气体流量传感器
专利汇可以提供气体流量传感器专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种气体流量 传感器 ，包括呈管状的 外壳 ，在该外壳的内腔中插接有呈管状的内壳，在该内壳的内腔中插接有呈管状的内膜，内壳上设有振动腔和与振动腔连通的传振通道，其中振动腔沿内壳的内圆面设置，在内壳上装有将传振通道阻断的感应膜片，感应膜片上接有金属柱。这种气体流量传感器，结构简单，成本低，被测气体的压 力 损失小，测量 精度 高。，下面是气体流量传感器专利的具体信息内容。
1、一种气体流量传感器，包括呈管状的外壳(4)，其特征是在该外壳(4) 的内腔中插接有呈管状的内壳(2)，在该内壳(2)的内腔中插接有呈管状的内 膜(1)，内壳(2)上设有振动腔(5)和与振动腔(5)连通的传振通道(6)， 其中振动腔(5)沿内壳(2)的内圆面设置，在内壳(2)上装有将传振通道(6) 阻断的感应膜片(3)，感应膜片(3)上接有金属柱(9)。
2、根据权利要求1所述的气体流量传感器，其特征是振动腔(5)的数量是 1个。
3、根据权利要求1所述的气体流量传感器，其特征是振动腔(5)的数量是 2-3个。
4、根据权利要求2或3所述的气体流量传感器，其特征是振动腔(5)是环 形、半环形或圆弧形。
5、根据权利要求1所述的气体流量传感器，其特征是感应膜片(3)包括变 阻式膜片、压电式膜片和电容式膜片。
6、根据权利要求1或5所述的气体流量传感器，其特征是感应膜片(3)埋 嵌在内壳(2)的外圆面上，传振通道(6)延伸到外壳(4)内。
技术领域
背景技术
发明内容
为了实现上述的目的，这种气体流量传感器，包括呈管状的外壳，其结构特 点是在该外壳的内腔中插接有呈管状的内壳，在该内壳的内腔中插接有呈管状的 内膜，内壳上设有振动腔和与振动腔连通的传振通道，其中振动腔沿内壳的内圆 面设置，在内壳上装有将传振通道阻断的感应膜片，感应膜片上接有金属柱。
依据配用的气体流量计的工作环境、气体的流量范围和测量的精度要求，上 述的振动腔的数量是1个或2-3个，由于被测气体的压力、温度等参数的变化 会对不同形状的振动腔的工作产生不同的影响，为了消除偏差，提高测量精度， 振动腔可以是环形、半环形或圆弧形，通过不同振动腔之间振动的对应关系的变 化，排除流量以外的其它参数变化的影响。
依据配用的气体流量计的工作环境和测量的精度要求，上述的感应膜片包括 变阻式膜片、压电式膜片和电容式膜片。
为了便于制造和安装，感应膜片埋嵌在内壳的外圆面上，传振通道延伸到外 壳内。
使用时，将本发明的气体流量传感器用法兰串接在被测气体的管道中，金属 柱通过导线与气体流量计的信号输入端连接。
本发明的气体流量传感器的工作原理是：当被测量的气体从管状的内膜中流 过时，内膜壁会产生振动，特别是位于振动腔的部位，其振动更为明显，该振动 经振动腔进入传振通道，使感应膜片对应的产生振动，依据所选定的感应膜片的 类型，感应膜片会将这种振动变换成电信号，经过金属柱和导线传递到气体流量 计，当传感器各部件的材质、尺寸和形状确定后，其振动的频率、波形和振幅等 参数就与气体的流速构成对应关系，而振动的频率、波形和振幅等参数的改变， 会在感应膜片上产生出对应的电信号，将该电信号输入到气体流量计的CPU芯 片，通过CPU芯片进行数据处理，即可得到在某段时间内的气体流量。
本发明所述的气体流量传感器，其有益效果是：1、只用了外壳、内壳、内 膜和感应膜片，几何形状又规范，因而结构特别简单，成本低；2、内膜的内腔 中无叶轮叶片一类的障碍物阻挡气体流动，被测气体的压力损失小；3、不需要 热传导式传感器的导热时间，感应膜片对振动的变化反映速度快，感应灵敏度高； 4、由于可识别的参数多，气体流量计中CPU芯片可根据气体的综合参数及时进 行校正，因而测量精度高。
附图说明
本发明的气体流量传感器的实施例结合附图加以说明，其中：
图1是振动腔的数量是1个的气体流量传感器的结构示意图；
图2是图1的A-A剖视图；
图3是振动腔的数量是2个的气体流量传感器的结构示意图；
图4是变阻式膜片的结构示意图；
图5是变阻式膜片的原理图；
图6是压电式膜片的结构示意图；
图7是压电式膜片的原理图；
图8是电容式膜片的结构示意图；
图9是电容式膜片的原理图。
具体实施方式
当感应膜片3选用变阻式膜片时，变阻式膜片的振动，附着在硅胶片7上的 应变电阻8的阻值对应的改变，利用惠斯顿电桥的原理，确定金属柱9与硅胶片 7的触点位置10，使变阻式膜片在静态时电阻R1、R2、R3和R4阻值相等，在 该电桥的输入端接通电源VB，在振动时，电阻R1、R2、R3和R4阻值不相等， 电桥的输出端有电压VO输出。当感应膜片3选用压电式膜片，压电元件13在振 动时，便在簧片兼电极11与电极板12之间产生电压VO输出。当感应膜片3选 用电容式膜片，簧片兼电极11的振动改变与电极板12之间的电容量，通过电容 的充放电使输出电压VO发生变化。
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