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传感器

阅读:883发布:2022-09-28

专利汇可以提供传感器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供一种充分抑制了由湿度引起的输出变动的二 氧 化 碳 传感器 。本发明的二氧化碳传感器具有:包含固体 电解 质的 基板 ;在基板的一个主面上设置的检测极;在相同的主面上设置的参照极;在基板的整个表面的至少一部分上设置的,包含含有 硼 、磷、锌或 钛 的玻璃的玻璃层。,下面是传感器专利的具体信息内容。

1.一种二传感器,其特征在于,具备:
含有固体电解质的基板
在所述基板的一个主面上设置的检测极,
在所述基板的所述主面上设置的参照极,
在所述基板的整个表面的至少一部分上设置的,包含含有、磷、 锌或的玻璃的玻璃层。
2.如权利要求1所述的二氧化碳传感器,其特征在于:
在所述玻璃中含有的金属的含有比例为,换算成氧化物,15.5 质量%以下。
3.如权利要求1所述的二氧化碳传感器,其特征在于:
所述玻璃层覆盖所述参照极。
4.如权利要求1~3的任意1项所述的二氧化碳传感器,其特征 在于:
所述玻璃层覆盖所述基板的表面的至少所述检测极和所述参照极 之间的区域。

说明书全文

技术领域

发明涉及传感器

背景技术

二氧化碳传感器一般在基板上具有检测极和参照极。这里,基板 由固体电解质构成。检测极包括作为气体检测材料的由金属化合物形 成的检测层和作为集电体的金属层。参照极包括作为集电体的金属层。 然后,各个金属层以连接于固体电解质的形式设置。这种二氧化碳传 感器中,检测层与二氧化碳接触时,检测层的金属化合物与二氧化碳 发生化学平衡反应,在基板上的检测极与参照极之间产生导电离子的 浓度差。通过检测基于这种浓度差的电动势的变化,测定二氧化碳的 浓度。
如上所述的二氧化碳传感器包括,检测极和参照极被设置在基板 的同一主面上的非分离型,以及检测极与参照极被设置在不同主面上 的分离型。最近,非分离型二氧化碳传感器由于生产性好因而成为主 流。即,非分离型二氧化碳传感器具有的优点是,可以同时制作作为 检测极的集电体的金属层和作为参照极的金属层,以及不需要翻转基 板,从而可以简化其制造工序。这样的非分离型二氧化碳传感器追求 的不只是生产性,还追求可以准确地测定二氧化碳浓度。具体来说, 希望二氧化碳传感器的电动势尽量不受到二氧化碳浓度以外的环境条 件的影响。
日本特表平10-503022号公报中公开了以稳定传感器的输出作为 目的而提出的二氧化碳传感器。该二氧化碳传感器中,由含锆石 (Zircon)和铅的高熔点玻璃等的原材料膜气密性地密封了参照极。
但是,在上述公报的二氧化碳传感器中,难以充分抑制由湿度引 起的传感器的电动势的变动。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的,目的在于提供充分抑制了由湿 度引起的输出的变动的二氧化碳传感器。
本发明的二氧化碳传感器包括:含有固体电解质的基板、在基板 的一个主面上设置的检测极、在基板的该主面上设置的参照极、在基 板的整个表面的至少一部分上设置的包含含、磷、锌或的玻璃的 玻璃层。
由于含有上述玻璃的玻璃层被设置在基板的整个表面的至少一部 分上,因此可以充分抑制二氧化碳传感器的由湿度引起的输出的变动, 能够准确测定二氧化碳浓度。虽然还未必明确本发明的二氧化碳传感 器具有这样的效果的原因,但本发明者们作了如下推测。即,认为包 含含上述元素的玻璃的玻璃层,具有细密的结构密封性好,由于这样 的玻璃层存在于基板的整个表面的至少一部分上,所以能够对由含有 固体电解质的基板的湿度引起输出变动的部分充分抑制湿度的影响。
此外,本发明的二氧化碳传感器中,上述玻璃中含有的金属的 含有比例,换算成氧化物,优选为15.5质量%以下。这里,碱金属是 指Li、Na、K的碱金属元素。根据这样的二氧化碳传感器,可以进一 步降低由湿度引起的输出变动,同时可以进一步提高灵敏度,可以更 准确地测定二氧化碳的浓度。
并且,本发明的二氧化碳传感器中,优选上述玻璃层覆盖上述参 照极。通过用上述玻璃层覆盖参照极,可以进一步降低由湿度引起的 输出的变动,可以更准确地测定二氧化碳浓度。
此外,本发明的二氧化碳传感器中,优选上述玻璃层覆盖基板的 整个表面中的至少检测极与参照极之间的区域。通过用玻璃层覆盖基 板的该区域,可以进一步降低由湿度引起的输出的变动,可以更准确 地测定二氧化碳浓度。
根据本发明可以提供充分抑制了由湿度引起的输出的变动的二氧 化碳传感器。
附图说明
图1是表示本发明的二氧化碳传感器的第1实施方式的截面示意 图。
图2是表示本发明的二氧化碳传感器的第2实施方式的俯视图。
图3是图2的二氧化碳传感器沿III-III线的截面图。
图4是表示本发明的二氧化碳传感器的第3实施方式的截面示意 图。
图5是表示本发明的二氧化碳传感器的第4实施方式的截面示意 图。
图6是表示在各个实施例中形成的玻璃层的组成的表。
图7是表示各个实施例和比较例的灵敏度和湿度依赖性的表。
符号说明
1,2,3,4:二氧化碳传感器;10:基板;12:第1主面;14: 第2主面;16:侧面18,19:接合面;20:检测极;21:金属层; 22:检测层;30:参照极;40:玻璃层。

具体实施方式

以下参照附图详细说明本发明的优选实施方式。并且,在图的说 明中,对于相同或相当的部分,使用相同的符号,省略重复说明。此 外,各图的尺寸比例未必与实际的尺寸比例一致。
图1是表示本发明的二氧化碳传感器的第1实施方式的截面示意 图。在图1中所示的二氧化碳传感器1,具备含有固体电解质而构成的 基板10。基板10具有第1主面12、第2主面14、以及连接该第1主 面12和第2主面14的侧面16。并且,在该基板10的第1主面12上, 在接合部分19上设有检测极20,在接合部分18上设有参照极30。并 且,在参照极30上、以及位于参照极30的周围的基板10的表面上, 设有玻璃层40。检测极20包括,连接于基板10的作为集电体的金属 层21,和连接于金属层21并以覆盖金属层21的方式设置的检测层22。
在基板10上还设有,重叠地形成并电连接于检测极20的金属层 21的电极垫片(未图示),和重叠地形成并电连接于参照极30的电极 垫片(未图示)。并且,各个电极垫片分别连接有外部的电位差计(未 图示)的一对导线
玻璃层40由含有硼、磷、锌或钛的玻璃制成。
通过由上述玻璃制成的玻璃层40覆盖参照极,可充分抑制由湿度 引起的输出变动,其结果,可以使用二氧化碳传感器1准确测定二氧 化碳浓度。虽然还未必明确本发明的二氧化碳传感器1具有这样的效 果的原因,但本发明者们作了如下推测。即,由含有上述元素的玻璃 制成的玻璃层具有细密的结构,密封性好。被认为:通过由这样的玻 璃层覆盖参照极,充分抑制了相对于由湿度引起的输出变动部分的湿 度的影响。
作为构成基板10的固体电解质,可以举出固体状的金属离子导电 体。作为金属离子导电体,可以举出碱金属离子导电体、碱土金属离 子导电体等,但优选为使用钠离子导电体。
作为金属离子导电体的具体例,可以举出,例如,可用 Na1+xZr2SixP3-xO12(x=0~3)所表示的NASICON、Na-β”氧化、Na-β氧 化铝、Na-βGa2O3、Na-Fe2O3、Na3Zr2PSi2P2Oi2、Li-β氧化铝、 Li14Zn(CeO4)、Li5AlO4、Li1.4Ti1.6In0.4P3O12、K-β氧化铝、K1.6Al0.8Ti7.2O16、 K2MgTi7O16、CaS等。但是,构成基板10的金属离子导电体的实际组 成也可以稍微偏离上述的化学计量组成。其中优NASICON, NASICON中特别优选Na3Zr2Si2PO12所表示的。
基板10除了含有这样的固体电解质以外,也可以含有作为不妨碍 离子导电性的增强剂,优选为约50质量%以下的,氧化铝(Al2O3)、 氧化(SiO2)、氧化锆(ZrO2)、碳化硅(SiC)、氮化硅(Si3N4)、氧化 (Fe2O3)等。
通常,基板10的厚度为约1μm~1mm,主面的面积为约1μm2~ 200mm2。此外,关于主面的形状可以设定为矩形、圆形,或根据其它 用途适当设定。这样的基板10,可以用固相法、溶胶凝较法、共沉淀 法等通常用的方法来制作,优选用固相法制作。
构成检测极20的金属层21,由所具有的导电性的程度能够起集电 体功能的金属材料形成。作为形成金属层21的金属材料,可以适当地 使用例如金、铂、、铷、铑、钯、铱、镍、、铬及其合金等。
通常,金属层21的厚度为约0.01~10μm,主面的面积为约 0.1μm2~200mm2。此外,为了在检测极20内有效分散二氧化碳气体, 金属层21优选为多孔质的。这样的金属层21,例如,可以通过将金属 粉末制成糊状的混合液由丝网印刷等的涂布方法或溅射方法等形成。 此外,在检测极20中,当检测层本身具有足够的导电性等时,检测极 不一定需要具有金属层,仅由检测层也可以构成检测极。
检测层22由含有金属碳酸盐、金属碳酸氢盐、金属氧化物等的金 属化合物的气体检测材料形成。为了提高层内气体的扩散效率,检测 层22优选由颗粒状的金属化合物形成的多孔质体组成。检测层22由 金属碳酸盐、金属碳酸氢盐、金属氧化物等的金属化合物粒子构成时, 其平均粒径优选为0.1~100μm。
作为金属碳酸盐,可以举出,例如,碳酸锂(Li2CO3)、碳酸钠 (Na2CO3)、碳酸(K2CO3)、碳酸铷(Rb2CO3)、碳酸铯(Cs2CO3)、 碳酸镁(MgCO3)、碳酸(CaCO3)、碳酸锶(SrCO3)、碳酸钡(BaCO3)、 碳酸锰(Mn(CO3)2、Mn2(CO3)3)、碳酸铁(Fe2(CO3)3、FeCO3)、碳酸 镍(NiCO3)、碳酸铜(CuCO3)、碳酸钴(Co2(CO3)3)、碳酸铬(Cr2(CO3)3)、 碳酸锌(ZnCO3)、碳酸银(Ag2CO3)、碳酸镉(CdCO3)、碳酸铟 (In2(CO3)3)、碳酸钇(Y2(CO3)3)、碳酸铅(PbCO3)、碳酸铋(Bi2(CO3)3)、 碳酸镧(La2(CO3)3)、碳酸铈(Ce(CO3)3)、碳酸镨(Pr6(CO3)11)、碳酸 钕(Nd2(CO3)3)、碳酸镝(Dy2(CO3)3)等。金属碳酸盐可以单独使用1 种,也可以并用2种以上。其中,优选使用碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾。
此外,作为金属碳酸氢盐,可以举出,例如,碳酸氢钠(NaHCO3)、 碳酸氢钾(KHCO3)、碳酸氢铷(RbHCO3)和碳酸氢铯(CsHCO3)等。 这些可以单独使用1种,也可以并用2种以上。其中,优选使用碳酸 氢钠、碳酸氢钾,特别优选使用碳酸氢钠。
此外,作为金属氧化物,优选含有选自氧化(SnO,SnO2)、氧 化铟(In2O3)、氧化钴(Co3O4)、氧化钨(WO3)、氧化锌(ZnO)、氧 化铅(PbO)、氧化铜(CuO)、氧化铁(Fe2O3、FeO)、氧化镍(NiO)、 氧化铬(Cr2O3)、氧化镉(CdO)、氧化铋(Bi2O3)、氧化锰(MnO2、 Mn2O3)、氧化钇(Y2O3)、氧化锑(Sb2O3)、氧化镧(La2O3)、氧化铈 (CeO2)、氧化镨(Pr6O11)、氧化钕(Nd2O3)、氧化银(Ag2O)、氧化 锂(Li2O)、氧化钠(Na2O)、氧化钾(K2O)、氧化铷(Rb2O)、氧化 镁(MgO)、氧化钙(CaO)、氧化锶(SrO)以及氧化钡(BaO)的至 少1种。其中,作为金属氧化物,从能够在低温下更稳定地进行气体 检测的观点出发,优选选自氧化锡、氧化铟、氧化钴、氧化钨、氧化 锌、氧化铅、氧化铜、氧化铁、氧化镍、氧化铬、氧化镉以及氧化铋 的至少1种,更优选选自氧化锡、氧化铟、氧化锌以及氧化钨的至少1 种。此外,构成检测层22的金属氧化物的实际组成也可以稍微偏离上 述的化学计量组成。
检测层22的厚度通常为约0.1μm~100μm,可以采用现有公知的 方法形成,例如,将金属化合物的颗粒分散于溶剂中的糊状物,以连 接在金属层21上的方式涂布从而形成糊状层,加热该糊状层除去溶剂 的糊状物方法等。
通常,参照极30可以具有约0.1μm~100μm的厚度,面积可以为 约0.1μm2~200mm2。可以采用与上述金属层21同样的材料、方法形 成。此外,可以在参照极30上形成贯通孔,也可以是多孔质的,也可 以是没有贯通孔和空穴的平板。当参照极30为多孔质时,如图1所示 的二氧化碳传感器1,优选玻璃层40覆盖参照极30的全部,由此可以 更可靠地抑制由湿度引起的输出变动。
此外,上述电极垫片的材质优选与金属层21的材质相同。
上述的玻璃层40由含有硼、磷、锌或钛的玻璃组成。作为这样的 玻璃,可以举出,例如,硼硅酸盐玻璃、钠玻璃、锂系结晶化玻璃等。 它们可以单独使用1种,也可以组合2种以上使用。此外,上述的玻 璃中优选使用硼硅酸盐玻璃。
为了降低二氧化碳传感器的由湿度引起的输出变动,同时提高二 氧化碳传感器的灵敏度,最优选在上述的玻璃中不含碱金属。在上述 的玻璃中含有碱金属时,该碱金属的含有比例,换算成氧化物,优选 为15.5质量%以下,更优选为5质量%以下。通过使上述玻璃中含有 的碱金属的含有比例为15.5质量%以下,可以降低二氧化碳传感器的 由湿度引起的输出变动的同时,充分提高二氧化碳传感器的灵敏度。 上述玻璃中含有的碱金属的含有比例,可以由荧光X射线分析、电感 耦合等离子体发射光谱分析等求得。
玻璃层40可以通过,将在规定的溶剂中分散包含上述玻璃的粉末 所得的糊状物涂布于参照极30上以及参照极30的周围,干燥,然后 在适当的温度下加热而形成。此时,玻璃粉末的粒径优选为0.1~ 100μm。此外,当用于形成玻璃层40的加热温度比用于形成上述检测 层22的加热温度更高时,优选玻璃层40的形成比检测层22的形成先 进行,或者,玻璃层40的形成与检测层22的形成同时进行。
玻璃层40的厚度,无特别限定,优选为0.1μm以上。如果玻璃层 的厚度不满0.1μm,存在难以充分抑制由湿度引起的输出变动的倾向。
本发明的二氧化碳传感器,不限于上述的实施方式,可以有各种 变形。以下说明本发明的二氧化碳传感器的其它实施方式。
图2是表示本发明的二氧化碳传感器的第2实施方式的俯视图。 此外,图3是图2中沿III-III线的截面图。图2和图3中所示的二氧化 碳传感器2与二氧化碳传感器1的不同点在于,玻璃层40进一步覆盖 基板10的第1主面12上参照极30与检测极20之间的表面。
于是,通过玻璃层进一步覆盖基板的第1主面上参照极与检测极 之间的表面,二氧化碳传感器2能够进一步抑制由湿度引起的输出的 变动。
图4是表示本发明的二氧化碳传感器的第3实施方式的截面示意 图。图4中所示的二氧化碳传感器3与二氧化碳传感器1的不同点在 于,玻璃层40进一步覆盖第1主面12上设置有检测极的接合部分19 以外的表面,玻璃层40被设置成使基板10的第1主面12上没有露出 的部分。
通过玻璃层40被设置成使基板10的第1主面12上没有露出的部 分,二氧化碳传感器2能够进一步抑制由湿度引起的输出的变动。
上述二氧化碳传感器1~3中,在基板10的第1主面12上设置有 玻璃层40,而在基板的侧面16上和第2主面14上没有设置有玻璃层 40。具有这样的结构的二氧化碳传感器1~3,由于对于基板的侧面16 上和第2主面14上的构成没有特别限定,因此二氧化碳传感器的设计 的自由度变高。例如,可以在第2主面上设置规定形状的加热部等, 即使没有使其气密性地密封,也可以充分抑制二氧化碳传感器由湿度 引起的输出变动。
图5是表示本发明的二氧化碳传感器的第4实施方式的截面示意 图。图5中所示的二氧化碳传感器4与二氧化碳传感器1的不同点在 于,玻璃层40进一步覆盖基板10的第1主面12上设置有检测极的接 合部分19以外的区域、基板10的第2主面14、以及基板10的侧面 16,玻璃层40被设置成使基板10的表面不露出。
这样,以基板10没有露出部分地设置了玻璃层40的二氧化碳传 感器4能够进一步抑制由湿度引起的输出的变动。
以下,举出实施例和比较例更具体地说明本发明。但是,本发明 不限于以下的实施例。
实施例1
如以下的方式,制作了具有与图1中所示的二氧化碳传感器同样 的构成的二氧化碳传感器。
首先,用溶胶凝胶法制备NASICON(具体为Na3Zr2Si2PO12)粉末, 使用该NASICON粉末,形成宽4mm、长4mm、厚0.5mm的固体电解 质基板。
然后,在形成的固体电解质基板的一面的2处,分别配置金丝, 同时涂布金糊状物,将其干燥后,在空气中,850℃下加热30分钟, 形成作为检测极的集电层和作为参照极的2个金属层。此外,这2个 金属层间隔为1mm。
然后,将硼硅酸盐玻璃粉末(商品名“GA50”,日本电子硝子制) 与含有5质量%乙基纤维素的α-萜品醇溶液以相同质量混合,制备玻 璃糊状物。然后,将该玻璃糊状物涂布在作为参照极的金属层上并干 燥,在900℃下加热30分钟,形成玻璃层。形成的玻璃层覆盖了参照 极的全部和参照极周围的固体电解质。此外,对与此同样形成的玻璃 层进行电感耦合等离子体发光光谱分析。得到的组成数据如图6所示。
然后,将碳酸锂粉末与碳酸钡粉末以摩尔比1∶2混合,通过在 750℃下溶解该混合物制备复合碳酸盐。然后,粉碎所得复合碳酸盐制 成粉末。然后,将该复合碳酸盐粉末与氧化铟粉末以质量比1∶10混 合,进一步将该混合物与含有5质量%乙基纤维素的α-萜品醇溶液以 相同质量混合,制备糊状物。将所得糊状物涂布于作为检测极的集电 层的金属层上。然后,将其在空气中、600℃下加热1小时,除去溶剂, 在固体电解质基板上形成包含金属层和检测层的检测极,制作二氧化 碳传感器。
实施例2
在本实施例中制作了与图4中所示的二氧化碳传感器具有同样构 成的二氧化碳传感器。制作时,将玻璃糊状物涂布于作为参照极的金 属层,以及设有该参照极的一侧的固体电解质基板的主面上除了形成 检测极的预定部分以外的区域上。其它的工序与实施例1相同。此外, 形成的玻璃层的组成数据与实施例1中形成的玻璃层的数据相同。
实施例3
首先,通过溶胶凝胶法制备NASICON(具体为Na3Zr2Si2PO12)粉 末,使用该NASICON粉末,形成宽4mm、长4mm、厚0.5mm的固体 电解质基板。
然后,在形成的固体电解质基板的一个主面的2处,分别配置金 丝,同时涂布金糊状物,干燥后,在空气中,850℃下加热30分钟, 形成作为检测极的集电层和参照极的2个金属层。此外,这2个金属 层间隔1mm。
然后,将硼硅酸盐玻璃粉末(商品名“GA12”,日本电子硝子制) 与含有5质量%乙基纤维素的α-萜品醇溶液以相同质量混合,制备玻 璃糊状物。然后,将该玻璃糊状物涂布在作为参照极的金属层上并干 燥。
然后,将碳酸锂粉末与碳酸钡粉末以摩尔比1∶2混合,通过在 750℃下溶解该混合物,制备复合碳酸盐。然后,将所得复合碳酸盐粉 碎制成粉末。然后,将该复合碳酸盐粉末与含有5质量%乙基纤维素 的α-萜品醇溶液以相同质量混合,制备糊状物。将所得糊状物涂布于 作为检测极的极电层的金属层上,干燥。
然后,将氧化铟粉末与含有5质量%乙基纤维素的α-萜品醇溶液 以相同质量混合,制备糊状物。然后,将所得的糊状物涂布在金属碳 酸盐层上。
然后,通过将其在空气中、600℃下加热1小时,在参照极上形成 玻璃层,在集电层上形成检测层,制作具有与图1中所示的二氧化碳 传感器同样的构成的二氧化碳传感器。此外,对与此同样形成的玻璃 层进行电感耦合等离子体发光光谱分析。得到的组成数据在图6中表 示。
实施例4
在本实施例中制作的二氧化碳传感器,使用硼硅酸盐玻璃粉末(商 品名“GA50”)中添加了Na2O和Li2O的硼硅酸盐玻璃粉末,对于形成 的玻璃层进行电感耦合等离子体发光光谱分析时,Na2O为3质量%、 Li2O为1.5质量%。其它工序与实施例1相同。此外,形成玻璃层时 的加热是在空气中、850℃下进行30分钟。此外,形成的玻璃层的组 成数据中有关碱金属氧化物的值在图6中表示。
实施例5
在本实施例中,使用在硼硅酸盐玻璃粉末(商品名“GA50”)中添 加了Na2O和Li2O的硼硅酸盐粉末,对于形成的玻璃层进行电感耦合 等离子体发光光谱分析时,使Na2O为10质量%、Li2O为3.7质量%。 其它工序与实施例1相同。此外,形成玻璃层时的加热是在空气中、 850℃下进行30分钟。此外,形成的玻璃层的组成数据中有关碱金属 氧化物的值在图6中表示。
比较例1
通过除了不涂布玻璃糊状物不形成玻璃层以外、与实施例1同样 的方法,制作了二氧化碳传感器。
比较例2
在实施例3中,用不含硼、磷、锌或钛的任何一种的以氧化铅和 氧化锆为主要成分的玻璃粉末,取代硼硅酸盐玻璃粉末(商品名 “GA12”),除此以外,用与实施例3同样的方法制作了二氧化碳传感器。 此外,形成玻璃层时的加热是在空气中、510℃下进行1.5小时。
(二氧化碳传感器的评价)
<二氧化碳传感器的灵敏度>
用下面的方法研究了实施例1~5及比较例1和2中所得的二氧化 碳传感器的灵敏度。即,将二氧化碳浓度1000ppm、室温、相对湿度 (RH)30%的气氛下的各二氧化碳传感器的输出(电动势)作为基值 E0,作为该气氛下的灵敏度(mV/decade)求出该基值与气氛的二氧化 碳浓度变化到10000ppm时的输出E1的差(E1-E0)。同样,也求出相 对湿度为50%和70%的气氛下的灵敏度。所得的结果在图7中表示。
<二氧化碳传感器的湿度依赖性>
用下面的方法研究了实施例1~5及比较例1和2中所得的二氧化 碳传感器的湿度依存性。分别在湿度30%RH、50%RH、70%RH的气 氛下测定各二氧化碳浓度(500ppm、1000ppm、5000ppm、10000ppm) 下的电动势(mV)。对于在相同的二氧化碳浓度下得到的电动势,将 各湿度间的最大值与最小值之差(mV)作为二氧化碳传感器的湿度依 赖性。即,该值越大,表示二氧化碳传感器的湿度依赖性越高,由湿 度引起的输出变动越大。所得的结果在图7中表示。
如图7所示,发现实施例1~5的二氧化碳传感器与比较例1和2 相比,可以充分抑制各二氧化碳浓度气氛下由湿度引起的输出变动。 此外,使用碱金属的含有比例为5质量%以下的玻璃的实施例1、2和 4的二氧化碳传感器,与实施例3和5相比,发现可以进一步降低由湿 度引起的输出变动,同时灵敏度更高。而且,发现在包含参照极以及 基板上参照极和检测极之间的表面的一面上设置了玻璃层的实施例2 的二氧化碳传感器,比实施例1更降低了由湿度引起的输出变动。
另一方面,没有玻璃层的比较例1的二氧化碳传感器,以及通过 由不含任何硼、磷、锌或钛的玻璃粉末而形成的玻璃层覆盖参照极的 比较例2的二氧化碳传感器,都不能充分抑制由湿度引起的输出变动。
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