专利汇可以提供导轨滚转角的非接触激光检测方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开的一种 导轨 滚转 角 的非 接触 激光检测方法,按以下步骤进行:采用一检测装置,以 激光器 发出的线偏振激光为探测光,探测光射入敏感元件1/2波片,经1/2波片后射向直角棱镜;探测光经直角棱镜反射,得到与入射光束平行的逆向光束,该逆向光束再次通过1/2波片后射入偏振分光镜,偏振分光镜的两束出射光分别射入两光电探测器,产生反映光强的 电流 信号 ;电流信号经 信号处理 电路 后得到反映两束光光强差的 电压 信号,电压信号经计算机处理得到反映被测导轨滚转角的大小和方向。本发明方法可用于采用 直线导轨 的加工或测量设备,以实现其直线导轨滚转角的动、静态检测,该测量方法具有较高的检测 精度 。,下面是导轨滚转角的非接触激光检测方法专利的具体信息内容。
1.一种导轨滚转角的非接触激光检测方法,具体按以下步骤进行:
步骤1:采用一检测装置,该检测装置采用1/2波片作为敏感元件、1/2波片随工作台沿被测的直线导轨运动,以检测装置中的激光器发出的线偏振激光为探测光,该线偏振激光射入沿光束方向设置的1/2波片,通过1/2波片后射入设置于1/2波片后的直角棱镜;
步骤2:射入直角棱镜的线偏振激光经其反射后,形成与入射光束平行的逆向探测光并出射,该逆向探测光再次射入1/2波片;
步骤3:逆向探测光再次透过1/2波片后,射入沿逆向探测光方向设置的偏振分光镜,偏振分光镜将入射的逆向探测光分成两束分光,该两束分光分别射入沿分光光束射出方向设置的两个光电探测器;
步骤4:两光电探测器分别产生反映各自入射光光强的电流信号,并送入与两光电探测器相连接的信号处理电路;
步骤5:信号处理电路对来自光电探测器的电流信号进行处理,得到反映偏振分光镜两束出射分光束光强差的电压信号U0;
步骤6:信号处理电路将得到的电压信号U0送入与其相连接的计算机,经计算机处理后得到被测导轨滚转角的大小和方向。
本发明属于光电检测技术领域,涉及一种导轨运动副误差的检测方法,具体涉及一种导轨滚转角的非接触激光检测方法。
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