。
图23为表示本发明实施形态19的臭氧发生器的低压电极7的俯视图。
图24是图23的沿J-J线的箭头的剖面图。
图25是以往的臭氧发生器的剖面图。
符号说明
2 高压电极冷却单元，2a 传导性粘合剂，2b 流管，2c 冷却水通路，2d 冷 却水总管，3 高压电极，5 电介质，6 放电间隙，7 电压电极，8 臭氧气体通 路，9 冷却水通路，11 臭氧气体出口，12 冷却水出入口，13 电介质膜，13a 陶瓷电介质膜，13a1 陶瓷电介质放电间隙用衬垫，13a2 陶瓷电介质膜非放电 用衬垫，13b 玻璃电介质膜，13b1 玻璃电介质放电间隙用衬垫，13b2 粘结剂， 14 导电膜，15 导电性粘结剂，16 绝缘保护膜，23 总管块状体，23a 上侧 总管块状体，23b 下侧总管块状体，23c O形圈，23d 盘形弹簧，100 臭氧发 生器，101 臭氧发生器电极，102 电极组件。

下面根据附图说明本发明。
图1是模式性说明平板叠层型臭氧发生装置的示意图，平板叠层型臭氧发 生装置由作为产生臭氧的主要构成部分的臭氧发生器100、对该臭氧发生器100 供给功率的臭氧变压器200及高频逆变器300构成。
高频逆变器300将从电源输入端404输入的功率变换为所需要的频率，并 输出给逆变器输出电缆403。臭氧变压器200将该功率升压至规定的电压，将 产生臭氧所需要的功率供给臭氧发生器100。高频逆变器300还具有对电流/ 电压进行控制的功能，以控制供给的功率输入量。
由臭氧变压器200供给的高电压，从高压电缆401通过套管120供给臭氧 发生器100的高压电极3。另外，低电压从低压电缆402通过底座24供给低压 电极7。
臭氧发生器100包括具有高压电极3及低压电极7的多个电极组件102， 将规定个数的电极组件102在底座24上沿图中箭头Z方向叠层并构成臭氧发 生器电极101。臭氧发生器电极101被发生器外壳110覆盖。在发生器外壳110 上设置供给包含微量氮、二氧化碳等的氧气的臭氧发生器的氧气入口130。供 给的氧气充满在发生器外壳110，并进入后述的放电间隙。另外，在底座上设 置将在后述的放电间隙生成的臭氧气体从臭氧发生器100送出到外部的臭氧气 体出口11及冷却电极组件102的冷却水出入用的冷却水出入口12。
在这样结构的平板叠层型臭氧发生装置中，本发明特别涉及作为臭氧发生 装置的主要部分的臭氧发生器100，详细地说，涉及臭氧发生器100的臭氧发 生器电极101及电极组件102的构造。
实施形态1
图2为模式性表示本发明实施形态1的臭氧发生器的臭氧发生器电极的剖 面示意图。在图2中，臭氧发生器电极101具有平板状低压电极7、分别与低 压电极7的主表面相对设置的平板状的高压电极3、设置在低压电极7与高压 电极3之间的平板状的电介质5及用于在叠层方向上形成厚度小的放电间隙的 未图示的衬垫。
臭氧发生器电极101还具有在高压电极3的内部形成与高压电极3绝缘的 冷却水通路的高压电极冷却单元2。
然后，臭氧发生器电极101使得在低压电极7与高压电极3之间施加交流 电压，在注入氧气的放电间隙6中产生放电并产生臭氧气体。
从图1所示的臭氧变压器200通过高压套管120向高压电极3的馈电端4 供电。高压电极3用不锈钢或铝等金属制成。电介质5的主表面与高压电极3 贴紧。电介质5用陶瓷、玻璃或硅等材料制成。在电介质5与低压电极7之间， 利用后述的衬垫形成放电间隙6。在本实施形态中，放电间隙6形成圆板状， 从放电间隙6的周围向中心方向注入充满图1的发生器外壳110的氧气。
通过在高压电压3与低压电极7之间施加交流高电压，将流过放电间隙6 的氧气变换为臭氧。在放电间隙6中变换成臭氧化氧气的臭氧气体，从低压电 极7的中心部分经由设置在低压电极7内的臭氧气体通路8，引导到臭氧气体 出口11。
低压电极7是将不锈钢等制成的2片导电板接合并在板间形成臭氧气体通 路8的薄板状导电性刚体。在低压电极7中，除了臭氧气体通路8以外，还设 置提高臭氧发生效率的冷却水通路9。然后，通过在该冷却水通路9流过冷却 水，来降低放电间隙6内的气体温度。
另外，为了冷却高压电极3，在各高压电极3的内部设置高压电极冷却单 元2。高压电极冷却单元2具有；插入到贯通高压电极3的通孔中且在内部使 得流通冷却水的由高热传导率、高电气绝缘性材料作成的流管2b；以及填充在 流管2b与通孔之间并且将流管2b固定在通孔中的高热传导率的热传导性粘合 剂。
低压电极7内形成的臭氧气体通路8，经由总管块状体23形成的臭氧气体 通路8，与底座24上设置的臭氧气体出口11连通。另一方面，低压电极7上 形成的冷却水通路9，经由总管块状体23形成的冷却水通路9与底座24上设 置的冷却水出入口12连通。
图中未特别图示，在低压电极7与总管块状体23或底座24之间，夹入O 形圈等垫圈材料进行冷却水的密封。另外，为了对臭氧气体进行密封，还夹入 O形圈等垫圈材料。
由低压电极7、高压电极3、电介质5、衬垫以及高压电极冷却单元2构成 的电极组件102，通过贯通各构成要素的固紧螺栓21，被固定在电极压板22 与底座24之间。放电间隙6利用总管块状体23在叠层方向保持规定的厚度。
另外，本实施形态在高压电极3与低压电极7之间设置无声(电介质声障) 放电所必须的电介质5，然后在该电介质5与低压电极7之间配置衬垫并设置 放电间隙6。但是，也可以在高压电极3与电介质5之间配置衬垫并设置放电 间隙6。
下面说明工作情况。若对高压电极3与低压电极7施加交流高电压，则在 放电间隙6产生无声(电介质声障)放电。若对该放电间隙6通以氧气，则使氧 气发生变化，产生臭氧。充满发生器外壳110的氧气通过在形成在低压电极7 与电介质5之间的放电间隙6，在此期间变换成臭氧。在本实施形态中，电介 质5、高压电极3及形成在两者之间的放电间隙6，分别近似形成圆板状。然 后，氧气从电介质5的周围向中心流动，在放电间隙6形成臭氧化氧气。
为了高效地生成臭氧，特别必须要高精度保持厚度很小的空间即放电间隙 6。通过在电极压板22与底座24之间，在两侧部分配置块状体23，利用在叠 层方向贯通的多个固紧螺栓21将电极组件叠层体固紧，以获得规定的间隙精 度。然后，利用配置在低压电极7表面上的、未图示的放电间隙用衬垫来形成 放电间隙6。即利用该放电间隙用衬垫的高度来设定放电间隙6的厚度(叠层方 向的高度)。通过对该放电间隙用衬垫的高度进行均匀加工以及用固紧螺栓21 将各电极固紧，可确保放电间隙6的精度。
作为高效生成臭氧的另一个手段，存在降低放电间隙6内的温度的方法。 作为电极，设置了高压电极3及低压电极7，研究采用水或气体等冷却该两电 极的方法。水与气体的冷却效果中，水的冷却效果大，在用水的情况下，由于 对高压电极3要施加高电压，因此必须减小冷却水的电导率(采用离子交换水 等)。另外，在用气体的情况下，虽不需要上述条件，但构造复杂，噪声大， 另外制冷剂的热容量小等等，因此各有优缺点。
在本实施形态中，与低压电极7相邻地形成放电间隙6，通过在低压电极7 内设置冷却水通路9，来冷却放电间隙6。另外，为了冷却高压电极3，在高压 电极3的内部设置高压电极冷却单元2，通过流过冷却单元2内的冷却水来冷 却高压电极3上产生的热量。如此，通过同时冷却高压电极3及低压电极7， 能够将放电间隙6的气体温度维持在较低。
另外，设置在高压电极3内部的高压电极冷却单元2具有热传导性高、电 气绝缘性大的流管26，故能够确保电气绝缘。由于这样的构造，不必减小流过 高压电极冷却单元2的冷却水的电导率，可以采用一般的自来水。因此，其优 点在于，能够采用与冷却低压电极7的冷却水通用的冷却水。
根据上述情况，在本实施形态中，能够提高放电间隙6的冷却效率，以及 能够很好地降低放电间隙6的温度。这样，不会降低臭氧发生效率，并能提高 功率密度，能够减少电极组件个数，能够实现装置小型化及降低价格。再有， 由于通过高压电极冷却单元2来冷却高压电极3，故作为冷却水，也可以不使 用电导率小的离子交换水等，而可以使用一般的自来水。所以，不需要电导率 监视装置及离子交换水循环设备，由于减少装置构成数量而能够降低价格及减 少维持费用。
实施形态2
图3为表示本发明实施形态2的臭氧发生器的低压电极7俯视图。图4为 沿图3的A-A线的箭头方向的剖面图，图5为沿图3的B-B线的箭头方向的 剖面图。低压电极7如图4及图5中所示，由上侧低压电极7a与下侧低压 电极7b这2片金属电极构成。在2个电极7a与7b的单侧主表面上预先通过 蚀刻或机械加工而形成深度为数mm的沟槽。然后将2个电极7a与7b贴合并 使该沟槽相对，制成低压电极7。相对的构槽在低压电极7的内部形成臭氧气 体通路8及冷却水通路9。
另外，在低压电极7的单侧端部(图3的左侧)的臭氧气体及冷却水取出部 分900上，形成沿叠层方向延伸的臭氧气体通路8及冷却水通路9。这里，冷 却水通路9分为冷却水入口9a及冷却水出口9b。连通冷却水入口9a及冷却水 出口9b的冷却水通路9如图3的虚线所示，形成在低压电极7的内部几乎整 个中。即在近似圆形的低压电极放电部分700从中心到外周部分形成多个同心 圆形状。另外，相邻同心圆状的冷却水通路9利用宽度很窄的筋条隔开。另外， 形成在低压电极7内部的臭氧气体通路8从单侧端部沿叠层方向延伸的通路起 向中心部分延伸，并与形成在中心部分两主表面上的开口连通。
设置在低压电极7的单侧端部的沿叠层方向延伸的臭氧气体通路8以及冷 却水通路9，与设置在总管块状体23的臭氧气体通路以及冷却水通路连接，最 后与与设置在底座24的臭氧气体出口11以及冷却水出入口12连接。
在2个电极7a与7b中的、与为形成臭氧气体通路8及冷却水通路9而形 成沟槽的面的相反侧面上，同样地通过蚀刻或机械加工在整个主表面上形成多 个用于形成放电间隙6的圆形突起。上述臭氧气体通路8与形成该放电间隙6 的面上所形成的开口连通。
产生的臭氧气体从低压电极7的中心部分，通过设置在低压电极7内的臭 氧气体通路8，而到达设置在低压电极7单侧端部的臭氧气体及冷却水取出部 分900上的、沿叠层方向延伸的臭氧气体通路8。另外，在整个低压电极7的 内部流动的冷却水从臭氧气体及冷却水取出部分900的冷却水入口孔9a进入 低压电极7，冷却低压电极放电部分700的整个面，然后流向臭氧气体及冷却 水取出部分900的冷却水出口孔9b。
设置在低压电极7的端部上的臭氧气体及冷却水取出部分900的臭氧气体 出口集合及冷却水出入口的集合结构，同与低压电极7相邻设置的总管块状体 23一起，连接到设置在底座24的臭氧气体出口11及冷却水出入口12。这样， 在本实施形态中，通过在低压电极7及总管块状体23内形成通路，实现不需 要集合接头及管道构件，减少这些接头及管道构件占用的空间，从而实现结构 紧凑、简化的臭氧发生器。
根据上述情况，在本实施形态中，由于利用蚀刻或机械加工对低压电极7 进行数mm以内的凹凸加工，将这样凹凸加工后的至少2片金属板贴合，通过 这样构成气密流通空间，使臭氧气体通路8及冷却水通路9气密分离而形成， 因此能够减小低压电极7的厚度，实现装置小型化。另外，由于不需要冷却水 及臭氧气体取出用管道，因此能够提供一种能简单组装、分解并且廉价的臭氧 发生器。
另外，在本实施形态中，将2个电极7a与7b接合制成低压电极7，但也 可以是3个以上电极接合并在内部形成臭氧气体通路8及冷却水通路9。
另外，在本实施形态中，在低压电极7与电介质5之间设置放电间隙6并 在低压电极7内形成臭氧气体通路8，但也可以在高压电极3与电介质5之间 设置放电间隙，在高压电极3内形成臭氧气体通路。
实施形态3
图6为表示本发明实施形态3的臭氧发生器的高压电极冷却单元2的说明 图。高压电极3形成正方形的板状，在上下两主表面上形成具有与正方形的一 边长度相同的直径的凸部。而且，在高压电极3上，在与主表面平行的面内贯 通穿过5条平行的通孔。在这些通孔上，分别插入例如由玻璃或陶瓷等的高热 传导率、高电气绝缘性的材料作成的流管2b。又，在流管2b与通孔之间填充 高热传导率性的粘合剂2a并且将流管2b固定在通孔中。
为了连接各流管2b的端部，设置冷却水总管2d。冷却水总管2d大致为细 长状并且沿高压电极3相对的2边而延伸。在冷却水总管2d的内部，沿着轴 芯形成总管。将总管的一侧端封闭。对于单侧的冷却水总管2d，在总管的端部 设置冷却水入口2e。对于另一冷却水总管2d，在总管的端部设置冷却水出口 2f。形成在冷却水总管2d内的总管与各个流管2b连通。
其次，对于动作进行说明。从高压电极3的两表面产生放电引起的发热。 该热量传递到由热传导良好的材料作成的高压电极3的内部并且被流过流管2b 内的冷却水通路2c的冷却水吸收。由此，能够将高压电极3的温度维持在较 低。通过冷却水总管2d将流管2b的两端结合起来，通过该总管使得冷却水流 入流出。
从冷却水总管2d上设置的冷却水入口2e流入的冷却水被冷却水总管分 流，由各流管2b吸收热量并从冷却水出口2f流出。由于利用流管2b将高压 电位电气绝缘，故不会从冷却水漏电，对于冷却水，不需要采用高阻抗的水(例 如离子交换水)。可以采用与冷却低压电极7的自来水相同的水。根据这样的 构造，通过直接冷却高压电极3，能够使得构造简单并且能够高效地进行冷却， 能够获得高性能的臭氧发生器。
根据上述情况，在本实施形态中，在高压电极3的内部设置高压电极利权 单元2，通过热传导率高、电气绝缘性号的流管2b进行电气绝缘，再者，在高 压电极3与流管2b的间隙押入热阻抗，通过将热传导好的传导性粘合剂填入 间隙中，能够改善热传导性，故可以不使用电导率小的离子交换水等，而可以 使用一般的自来水。所以，不需要电导率监视装置及离子交换水循环设备，由 于减少装置构成数量而能够降低价格及减少维持费用。
又，与高压电极3的主表面平行地设置多条流管2b。因此，能够高效地冷 却平板状的高压电极3。
实施形态4
本实施形态是关于金属板的接合方法。作为2片金属板接合的一般方法， 有采用钎料作为粘合剂的钎焊方式。但是，臭氧气体通路8由于有臭氧流通， 因此产生臭氧气体与钎料的氧化反应，产生臭氧气体的分解，生成氧化物等， 这些对于臭氧发生器是不好的现象。所以，在本实施形态中，不采用该一般的 钎焊方式。
即在实施形态2的2个电极7a与7b的接合中，不采用该一般的钎焊方 式。在本实施形态中，涉及2片金属板的接合，它是采用加热加压式接合方法。 该方法是一面将2片金属板加热，一面在叠层方向上施加大的压力进行压紧， 在接触面使两金属熔融接合。金属在该金属特有的熔点熔融。因此，通过取决 于该接合材料的规定加热及规定加压，能够将金属接合。该方法不仅不使用钎 料，而且也完全不使用其它粘合剂。因此，不因臭氧而生成氧化反应物，能够 生成纯净的臭氧。
根据上述情况，在本实施形态中，涉及2片以上金属板的贴合方法，由于 不使用粘合剂，采用仅利用加热及加压的接合方法，因此能够获得不会产生臭 氧对粘合剂的腐蚀并且使用寿命长、可靠性高的臭氧发生器。
实施形态5
图7为表示本发明实施形态5的臭氧发生器的臭氧发生器电极的具体剖面 图。在本实施形态中，低压电极7的与放电间隙6相对的整个放电面被无机材 料构成的电介质膜13覆盖。该电介质膜13面向放电间隙6。该电介质膜13的 厚度具有能够充分阻止金属离子的厚度。
在这样构成的臭氧发生器中，产生无声放电的放电间隙6的两面都被无机 材料包围，向该间隙中通氧气，这样能够产生无金属污染的纯净的臭氧。
实施形态6
图8为表示本发明实施形态6的臭氧发生器的低压电极7的俯视图。图9 为沿图8的E-E线的箭头方向的剖面图。图10为沿图8的F-F线的箭头方向 的剖面图。在本实施形态中，低压电极7的与放电间隙6相对的整个放电面被 陶瓷电介质膜13a覆盖。该陶瓷电介质膜13a面向放电间隙6。在陶瓷电介质 膜13a上，为了形成放电间隙6，配置小型圆片状的多个陶瓷电介质放电间隙 用衬垫13a1。
在这样构成的臭氧发生器中，氧气从低压电极7的外周部分流入放电间隙 6内，一面通过陶瓷电介质放电间隙用衬垫13a1之间，一面利用无声放电生成 臭氧，从形成在低压电极7的中心的臭氧气体通路8，通过低压电极7的内部 而流出到外部。这时，由于放电间隙6的两面都用无机材料包围，连衬垫也是 无机材料，因此能够更进一步产生无金属污染的纯净的臭氧。
另外，陶瓷电介质膜13a是利用喷镀方式形成，能够将其膜厚控制为数μ m。另外，利用该喷镀方式，也能够同时形成陶瓷电介质放电间隙用衬垫13a1。
实施形态7
图11为表示本发明实施形态7的臭氧发生器的低压电极7的俯视图。图 12为沿图11G-G线的箭头方向的剖面图。图13为沿图11的H-H线的箭头 方向的剖面图。在本实施形态中，低压电极7的与放电间隙6相对的整个放电 面被玻璃电介质膜13b覆盖。该玻璃电介质膜13b面向放电间隙6。在玻璃电 介质膜13b上，为了形成放电间隙6，配置小型圆片状的多个玻璃电介质放电 间隙用衬垫13b1。
在这样构成的臭氧发生器中，氧气从低压电极7的外周部分流入放电间隙 6内，一面通过玻璃电介质放电间隙用衬垫13b1之间，一面利用无声放电生成 臭氧，从形成在低压电极7的中心的臭氧气体通路8，通过低压电极7的内部 而流出到外部。这时，由于放电间隙6的两面都用无机材料包围，连衬垫也是 无机材料，因此能够更进一步产生无金属污染的纯净的臭氧。
另外，为了制成玻璃电介质膜13b，首先对石英材料的玻璃板利用掩膜进 行喷砂处理，形成凸起的玻璃电介质放电间隙用衬垫13b1。然后将该玻璃电介 质膜13b用粘结剂13b2与低压电极7粘贴。
实施形态8
图14为表示本发明实施形态8的臭氧发生器的臭氧发生器电极的具体剖 面图。在本实施形态中，电介质5的高压电极3一侧的主表面被导电膜14覆盖 整个面。
在不设置导电膜14时，若不采用粘结等方法而仅利用机械压力将高压电 极3的表面与电介质5的表面互相压接时，不能够使高压电极3的表面与电介 质5的表面很好贴紧接触。因而，接触面的一部分产生间隙，在该间隙中会产 生异常放电(局部放电)。该异常放电导致的问题在于，会损坏电介质5，或降低 臭氧发生效率，或妨碍产生纯净的臭氧。
在本实施形态中，通过在电介质5表面涂布导电膜14，则即使不能完全很 好贴紧接合的情况下，而由于电介质5的导电膜14与高压电极3处于同电位， 因此即使接触面的一部分形成间隙，也能够防止异常放电(局部放电)，能够阻 止产生金属污染。
实施形态9
图15为表示本发明实施形态9的臭氧发生器的高压电极3及电介质5的侧 视图。在本实施形态中，高压电极3与电介质5之间无间隙而利用导电性粘结 剂粘结。在这样的结构中，也能够提高高压电极3与电介质5的贴附性，能够 防止异常放电，能够阻止产生金属污染。而且，不需要进行定位等调整，组装 容易。
实施形态10
图16从上方与横向观察表示本发明实施形态10的臭氧发生器的电介质5 时的图。本实施形态具有防止导电膜14的边缘部分产生金属污染的结构。对导 电膜14施加高电压的电位，在其边缘部分将会产生异常辉光放电。该异常辉光 放电的产生成为产生金属污染的主要原因。在本实施形态中，在导电膜14的外 周部分形成台阶的部分，遍及整个外周覆盖绝缘保护膜16。因此能够防止在边 缘部分产生异常辉光放电，能够防止产生金属污染。
其它结构与实施形态8相同。
实施形态11
图17为表示本发明实施形态11的臭氧发生器的高压电极3及电介质5的 侧视图。在本实施形态中，在遍及导电性粘结剂15外周部分中形成台阶的部分 上，覆盖绝缘保护膜16。因此，能够防止在导电性粘结剂15的边缘部分产生 的异常辉光放电，能够防止产生金属污染。其它结构与实施形态9相同。
实施形态12
在本实施形态中，高压电极3的外径小于电介质5的外径及设置在电介质 5表面的导电膜14的外径。其它结构与实施形态8相同。
由于使高压电极3的外径小于电介质5及导电膜14的外径，因而不会产生 异常辉光放电，能够防止金属污染。在导电膜14的外径小于高压电极3时，在 高压电极3与电介质5之间要产生放电，成为产生金属污染的主要原因。
实施形态13
采用图2对于本实施形态进行说明。在图2中，臭氧发生器电极10具有： 平板状的低压电极7；与低压电极7的主表面相对的平板状的高压电极3；设置 在低压电极7与高压电极3之间的平板状的电介质5以及用于在叠层方向上形 成厚度小的放电间隙6的未图示的衬垫。
臭氧发生器电极101还具有在高压电极3的内部形成与高压电极3绝缘的 冷却水通路的高压电极冷却单元2。
而且，臭氧发生器电极101使得在低压电极7与高压电极3之间施加交流 电压并在注入氧气的放电间隙6中产生放电并产生臭氧气体。
臭氧发生器电极101还具有与低压电极7相邻设置的、形成冷却水通路9 或者臭氧气体通路8的总管块状体23，所述冷却水通路9与设置在低压电极7 上的冷却水通路9连接，所述臭氧气体通路8与设置在低压电极7上的臭氧气 体通路8连接。
在放电间隙6被变换成臭氧的臭氧气体从低压电极7的中心部分通过低压 电极7内的臭氧气体通路8而导向低压电极7的一侧端部。在低压电极7中， 除去臭氧气体通路8之外，为了提高臭氧产生效率，设置冷却水通路9。在低 压电极7一侧端部上，与臭氧气体通路同样地设置冷却水出入用的沿叠层方向 延伸的冷却水出入口。然后，在上下相邻的2个低压电极7之间插入总管块状 体23，通过该总管块状体23连通形成在2个低压电极7上的臭氧气体通路8 以及冷却水通路9。根据这样的构造，能够将臭氧气体的出口以及冷却水的出 入口会集到一处，则能够获得小型、轻量、部件少且质量高的装置。
实施形态14
图18为表示本发明实施形态14的臭氧发生器的总管块状体23剖面图。 总管块状体23沿叠层方向分为2个构件，即上侧总管块状体23a及下侧总管 块状体23b。在两者中，在叠层方向上贯通地形成臭氧气体通路8及冷却水通 路9。这些臭氧气体通路8及冷却水通路9，与设置在低压电极7中的臭氧气 体通路8及冷却水通路9连通。
在下侧总管块状体23b中，形成包围臭氧气体通路8及冷却水通路9而设 置的面向图的上方并竖立的圆筒部分。另外，上侧总管块状体23a具有该圆筒 部分能插入的凹孔。在该凹孔的中心形成臭氧气体通路8及冷却水通路9。该 圆筒部分与凹孔具有沿叠层方向能够滑动的间隙，就像汽缸与活塞的关系那样 进行配合。然后，在该圆筒部分与凹孔之间为保持气密性，设置O形圈23c。 另外，在上侧总管块状体23a与下侧总管块状体23b之间设置盘形弹簧23d， 使得在叠层方向有弹性。本实施形态的总管块状体23由于具有这样的结构， 因此具有与设置在低压电极7中的臭氧气体通路8及冷却水通路9连通的、沿 叠层方向延伸的通路，同时在电极叠层方向上可进行伸缩。
如实施形态1所述，为了提高臭氧发生效率，还必须提高放电间隙6的精 度。因此，通过提高放电间隙6形成用衬垫的高度的精度，再将整个电极用电 极压板22及固紧螺栓21固紧在底座24上，这样使放电间隙6的精度提高。 但是，与总管块状体23相邻地设置低压电极7及电极冷却板1，若与总管块状 体23的连接力强时，则对电极固紧产生恶劣影响，有可能无法保持放电间隙6 的精度。
即，例如实施形态2的图2所示，在图2的右侧，叠层包括高压电极3及 低压电极7在内的多个构件，并用固紧螺栓21在底座24上固紧。然后，在该 叠层体中利用放电间隙6形成用衬垫形成放电间隙6。另外，在该叠层体中， 由于多个构件叠层，因此各构件的尺寸误差会积累，在纵方向上将产生一定程 度的误差。而且，低压电极7例如是由不锈钢等制成的刚性体。因此，即使无 论如何以高精度制成夹在低压电极7之间的块状体，但由于叠层体在纵方向的 误差，低压电极7要产生变形。若产生该变形，则不可能以高精度形成放电间 隙6。与上不同的是，本实施形态的总管块状体23具有在电极叠层方向上有弹 性的结构。因此，能够吸收叠层体在纵方向的误差，能够高精度地形成放电间 隙6。
根据上述情况，在本实施形态中，由于设置了形成冷却水通路9或者臭氧 气体通路8的总管块状体23，所述冷却水通路9相互连接设置在各电极中的冷 却水通路9，所述臭氧气体通路8与臭氧气筒通路8连接，因此，能够减少设 置冷却水用管道的空间或设置取出臭氧气体用的管道的空间，能够实现装置的 小型化、减轻重量、减少零部件数量及提高装置质量。
另外，总管块状体23具有在电极的叠层上方向有弹性功能的弹性结构。 因此，总管块状体23可以消除因固紧产生的对放电间隙的恶劣影响，能够提 高放电间隙的精度。
实施形态15
图19为表示本发明实施形态15的臭氧发生器的低压电极7的俯视图。图 20为沿图19的I-I向的箭头方向的剖面图。本实施形态涉及形成放电间隙6 的放电间隙用衬垫7c的配置。在2个电极7a及7b的单侧主表面上预先利用 蚀刻或机械加工而形成深度数mm的沟槽。然后，将该沟槽相对，形成臭氧气 体通路8及冷却水通路9。在相邻的沟槽与沟槽之间，设置将通路隔开的筋条 7d。然后，本实施形态的放电间隙用衬垫7c配置在与筋条7d相对的位置上。 即放电间隙用衬垫7c配置在低压电极7的与放电气隙6相对的面上，配置在 沿叠层方向上透过筋条的位置上。
在低压电极7的内部，在遍及整个面上形成冷却水通路9。而且，为了尽 量增大该冷却水通路9的面积，使得通路隔开的筋条7d的厚度尽量薄，另外， 对于形成放电间隙6的放电间隙用衬垫7c，为了增大放电间隙6，希望其直径 尽可能小。低压电极7是用不锈钢等制成的，但整体上形成薄的刚体，当在叠 层方向施力时，有筋条7d的部分不易变形，而没有筋条7d的部位容易变形。 即产生凹陷。本实施形态的放电间隙用衬垫7c，由于配置在与筋条7d相对的 位置，因此低压电极7几乎不变形。结果，能够抑制放电间隙6的变形，能够 形成高精度的放电间隙6。
根据上述情况，在本实施形态中，将衬垫7c配置在低压电极7的与形成 冷却水通路9的筋条7d相对的位置上。因此，低压电极7不会产生变形，能 够消除因电极固紧所产生的对放电间隙6的恶劣影响，能够提高臭氧发生效率。
实施形态16
图21为表示本发明实施形态16的臭氧发生器的臭氧发生器电极的具体剖 面图。在本实施形态中，具有向低压电极7覆盖电介质膜13的实施形态5的 结构、用导电膜14覆盖电介质5的一面的实施形态8的结构、以及用总管块 状体23夹住低压电极7的实施形态13的结构。
因此，能够形成不产生金属污染、生成纯净臭氧的放电间隙6，同时能够 提高放电间隙6的冷却性。
实施形态17
下面用图1及图2说明本实施形态。本实施形态的臭氧发生器电极101如 图2所示，将电极组件102如图1中N-1、N-2、N-3、N-4所示那样，全部由4 个叠层而构成，所述电极组件102具有：平板状的低压电极7；与低压电极7 的主表面相对设置的平板状的高压电极3；设置在低压电极7与高压电极3之 间的平板状的电介质5及用于在叠层方向上形成厚度小的放电间隙6的未图示 的衬垫；在高压电极3的内部形成与高压电极3绝缘的冷却水通路的高压电极 冷却单元2。
这样，在本实施形态中，由于将多个电极组件102叠层，因此能够增大容 量，同时构成紧凑的装置。
另外，在本实施形态中，叠层了4个电极组件102，但若叠层不限于4个 的多个电极组件102，也能够得到同样的效果。
实施形态18
图22是从上方观察表示本发明实施形态18的臭氧发生器的电介质5时的 图。在低压电极7与高压电极3之间，通过电介质5使得产生放电并生成臭氧。 另一方面，在低压电极7内，形成从中央部分沿电压电极7单侧端部延伸的臭 氧气体通路8。冷却水巡回低压电极7的其他部分并进行冷却，而在臭氧气体 通路8的部分上没有流过冷却水而不能够很好地进行冷却。因此，在该臭氧气 体通路8的部分上温度上升。这样，在该部分上生成的臭氧，由于该温度的上 升而分解。
在本实施形态中，采用能够区分成不引起放电的区域与引起放电的区域的 特殊导电膜14a。将特殊导电膜14a设置在除去与臭氧气体通路8相对部分的 电介质5的整个面上。即，在本实施形态中，仅在臭氧气体通路8上施加导电 膜，通过使得为非放电区域，能够抑制臭氧气体的上升，形成不会引起臭氧气 体分解的构造。
如此，在本实施形态中，将导电膜14a设置在与形成在低压电极7的臭氧 气体通路8相对位置以外的部分上。因此，导电膜没有存在于低压电极7的臭 氧气体通路8上，在臭氧气体通路8上不会引起因放电引起的发热，所生成的 臭氧气体不会产生分解，能够获得高效的装置。
实施形态19
图23是表示本发明实施形态19的臭氧气体发生器的电压电极7的俯视图。 图24是表示沿图23的J-J线的箭头方向的剖视图。本实施形态涉及形成放 电间隙6的放电间隙用衬垫的配置。在低压电极7与高压电极3之间，通过电 介质5使得产生放电并生成臭氧气体。另一方面，在电压电极7内，形成从中 心部分沿低压电极7的单侧端部延伸的臭氧气体通路8。低压电极7的其他部 分流过冷却水并被冷却，而在臭氧气体通路8没有流过冷却水，则不能够良好 地进行冷却。因此，在该臭氧气体通路8的部分上温度上升。因此，在该部分 生成的臭氧气体会因温度上升而发生分解。
在本实施形态中，为使得在与臭氧气体通路8相对的部分不进行放电，而 设置了覆盖与臭氧气体通路8相对的整个部分的陶瓷电介质非放电用衬垫 13a2。在其他进行放电的部分上，设置与上述它6相同的陶瓷电介质放电间隙 形成用衬垫13a1。在本实施形态中，为了不使得在臭氧气体通路8上进行放电， 设置覆盖与臭氧气体通路8相对的所有部分的陶瓷电介质非放电用衬垫13a2， 作为非放电区域，由此，能够获得抑制臭氧气体温度上升并不会使得臭氧分解 的构造。
即，在本实施形态中，衬垫由放电间隙形成用衬垫13a1与非放电用衬垫 13a2形成，所述放电间隙形成用衬垫13a1设置在与形成在低压电极7的臭氧 气体通路8相对的位置以外的部分上并且形成放电间隙6，所述非放电用衬垫 13a2设置在形成在低压电极7的臭氧气体通路8所相对的位置上并且没有留有 放电间隙6的固定的空间。因此，在臭氧气体通路8上，不会产生放电引起的 发热，所生成的臭氧气体不会分解，能够获得高效的装置。
在本发明的臭氧发生器中，具有：平板状的低压电极；分别与低压电极主 表面相对的平板状的高压电极；设置在低压电极与高压电极之间的平板状的电 介质及用于在叠层方向上形成厚度小的放电间隙的衬垫；以及在高压电极的内 部形成与高压电极绝缘的冷却水通路的高压电极冷却单元，使得在低压电极与 高压电极之间施加交流电压，在注入氧气的放电间隙产生放电，并使得产生臭 氧气体。因此，能够提高放电间隙的冷却效率，另外能够有效地降低放电间隙 的温度。这样，能够不降低臭氧发生效率，而提高功率密度，能够减少电极组 件数量能够力图实现装置小型化及降低价格。再有，由于用高压电极冷却单元 冷却高压电极，因此作为冷却水也可以不使用电导率小的离子交换水等，可以 使用一般的自来作冷却水。所以，不需要电导率监视装置及离子交换水循环设 备，能够由于减少装置构成数量而实现降低价格及减少维持费用。
又，高压电极冷却单元具有：插入到贯通高压电极的通孔中的高热传导率、 高电气绝缘性的流管；以及填充在流管与通孔之间的、用于将流管固定在通孔 中的高热传导率的热传导性粘合剂。因此，作为冷却水也可以不使用电导率小 的离子交换水等，可以使用一般的自来水作冷却水。所以，不需要电导率监视 装置及离子交换水循环设备，能够由于减少装置构成数量而实现降低价格及减 少维持费用。
又，与高压电极的主表面平行地并列设置多条流管。因此，能够高效地冷 却平板状的高压电极。
另外，低压电极是将主表面形成沟槽的2片以上金属制平板使沟槽相对贴 合而制成，通过这样在内部形成臭氧气体通路及冷却水通路。因此，能够减小 低压电极的厚度，实现装置小型化。另外，由于不需要冷却水及臭氧气体取出 用管道，因此能够提供一种简单组装及分解、廉价的臭氧发生器。
另外，金属制平板仅通过加热及加压贴合而成。因此，不产生因臭氧导致 的粘合剂的腐蚀，能够形成寿命长、可靠性高的臭氧发生器。
另外，低压电极的与放电间隙相对的主表面用无机物形成的电介质膜覆 盖。因此，该结构的放电间隙全部用无机物包围，能够抑制因放电产生的金属 飞溅而导致的金属污染，能够提供产生纯净臭氧气体的臭氧发生器。
另外，电介质膜用陶瓷材料制成。因此，能够利用喷涂方式容易形成，另 外能够控制膜厚为数μm。再有，利用该喷涂方式还能够同时形成陶瓷电介质 放电间隙用衬垫。
另外，电介质膜用玻璃材料制成。因此，能够利用粘结剂将石英材料的玻 璃板贴在低压电极上，这样容易形成电介质膜。另外，在将该玻璃板贴在低压 电极上之前，利用掩膜进行喷砂处理，通过这样能够容易形成突起的玻璃电介 质放电间隙用衬垫。
另外，电介质的与高压电极相对的主表面被具有导电性的导电膜覆盖，导 电膜与高压电极接触。因此，该结构使用导电膜覆盖电介质的单面，使得用该 导电膜覆盖的面与高压电极贴紧，根据该结构，即使高压电极与电介质之间存 在间隙，但高压电极的电位与导电膜为同电位，因此能够消除局部放电，能够 防止产生金属污染。另外，由于仅通过简单的压接就能够将高压电极与电介质 接合，因此能够容易组装及分解，对于零部件的再生利用也有效果。
另外，电介质与高压电极用导电性粘结剂贴合。因此，能够消除电介质与 高压电极之间的间隙，防止局部放电，能够防止产生金属污染。
另外，导电膜的外周边缘部分用无机物形成的绝缘保护膜覆盖。因此，能 够抑制在导电膜的外周边缘部分产生的异常辉光放电，能够防止产生金属污 染。
另外，导电性粘结剂的外周边缘部分用无机物形成的绝缘保护膜覆盖。因 此，能够抑制在导电性粘结剂的外周边缘部分产生的异常辉光放电，能够防止 产生金属污染。
另外，高压电极的外径小于电介质的外径。因此，能够消除异常辉光放电， 防止产生金属污染。另外，能够抑制电介质损伤，能够提供电介质寿命长、可 靠性高的臭氧发生器。
另外，高压电极的外径小于覆盖电介质的导电膜的外径。因此，能够更进 一步消除异常辉光放电，防止产生金属污染。另外，能够更进一步抑制电介质 损伤，能够提供电介质寿命长、可靠性高的臭氧发生器。
又，具备与低压电极相邻设置的、形成与设置在该低压电极的冷却水通路 连接的冷却水通路或者与设置在该低压电极的臭氧气体通路连接的臭氧气体 通路的总管块状体。因此，能够减少设置冷却水用管道的空间及设置取出臭氧 气体用管道的空间，能够实现装置小型化、减轻重量、减少零部件数量及提高 装置质量。
又，总管块状体具有在低压电极、高压电极的叠层方向上有弹性功能的弹 性结构。因此，能够消除总管块状体因固紧而产生的对放电间隙的间隙长度的 不良影响，能够提高放电间隙的精度。
又，将衬垫配置在与低压电极的用于形成冷却水通路的筋条相对的位置 上。因此，低压电极不会产生变形，结果，能够抑制放电间隙的变形，并且能 够形成高精度的放电间隙。
又，在本发明的臭氧发生器中，具有：平板状的低压电极；与低压电极的 主面相对的高压电极；设置在低压电极与高压电极之间的平板状的电介质及用 于在叠层方向上形成厚度小的放电间隙的衬垫；在高压电极的内部形成与该高 压电极绝缘的冷却水通路的高压电极冷却单元；以及与低压电极相邻设置的、 形成与设置在该低压电极的冷却水通路连接的冷却水通路或者与设置在该低 压电极的臭氧气体通路连接的臭氧气体通路的总管块状体，低压电极的与放电 间隙相对的主表面被无机物形成的电介质膜覆盖，电介质的与高压电极相对的 主表面被具有导电性的导电膜覆盖，导电膜与该高压电极接触。因此能够形成 不产生金属污染、生成纯净的臭氧的放电间隙，能够提高放电间隙的冷却性。
又，将多个具有低压电极、高压电极、电介质、衬垫以及高压电极冷却单 元的电极组件叠层。因此，能够利用电极组件的叠层数来改变装置的容量，能 够容易增大容量，另外即使增大容量，也能够形成紧凑的装置。
又，在相对于形成在电压电极中的臭氧气体通路位置以外的部分上，设置 导电膜。因此，在低压电极的臭氧气体通路上不存在导电膜，故在臭氧气体通 路上不会产生因放电引起的发热，故生成的臭氧气体不会分解，能够提供一种 高效的装置。
又，衬垫由放电间隙形成用衬垫与非放电用衬垫形成，放电间隙形成用衬 垫设置在与形成在低压电极的臭氧气体通路相对的位置以外的部分上并且形 成放电空间，非放电用衬垫设置在与形成在低压电极的臭氧气体通路相对的位 置上并未留有放电间隙的规定空间。因此，在臭氧气体通路上不会产生放电引 起的发热，生成的臭氧气体不会分解，能够提供一种高效的装置。