多环联结形均压槽气体静压导轨
专利汇可以提供多环联结形均压槽气体静压导轨专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种多环联结形均压槽气体静压 导轨 。在气体静压导轨的一个工作面上，开设2个或3个相切的等径的圆环形均压槽，与其相配合的气体静压导轨的另一个工作面为平面，均压槽所在工作面上开有一个节流孔。采用本发明能使导轨气膜振幅降低至传统气体静压导轨气膜振幅的80%以下。本发明适用于精密气体静压导轨，尤其适用于超精密、纳米气体静压导轨。，下面是多环联结形均压槽气体静压导轨专利的具体信息内容。
1.一种多环联结形均压槽气体静压导轨，其特征在于：在气体静压导轨的 一个工作面上，开设2个相切的等径的圆环形均压槽，均压槽深度为0-0.25mm， 宽度为0.1-0.4mm，在两个圆环相切的切点上设有一个直径小于1毫米的节流孔， 与其相配合的气体静压导轨的另一个工作面为平面。
2.根据权利要求1所述的一种多环联结形均压槽气体静压导轨，其特征在 于：所述的圆环形均压槽相切为两个圆环的外环相切或两个圆环的内环与外环 间的中心线相切。
3.一种多环联结形均压槽气体静压导轨，其特征在于：在气体静压导轨的 一个工作面上，开设3个两两相切的等径的圆环形均压槽，均压槽深度为 0-0.25mm，宽度为0.1-0.4mm，且三圆环中心区域导通为均压腔，均压腔中心点 上设有一个直径小于1毫米的节流孔，与其相配合的气体静压导轨的另一个工 作面为平面。
4.根据权利要求3所述的一种多环联结形均压槽气体静压导轨，其特征在 于：所述的圆环形均压槽相切为三个圆环的外环相切或三个圆环的内环与外环 间的中心线相切。
技术领域
本发明涉及一种气体静压导轨，尤其是涉及一种多环联结形均压槽气体静 压导轨。
背景技术
气体静压导轨产生振动的原因很复杂，影响其振动的主要因素有：节流孔 孔径、节流孔结构形式、供气压力、气膜厚度等。复合节流法(即在工作面表 面开设均压槽，集小孔节流与表面节流方式于一体)可减小气膜振动。但均压 槽的形状不同对气膜自激振动影响的程度也不同。目前国内外气体静压导轨普 遍采用矩形、圆形、单个环形均压槽。这些形状的均压槽，在抑制气膜自激振 动上均有一定限度，无法使气膜振幅减小至纳米级精度或更低。
发明内容
为达到上述目的，本发明采用的技术方案：
技术方案1：一种多环联结形均压槽气体静压导轨
在气体静压导轨的一个工作面上，开设2个相切的等径的圆环形均压槽， 在两个圆环相切的切点上设有一个直径小于1毫米的节流孔，与其相配合的气 体静压导轨的另一个工作面为平面。
所述的圆环形均压槽相切为两个圆环的外环相切或两个圆环的内环与外环 间的中心线相切。
技术方案2：一种多环联结形均压槽气体静压导轨
在气体静压导轨的一个工作面上，开设3个两两相切的等径的圆环形均压 槽，且三圆环中心区域导通为均压腔，均压腔中心点上设有一个直径小于1毫 米的节流孔，与其相配合的气体静压导轨的另一个工作面为平面。
所述的圆环形均压槽相切为三个圆环的外环相切或三个圆环的内环与外环 间的中心线相切。
本发明具有的有益效果是：
本发明使得导轨气膜振幅降低至传统气体静压导轨气膜振幅的80％以下。 适用于精密气体静压导轨，尤其适用于超精密、纳米气体静压导轨。
附图说明
图1是开有2个外环相切的圆环形均压槽的导轨的一个工作面示意图。
图2是开有2个外环相切的圆环形均压槽的导轨示意图。
图3是开有2个中心线相切的圆环形均压槽的导轨的一个工作面示意图。
图4是开有2个中心线相切的圆环形均压槽的导轨示意图。
图5是开有3个外环相切的圆环形均压槽的导轨的一个工作面示意图。
图6是开有3个外环相切的圆环形均压槽的导轨示意图。
图7是节流孔的结构示意图。
图中：1.节流孔，2.圆环形均压槽，3.气体静压导轨的一个工作面，4.气体 静压导轨的另一个工作面，5.均压腔。
具体实施方式
如图3所示，将气体静压导轨的一个工作面3加工为光滑的平面，在气体 静压导轨的一个工作面3上，开设2个中心线相切的等径的圆环形均压槽2，在 两个圆环相切的切点上设置一个直径小于1毫米的节流孔1。如图4所示，将与 气体静压导轨的一个工作面3相配合的气体静压导轨的另一个工作面4加工为 光滑的平面，组成气体静压导轨运动副。
如图5所示，将气体静压导轨的一个工作面3加工为光滑的平面，在气体 静压导轨的一个工作面3上，开设3个外环相切的等径的圆环形均压槽2，且三 圆环中心区域导通为均压腔5，均压腔5中心点上方设有一个直径小于1毫米的 节流孔1。如图6所示，将与气体静压导轨的一个工作面3相配合的气体静压导 轨的另一个工作面4加工为光滑的平面，组成气体静压导轨运动副。
在上述的实施方式中，由于节流孔1尺寸很小，在图1-6中无法显示清楚， 节流孔1的结构如图7所示。气体静压导轨的节流孔1最好采用直径小于0.5毫 米的孔，若节流孔尺寸过大，外节流作用将显著减弱甚至消失。均压槽2的深 度最好小于0.5毫米，通常选取0-0.25毫米；均压槽2的宽度最好小于0.5毫米， 通常选取0.1-0.4毫米。综合考虑载重力，供气压力，节流孔孔径、导轨工作面 尺寸等参数的相互关系，具体选择节流孔孔径及均压槽的尺寸、结构。
本发明的实施工艺：
按照上述实施方式，加工气体静压导轨。将具有一定压力的空气经过节流 孔送入气体静压导轨间隙，借助其静压使导轨悬浮起来，导轨面之间形成一层 极薄的气膜，实现导轨纯空气摩擦的直线运动。对比传统气体静压导轨，气膜 振幅将显著降低，提高导轨的定位精度。
上述具体实施方式用来解释说明本发明，而不是对本发明进行限制，在本 发明的精神和权利要求的保护范围内，对本发明作出的任何修改和改变，都落 入本发明的保护范围。
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