硅片移动托架的升降机构
专利汇可以提供硅片移动托架的升降机构专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种无网带高效 烧结 炉中的 硅 片 移动托架的升降机构，包括 水 平 推杆 、摆杆、 转轴 、偏心轮、滚轮、 轴承 座、 耳 座、活动台和固定 底板 ，转轴通过轴承座安装在固定底板上，偏心轮固定安装在转轴上，摆杆的上端固定安装在转轴上，转轴可转动地安装在固定底板上，摆杆的下端与水平推杆铰接，滚轮可转动地安装活动板的下端面上，滚轮通过耳座固定在活动板上，滚轮与偏心轮相 接触 。当水平推杆左右平移时，摆杆带动转轴左右摆转，由于偏心轮固定安装在转轴上，偏心轮也会之摆转，从而带动活动板往复升降运动，满足了移动托架相对于固定托架的升降动作要求。，下面是硅片移动托架的升降机构专利的具体信息内容。
1.一种硅片移动托架的升降机构，其特征是：包括水平推杆（61）、摆杆（62）、转轴（63）、轴承座（64）、偏心轮（65）、滚轮（66）、耳座（67）、活动板（15、35）和固定底板（11、
31），转轴（63）通过轴承座（64）安装在固定底板（11、31）上，偏心轮（65）固定安装在转轴（63）上，摆杆（62）的上端固定安装在转轴（63）上，转轴（63）可转动地安装在固定底板（11、
31）上，摆杆（62）的下端与水平推杆（61）铰接，滚轮（66）通过耳座（67）固定在活动板（15、
35）的下端面上，滚轮（66）与偏心轮（65）相接触，所述活动板（15、35），与固定底板（11、31）之间通过导向杆（13、33）与导向套（14、34）的套装配合结构相连接。
硅片移动托架的升降机构
技术领域：
12、32，导向杆13、33，导向套14、34，活动板15、35，滑轨16、36和滑动板17、37，活动板15、
35与固定底板11、31之间通过导向杆13、33与导向套14、34的套装配合结构相连接，滑轨
16、36固定在活动板15、35上，滑动板17、37套装在滑轨16、36上，在固定底板11、31和活动板15、35之间设有往复升降机构，固定底板11、31安装在炉体架5上，在固定底板11、31与滑动板17、37之间设有往复平移机构7，如图3、图4、图5所示，往复升降机构带动活动板15、35相对于固定底板11、31周期性地完成上升和下降动作，往复平移机构7带动滑动板17、37相对于活动板15、35周期性地完成前移和后移动作，如图3所示。由此可知，往复升降机构和往复平移机构7是无网带高效烧结炉中的核心驱动机构。
发明内容：
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