本发明的技术解决问题是：克服上述现有技术的不足，提供一种结构极其 简单，成本又低的圆弧导轨納米压印倾斜校正机构，该倾斜校正机构在压模下 压后既能自动调整压模图形平面和被压基片平面平行贴合，又不会在压才莫下压 中产生压模和基片的相对橫向方向上微位移，套压精度高，压印出高精度的纳 米图形。
本发明的技术解决方案是：圆弧导轨纳米压印倾斜校正机构，其特点在于：它由上圓孤导轨、中圓孤导轨、下圆弧导轨、限位外套、压模卡盘、'压模、基 片、钢球或滚柱、上下隔离架、拉簧和拉簧桂销组成，上中下圓弧导轨之间有
钢球或滚柱，4个拉簧的两端挂钩分别挂在安装在上圓弧导轨和下圆弧导轨上 的各4个拉簧挂销上，下圆弧导轨与压模卡盘相接，压模装于压模卡盘内，正 对压模的下方是基片，上隔离架位于上圆弧导轨和中圓弧导轨之间，由中圆弧 导轨或钢球支撑，下隔离架位于中圆弧导轨和下圓弧导轨之间，由下圆弧导轨 或钢球支撑，钢球或滚柱位于各隔离架内，限位外套安装在上圓弧导轨上，限 位外套的下方四周对下圆弧导轨的旋转角度范围起限位作用；当压模和基片由 于不平行，在压模下压接触基片时，压模可绕过压模下表面中心点的丫或X轴 线作滚动微旋转，达到压模和基片的完全平行贴合与压紧，不产生对准偏离， 也不在水平面内旋转。
所述的上圆孤导轨的导轨圆弧MyMy圓心为O点，下圆弧导轨的导轨圓弧
MxMx圓心也为O点，中圆弧导轨包含了两个互相垂直方向的上下面两个圓弧 导轨，其上下面导轨的圓弧MyMy和MxMx圆心也为O点，不少于10个的钢球
可在由上圆弧导轨和中圆弧导轨的上面圓弧导轨组成的导轨槽内滚动，也能在 由中圆弧导轨的下面圆弧导轨和下圆弧导轨组成的导轨槽内滚动，使中下圓弧
导轨绕过上圆弧导轨圆心O点的直线AXAX (即X轴线）沿圆弧MyMy作tAa角 微滚动旋转，也使下圆弧导轨绕过下圆弧导轨圆心O点的直线AyAy (即Y轴 轴线）沿圓弧MXMX作1A(3角微滚动旋转，其中厶a和厶p为微旋转角，旋转圆 心O和压模的下表面中心点重合，当压模和基片由于不平行，在压模下压先接 触处产生一转动力矩时，压模可绕过O点的Y或X轴线作微滚动旋转，此时， 在X (或Y)方向上压模边缘的最大偏离为：
Ax= OAx "OAx |cosa々|
厶y- OAy -OAy lcos厶"l
拉簧不仅将上中下三个圓孤导轨拉紧在 一起，使中下圓弧导轨及压模不会 下落，同时在微旋转时保证Z向无间隙，上中下三个圆弧导轨的导轨截面是上下正V型钢球滚动导轨截面，钢球只能在圃弧导轨V型槽内沿圆弧导轨弧线 甲y (MXMX)滚动。
所述的上中下三个圆弧导轨的导轨截面均为左右侧V型钢球滚动导轨截 面，中下圓弧导轨及压模自身不会下落，4个拉簧只是使圆弧导轨在微旋转时 保证Z向无间隙，钢球只能在圓弧导轨V型槽内沿圓弧导轨弧线MyMy (MXMX) 滚动，不夹杂其它运动。
所述的上中下三个圆弧导轨的导轨截面为左右侧V型滚柱滚动导轨截面， 4个拉簧只是使圆弧导轨在樹:旋转时保证Z向无间隙，滚柱只能在圆弧导轨V 型槽内沿圆弧导轨孤线MyMy (MXMX)滚动，不夹杂其它运动，机构承受下压 力大。
所述的上中下三个圆弧导轨的导轨截面均为上下V型滚柱滚动导轨截面， 4个拉簧不仅将上中下三个圓弧导轨拉紧在一起，同时在微旋转时保证Z向无 间隙，滚柱只能在圆弧导轨V型槽内沿圆弧导轨弧线MyMy (MXMX)滚动，不 夹杂其它运动，机构承受下压力大。
本发明与现有技术相比具有以下优点：
1、 该倾斜校正机构从结构原理上分析，不存在下压后自动找两个面平行 的过程中产生横向微位移，因为压模的旋转中心真正做到了位于压模下表面即 图形面的中心，不像多铰链纳米压印压模倾斜校正机构的旋转中心是近似位于 压模下表面的中心，在下压后的理论横向位移为零，其实际横向位移只与钢球 精度及圆弧导轨精度有关，其量很小,重复性更好；
2、 该倾斜校正机构在下压中，因为压模和基片两个面的不平行，在某处 先接触而产生的转动力矩非常小，因它的微旋转校正是滚动旋转，所需转动力 几乎为零，而这个非常小的力的方向又垂直基片平面，使基片与压模相互压紧 而移动的橫向力也为零，因此非常有利于保持纳米图形的已对准状态，使纳米 压印套准精度更高，制作出更复杂多层的小尺寸纳米图形结构；
3、 应用该倾斜校正机构来校正纳米压印机下压中两平面的不平行，不产生横向水平平移的同时，还不会产生水平面内微旋转，有利于保持原有的对准
精度；
4、 该倾斜校正机构由于用了滚柱滚动，承受下压力可以达到非常大，很
适合大面积压印的压印设备应用；
5、 该结构更为简单，加工工艺也较为简单，用传统精密车床和精密镗床 就可完成加工，制作成本低廉，易于推广应用。
附田说明
图1为本发明实施例1圆弧导轨滚动倾斜校正机构结构图； 图2为本发明实施例1圆弧导轨滚动倾斜校正机构侧视剖面图； 图3为本发明实施例1倾斜校正原理示意图； 图4为本发明实施例2倾斜校正机构结构图； 图5为本发明实施例2倾斜校正机构侧视剖面图； 图6为本发明实施例3倾斜校正机构结构图； 图7为本发明实施例3倾斜校正机构侧视剖面图； 图8为本发明实施例4倾斜校正机构结构图； 图9为本发明实施例4倾斜校正机构侧^f见剖面图。 具体实施方式
如图1、 2所示，是本发明实施例1圆孤导轨倾斜校正机构图和侧视剖面 图，它由上圆弧导轨1、中圆弧导轨2、下圓弧导轨3、限位外套4、压模卡盘 5、压模6、基片7、钢球8、上隔离架9、下隔离架10、拉簧11和拉簧挂销 12组成，上圓弧导轨1通过钢球8与中圓弧导轨2相接，上隔离架9位于上圆 弧导轨1和中圆弧导轨2之间，由中圓弧导轨2支撑，是一个两边具有不少于 10个可均匀容纳钢球8圆孔的水平方向矩形薄环柱片，将钢球8相互隔离开， 中圆弧导轨2也通过钢球8与下圆弧导轨3相接，下隔离架10位于中圆弧导 轨2和下圆弧导轨3之间，由下圆弧导轨3支撑，同样也是一个两边具有不少 于10个可均匀容纳钢球8圆孔的水平方向矩形薄环柱片，将钢球8相互隔离开，4个拉簧11的两端挂钩分别挂在安装在上圆孤导轨1和下圆孤导轨3上的 各4个拉黃桂销12上，下圓弧导轨3与压模卡盘5相接，压模6装于压模卡 盘5内，正对压模6的下方是基片7,限位外套4安装在上圆弧导轨1上，限 位外套4的下方四周对外形为矩形的下圆弧导轨3的旋转角度范围起限位作 用。由上向下看，上中下圆弧导轨外形均为矩形，内部也均开矩形通孔。上圓 弧导轨1的导轨圆弧MyMy圓心为O点，下圆弧导轨3的导轨圓弧MxMx圓心 也为O点，中圆弧导轨2包含了两个互相垂直方向的上下面两个圆弧导轨，其 上下面导轨的圆弧MyMy和MxMx圆心也为O点，不少于10个钢球的钢球8可 在由上圓弧导轨1和中圆弧导轨2的上面圆弧导轨组成的导轨槽内滚动，也能 在由中圆弧导轨2的下面圓弧导轨和下圆弧导轨3组成的导轨槽内滚动，使中 下圓弧导轨（包括相接的压模6和压模卡盘5)绕过上圓弧导轨圆心O点的直 线AXAX (即X轴线）沿圓弧MyMy作土Aa角微滚动旋转，也使下圓'弧导轨3 (包 括相接的压模6及压模卡盘5)绕过下圓弧导轨圆心O点的直线AyAy (即Y轴 轴线）沿圆弧MxMx作土厶P角微滚动旋转，由于在结构上已预先设计达到圆心 0和压模6的下表面中心点精确重合，当压模6和基片7由于不平行(见图3)， 在压模6下压先接触处P产生一转动力矩时，压模6则可沿上面所述的圆弧 MyMy与MxMx绕过O点的Y或X轴线作微旋转，达到压模6和基片7的完全 平行贴合与压紧，因为是滚动旋转，不仅因接触而产生的转动力矩最小，而且 在下压的过程中还准确绕压模6的下表面中心O点作lAf3 (±Aa)微旋转，此 时，在x(或y)方向上压模边缘的最大偏离可从几何关系得到：
Ax= OAx -OAx |cosa"|
厶y- OAy -OAy lcos厶"l
由上面两式可知，Aa (Ap)微旋转角很小，cos厶〃和coSA"都趋向1, Ax (厶y)都是趋向于零的二阶微量，所以实际偏离量达到最小。 '
在图1和2中还可看到，由于4个拉簧11分别借助于固定在上圓弧导轨1 和下圆孤导轨3上的8个拉簧桂销12将上中下三个圆弧导轨拉紧在一起，使中下圃弧导轨及压模不会下落，同时在微旋转叶保证z向无间隙-，又由于上中
下三个圆弧导轨的导轨截面均为上下正V型钢球滚动截面，钢球8只能在圓弧 导轨V型槽内沿圓弧导轨弧线MyMy (MXMX)滚动，不会在水平面内有任何的 微旋转偏离。因此在压模6下压，由于微旋转调整而引起的压模6的水平微移 动和微转动为最小，同时也不夹杂其它运动，非常有利压模6和基片7图形下 压时的高精度套准。
如图4、 5所示，是本发明实施例2圆弧导轨倾斜校正机构图和侧视剖面 图，它由上圆弧导轨1、中圆弧导轨2、下圓弧导轨3、限位外套4、压模卡盘 5、压模6、基片7、钢球8、上隔离架9、下隔离架10、拉簧11和拉簧挂销 12组成，与上实施例1同样上圓弧导轨1通过钢球8与中圓弧导轨2相接，上 隔离架9位于上圆弧导轨1和中圓孤导轨2之间，由钢球8支撑，是一个两边 具有不少于10个可均匀容纳钢球8圓孔的矩形薄环圏，将钢球8相互隔离开， 中圆弧导轨2也通过钢球8与下圓弧导轨3相接，下隔离架10位于中圓弧导 轨2和下圓弧导轨3之间，由钢球8支撑，也是一个两边具有不少于10个可 均匀容纳钢球8圓孔的矩形薄环图，将钢球8相互隔离开，4个拉簧11的两端 挂钩分别挂在安装在上圓弧导轨1和下圆弧导轨3上的各4个拉簧挂销12上， 下圓弧导轨3与压模卡盘5相接。压模6装于压模卡盘5内，正对压模6的下 方是基片7,限位外套4安装在上圓弧导轨1上，限位外套4的下方四周对外 形为矩形的下圆弧导轨3的旋转角度范围起限位作用。由上向下看，上中下圆 弧导轨外形均为矩形，内部也均开矩形通孔。上圓弧导轨1的导轨圓弧MyMy 圆心为O点，下圆孤导轨3的圓弧导轨的圓弧MxMx圓心也为0点，中圓弧导 轨2包含了两个互相垂直方向的上下面两个圓弧导轨，其上下面导轨的圆弧 MyMy和MxMx圆心也为O点，不少于10个钢球的钢球8可在由上圓弧导轨1 和中圓弧导轨2的上面圓弧导轨组成的导轨槽内滚动，也能在由中圆弧导轨2 的下面圓弧导轨和下圆弧导轨3组成的导轨槽内滚动，使中下圆弧导轨（包括 相接的压模6和压模卡盘5 )绕过上圆弧导轨圆心O点的直线AXAX(即X轴线）沿闺孤MyMy作:tAa角微滚动旋转，也使下圆孤*3 (包括相接的压模6及 压模卡盘5)绕过下圆弧导轨圓心O点的直线AyAy(即Y轴轴线）沿圓弧MXMX 作iAP角微滚动旋转，上下圆弧导轨圆弧的圆心都为同一的O点，由于在结构 上已预先设计保证圆心O和压模6的下表面中心点精确重合，当压模6和基片 7由于不平行，在压模6下压先接触处产生一转动力矩时，压冲莫6则可沿上面 所述的圆弧MyMy与MxMx绕过O点的X或Y轴线作微旋转，达到压模6和基 片7的完全平行贴合与压紧，其产生的转动力矩最小，在x(或y)方向上偏离 由于都是趋向于零的二次微量，加上微旋转角本来就很小，所以实际偏离量也 是最小。
由图4和5还可看到，本实施例2上中下三个圆弧导轨的导轨截面均为左 右侧V型钢球滚动截面，中下圆弧导轨及压模自身不会下落，4个拉蒉11只是 使圆弧导轨在微旋转时保证Z向无间隙，同样钢球8只能在圆弧导轨V型槽内 沿圆弧导轨弧线MyMy (MXMX)滚动，不夹杂其它运动。
如图6、 7所示，是本发明实施例3圆弧导轨倾斜校正机构图和側视剖面 图，它由上圆弧导轨1、中圆弧导轨2、下圆弧导轨3、限位外套4、压模卡盘 5、压模6、基片7、滚柱13、上隔离架9、下隔离架10、拉簧11和拉簧挂销 12组成，与上实施例1同样上圆弧导轨1通过滚柱13与中圆弧导轨2相接， 上隔离架9位于上圆弧导轨1和中圆弧导轨2之间，由中圓弧导轨2支撑，是 一个两边具有不少于10个可均匀容纳滚柱13小矩形孔的矩形框，将滚柱13 相互隔离开，中圆弧导轨2也通过滚柱13与下圓弧导轨3相接，下隔离架10 位于中圓弧导轨2和下圆弧导轨3之间，由下圓弧导轨3支撑，也是一个两边 具有不少于10个可均匀容纳滚柱13小矩形孔的矩形框，将滚柱13相互隔离 开，4个拉簧11的两端挂钩分别挂在安装在上圆弧导轨1和下圆弧导轨3上的 各4个拉簧挂销12上，下圆弧导轨3与压模卡盘5相接，压模6装于压模卡 盘5内，正对压模6的下方是基片7,限位外套4安装在上圆弧导轨1上，它 的下方四周对外形为矩形的下圆弧导轨3的旋转角度范围起限位作用。由上向下看，上中下圆孤导轨外形均为矩形，内部也均开矩形通孔。上圓孤导轨1的
导轨圓弧MyMy圆心为0点，下圆弧导轨3的导轨圆弧MXMX圆心也为O点， 中圆弧导轨2包含了两个互相垂直方向的上下面两个圆弧导轨，其上下面导轨 圆弧MyMy和MXMX圆心也为0点，不少于10个滚柱的滚柱13可在由上圆弧 导轨1和中圆弧导轨2的上面圓弧导轨组成的导轨槽内滚动，也能在由中圆弧 导轨2的下面圓弧导轨和下圆弧导轨3组成的导轨槽内滚动，使中下圆弧导轨 (包括相接的压模6和压模卡盘5)绕过上圆弧导轨圆心O点的直线AXAX (即 X轴线）沿圓弧MyMy作:tAa角微滚动旋转，也使下圓弧导轨3 (包括相接的压 模6及压模卡盘5)绕过下圓弧导轨圆心O点的直线AyAy (即Y轴轴线）沿圓 弧MxMx作tA卩角微滚动旋转，上下圆弧导轨圓弧的圆心都为同一的O点，由 于在结构上已预先设计保证圆心O和压模6的下表面中心点精确重合，当压模 6和基片7由于不平行，在压模6下压先接触处产生一转动力矩时，压模6则 可沿上面所述的圆弧MyMy与MxMx绕过O点的X或Y轴线作微旋转，达到压 模6和基片7的完全平行贴合与压紧，其产生的转动力矩最小，在x(或y) 方向上偏离由于都是趋向于零的二次微量，加上微旋转角本来就很小，所以实 际偏离量也是最小。
由图6和7还可看到，本实施例3上中下三个圆弧导轨的导轨截面均为左 右侧V型滚柱滚动截面，中下圓弧导轨及压模自身不会下落，4个拉簧11只是 使圆弧导轨在微旋转时保证Z向无间隙，同样滚柱13只能在圓弧导轨V型槽 内沿圆弧导轨弧线MyMy (MXMX)滚动，不夹杂其它运动，由于是滚柱滚动， 承受下压力可以达到非常大，适合大面积压印的压印设备应用。
如图8、 9所示，是本发明实施例4圓弧导轨倾斜校正机构图和侧视剖面 图，它由上圆弧导轨1、中圆弧导轨2、下圓孤导轨3、限位外套4、压模卡盘 5、压模6、基片7、滚柱13、上隔离架9、下隔离架10、拉簧11和拉簧挂销 12组成，与上实施例1同样上圓弧导轨1通过滚柱13与中圆弧导轨2相接， 上隔离架9位于上圓弧导轨1和中圓弧导轨2之间，由中圓弧导轨2支撑，是一个两边真有不少子10个可均匀容纳滚柱13小矩形孔的矩形框片；将滚柱13 相互隔离开，中圆弧导轨2也通过滚柱13与下圆弧导轨3相接，下隔离架10 位于中圆弧导轨2和下圓弧导轨3之间，由下圆弧导轨3支撑，也是一个两边 具有不少于10个可均匀容纳滚柱13小矩形孔的矩形框片，将滚柱13相互隔 离开，4个拉簧11的两端挂钩分别挂在安装在上圆弧导轨1和下圆弧导轨3 上的各4个拉簧挂销12上，下圓弧导轨3与压模卡盘5相接，压模6装于压 模卡盘5内，正对压模6的下方是基片7,限位外套4安装在上圓弧导轨1上， 限位外套4的下方四周对外形为矩形的下圓弧导轨3的旋转角度范围起限位作 用。由上向下看，上中下圓弧导轨外形均为矩形，内部也均开矩形通孔。上圓 弧导轨1的圆弧导轨的圓弧MyMy圓心为O点，下圓弧导轨3的圓弧导轨的圆 弧MxMx圓心也为O点，中圆弧导轨2包含了两个互相垂直方向的上下面两个 圆弧导轨，其上下面导轨的圓弧MyMy和'MxMx圆心也为O点，不少于10个滚 柱的滚柱13可在由上圓弧导轨1和中圓弧导轨2的上面圓弧导轨组成的导轨 槽内滚动，也能在由中圓弧导轨2的下面圆弧导轨和下圓弧导轨3组成的导轨 槽内滚动，使中下圆弧导轨（包括相接的压模6和压模卡盘5)绕过上圓弧导 轨圓心O点的直线AXAX (即X轴线）沿'圆弧MyMy作:tAa角微滚动旋转，也使 下圓弧导轨3(包括相接的压模6及压模卡盘5)绕过下圆弧导轨圓心O点的 直线AyAy (即Y轴轴线）沿圓弧MxMx作:tAp角微滚动旋转，上下圓弧导轨圆 弧的圆心都为同一的O点，由于在结构上已预先设计保证圆心0和压模6的 下表面中心点精确重合，当压模6和基片7由于不平行，在压模6下压先接触 处产生一转动力矩时，压模6则可沿上面所述的圆弧MyMy与MxMx绕过〇点 的X或Y轴线作微旋转，达到压模6和基片7的完全平行贴合与压紧，其产生 的转动力矩最小，在x(或y)方向上偏离由于都是趋向于零的二次微量，加上 微旋转角本来就很小，所以实际偏离量也是最小。
由图8和9还可看到，本实施例4上中下三个圓弧导轨的导轨截面均为上 下V型滚柱滚动导轨截面，由于4个拉簧11分别借助于固定在上圓弧导轨1和下圆弧导轨3上的8个拉簧挂销12将上中下三个圓弧导轨拉紧在一起，使 中下圓弧导轨及压模不会下落，同时在微旋转时保证Z向无间隙，同样滚柱13 只能在圓弧导轨V型槽内沿圓弧导轨弧线MyMy (MXMX)滚动，不夹杂其它运 动，由于是滚柱滚动，承受下压力可以达到非常大，适合大面积压印的压印设 备应用。