专利汇可以提供用于流体储存/分配的碳质材料及利用其的装置和方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 描述了具有用于 流体 储存/分配应用的 碳 质材料。在一种实施方式(implementation)中的 碳质材料 为纳米多孔碳组合物,其具有至少部分地填充有赋予组合物提高的特性的材料的孔隙。另一种实施方式使用多孔碳材料作为氯气的储存介质。另一种实施方式使用多孔碳材料作为氢储存介质,例如,用于氢 燃料 电池 。在其他的实施方式中,采用多孔碳材料作为流体储存和分配系统中的 吸附 介质,在多重多孔碳制品的设置中,采用 位置 稳定化结构以保持该设置不发生运动。本发明还描述了这样的设置,其中,通过吸附剂的 电阻 和/或 感应加热 对碳吸附剂进行剩余流体的脱附。,下面是用于流体储存/分配的碳质材料及利用其的装置和方法专利的具体信息内容。
1.一种流体储存和分配装置,包括具有内部容积的容器,所述内 部容积中支持有多孔碳吸附剂制品的设置和位置稳定化结构,
所述位置稳定化结构用于将多孔碳吸附剂制品的设置维持在 预设位置,在该预设位置限制所述制品发生运动。
2.根据权利要求1所述的流体储存和分配装置,其中,所述多孔 碳吸附剂制品的设置包括所述制品的堆叠阵列。
3.根据权利要求2所述的流体储存和分配装置,其中,每一个所 述制品均具有圆盘形状。
4.根据权利要求3所述的流体储存和分配装置,其中,所述制品 为垂直堆叠阵列,其中,所述制品彼此共轴排列。
5.根据权利要求1所述的流体储存和分配装置,其中,所述位置 稳定化结构包括可压缩弹簧,用于在多孔碳吸附剂制品的设置 上施加压缩力。
6.根据权利要求5所述的流体储存和分配装置,其中,所述位置 稳定化结构进一步包括板构件,所述板构件适合用于接收来自 所述可压缩弹簧的压缩力并在与所述多孔碳吸附剂制品的设 置支撑性接触的所述板构件区域上分布所述力。
7.根据权利要求6所述的流体储存和分配装置,其中,所述制品 为垂直堆叠阵列,其中,所述制品每一个为圆盘形状且彼此共 轴排列,其中所述位置稳定化结构包括被设置成在所述制品的 垂直堆叠阵列中的最上端制品上施加压缩力的所述可压缩弹 簧及板构件。
8.根据权利要求7所述的流体储存和分配装置,进一步包括第二 可压缩弹簧及板构件,设置成用于在所述制品的垂直堆叠阵列 中的最下端制品上施加压缩力。
9.根据权利要求1所述的流体储存和分配装置,其中,所述位置 稳定化结构包括选自由填料、固定板、回弹压缩元件、筛网、 袋、吸附剂制品结构和容器内壁构造组成的组的结构。
10.根据权利要求1所述的流体储存和分配装置,其中,所述位置 稳定化结构包括形成为彼此结构接合的所述多孔碳吸附剂制 品。
11.根据权利要求10所述的流体储存和分配装置,其中,所述多 孔碳吸附剂制品被形成为彼此互锁。
12.根据权利要求1所述的流体储存和分配装置,其中,所述容器 包括在所述容器的内表面上的至少一个突出部,其与在所述多 孔碳吸附剂制品的至少一个上的容纳体配合结构相接合。
13.根据权利要求12所述的流体储存和分配装置,其中,所述多 孔碳吸附剂制品在所述容器的所述内部容积中为垂直堆叠阵 列,且所述突出部包括至少一个纵肋,所述纵肋沿所述容器的 内表面延伸,并用于与在所述垂直堆叠阵列中的所述多孔碳吸 附剂制品上的通道相接合。
14.根据权利要求1所述的流体储存和分配装置,其中,所述容器 包括圆筒形侧壁以及固定于其上的顶壁盖,所述顶壁盖中有一 开口,以及设置于所述顶壁盖的所述开口中的阀头组件。
15.根据权利要求14所述的流体储存和分配装置,其中,所述阀 头组件包括阀元件,其可在完全打开位置与完全闭合位置之间 进行移动,所述阀元件与选择性打开或闭合所述阀元件的制动 器相连接。
16.根据权利要求15所述的流体储存和分配装置,其中,所述阀 头组件与所述顶壁盖的所述开口进行螺纹接合。
17.根据权利要求1所述的流体储存和分配装置,其中,所述位置 稳定化结构包括填料。
18.根据权利要求17所述的流体储存和分配装置,其中,所述填 料包括网状材料。
19.根据权利要求17所述的流体储存和分配装置,其中,所述填 料包括絮状或片状形式的材料。
20.根据权利要求19所述的流体储存和分配装置,其中,用所述 絮状或片状形式的材料包裹所述多孔碳吸附剂制品的设置。
21.根据权利要求20所述的流体储存和分配装置,其中,所述多 孔碳吸附剂制品的设置包括所述制品的垂直堆叠阵列,且所述 絮状或片状形式材料覆盖所述垂直堆叠阵列的各端。
22.根据权利要求1所述的流体储存和分配装置,其中,所述位置 稳定化结构包括至少一个可压缩弹簧。
23.根据权利要求22所述的流体储存和分配装置,其中,每一个 所述可压缩弹簧压缩地支撑于板构件上,该板构件设置成用于 将压缩力传输至所述多孔碳吸附剂制品的设置。
24.根据权利要求22所述的流体储存和分配装置,包括选自由下 列弹簧组成的组的至少一种可压缩弹簧:卷绕型弹簧、波浪形 弹簧、o型圈、聚合物弹力垫、多重卷绕弹簧、多重波形弹簧, 和多重聚合物弹力垫。
25.根据权利要求1所述的流体储存和分配装置,其中,所述位置 稳定化结构包括碳纤维织物。
26.根据权利要求25所述的流体储存和分配装置,其中,所述碳 纤维织物包裹所述多孔碳吸附剂制品的设置。
27.根据权利要求26所述的流体储存和分配装置,其中,所述多 孔碳吸附剂制品的设置包括所述制品的垂直堆叠阵列,且所述 碳纤维织物覆盖所述垂直堆叠阵列的各端。
28.根据权利要求27所述的流体储存和分配装置,其中,所述碳 纤维织物延伸出所述垂直堆叠阵列的各端,且折叠或扭曲以便 向所述垂直堆叠阵列提供额外的衬垫块。
29.根据权利要求25所述的流体储存和分配装置,其中,所述位 置稳定化结构包括由所述碳纤维织物形成的管。
30.根据权利要求25所述的流体储存和分配装置,其中,所述碳 纤维织物具有这样的网格尺寸,适用于在流体从所述多孔碳吸 附剂制品分配的过程中,防止颗粒从所述多孔碳吸附剂制品移 至所述容器之外。
31.根据权利要求1所述的流体储存和分配装置,其中,所述位置 稳定化结构包括包裹介质。
32.根据权利要求31所述的流体储存和分配装置,其中,所述包 裹介质由选自由碳、玻璃纤维、金属,和聚合物组成的组的材 料形成。
33.一种适用于将难熔芳香族含硫分子从包括这些化合物的烃混 合物中除去的脱硫系统,所述系统包括设置成用于与所述烃混 合物相接触,并适用于从所述烃混合物中除去所述化合物以达 到低于按重量计1ppm的水平的纳米多孔碳。
34.根据权利要求33所述的脱硫系统,进一步包括所述烃混合物 的供应,其中所述烃混合物包括选自由汽油、喷气燃料、柴油、 原油、石油及用于这些材料的前体或原料组成的组的烃给料。
35.根据权利要求33所述的脱硫系统,其中,所述烃混合物包括 选自由汽油和柴油燃料组成的组的烃给料。
36.根据权利要求33所述的脱硫系统,其中,所述难熔芳香族含 硫分子包括选自二苯并噻吩、4-甲基二苯并噻吩和4,6-二甲基 二苯并噻吩组成的组中的至少一种化合物的硫分子。
37.根据权利要求33所述的脱硫系统,其中,所述脱硫并不使高 辛烷值的烯烃分子转变为低辛烷值的饱和物。
38.根据权利要求33所述的脱硫系统,其中,所述纳米多孔碳包 括主要由小于1nm直径的孔构成的孔隙。
39.根据权利要求33所述的脱硫系统,其中,所述纳米多孔碳包 括PVDC焦化材料。
40.根据权利要求33所述的脱硫系统,其中,所述纳米多孔碳包 括PVDC焦化材料,该PVDC焦化材料具有由尺寸范围为约 0.3至约0.72纳米的裂缝状孔构成的至少30%的总孔隙,以及
包含直径<2纳米的孔的至少20%的总孔隙,具有从约0.80至 约2.0克每立方厘米的体积密度。
41.根据权利要求33所述的脱硫系统,其中,所述纳米多孔碳设 置在多重床内,在包括再生所述床之一而另一个所述床进行所 述烃混合物的所述载流吸附接触以便产生具有按重量计小于 1ppm的所述化合物的烃混合物的设置中,所述多重床设置成 用于交替操作,包括所述烃混合物的载流吸附接触以及所述纳 米多孔碳的再生以便从中除去所述难熔芳香族含硫分子。
42.根据权利要求41所述的脱硫系统,其中,所述多重床是由多 个入口歧管和出口歧管集合而成的。
43.根据权利要求42所述的脱硫系统,进一步包括与出口歧管相 连通的蒸发器,以接收经过再生的来自纳米多孔碳床的再生流 体,其中所述再生流体包括被脱附的难熔芳香族含硫分子,所 述蒸发器适用于从再生流体中将贫硫蒸气蒸发,并产生富硫流 体,且其中所述系统进一步包括再循环流动线路,该再循环流 动线路设置成用于将所述贫硫蒸气回流至进行所述烃混合物 的载流吸附接触的另一个所述床。
44.根据权利要求43所述的脱硫系统,进一步包括加氢脱硫反应 器,适用于接收来自蒸发器的富硫流体,以产生加氢脱硫流体, 以及氢气和硫化氢副产物。
45.根据权利要求44所述的脱硫系统,进一步包括分离器,分离 器设置成用于接收来自所述加氢脱硫反应器的加氢脱硫流体, 以及氢气和硫化氢副产物,以产生包括所述氢气和硫化氢副产 物的第一产物流,并包括所述加氢脱硫流体的第二产物流。
46.根据权利要求45所述的脱硫系统,进一步包括用于混合所述 加氢硫化流体和具有按重量计小于1ppm的所述化合物的所 述烃混合物的混合器,以产生脱硫产物烃混合物。
47.根据权利要求46所述的脱硫系统,其中,所述纳米多孔碳包 括纳米多孔PVDC焦化材料。
48.根据权利要求47所述的脱硫系统,其中,所述脱硫产物烃混 合物包含按重量计每一种均小于1ppm的二苯并噻吩、4-甲基 二苯并噻吩和4,6-二甲基二苯并噻吩。
49.根据权利要求48所述的脱硫系统,其中,所述纳米多孔碳具 有由尺寸范围为约0.3至约0.72纳米的裂缝状孔构成的至少 30%的总孔隙,以及包含直径<2纳米的孔的至少20%的总孔 隙,具有从约0.80至约2.0克每立方厘米的体积密度。
50.根据权利要求49所述的脱硫系统,正如设置于炼油厂中的。
51.一种使用流体储存和分配装置的储存流体的方法,包括具有内 部容积的容器,所述内部容积中支持有多孔碳吸附剂制品的设 置,并进一步包括在所述容器布置位置稳定化结构,所述位置 稳定化结构用于将所述多孔碳吸附剂制品的设置维持在预设 位置,其中限制所述制品运动。
52.根据权利要求51所述的方法,其中,所述多孔碳吸附剂制品 的设置包括所述制品的堆叠阵列。
53.根据权利要求52所述的方法,其中,每一个所述制品均具有 圆盘形状。
54.根据权利要求53所述的方法,其中,所述制品成垂直堆叠阵 列,其中所述制品彼此共轴排列。
55.根据权利要求51所述的方法,其中,所述位置稳定化结构包 括可压缩弹簧,用于在所述多孔碳吸附剂制品的设置上施加压 缩力。
56.根据权利要求55所述的方法,其中,所述位置稳定化结构进 一步包括板构件,该板构件用于接收来自所述可压缩弹簧的压 缩力并在支撑性地接触所述多孔碳吸附剂制品的设置的所述 板构件的区域上分布所述力。
57.根据权利要求56所述的方法,其中,所述制品成垂直堆叠阵 列,其中所述制品每一个为圆盘形状且彼此共轴排列,其中所 述位置稳定化结构包括所述可压缩弹簧及板构件,该板构件设 置成用于在所述制品的垂直堆叠阵列中的最上端制品上施加 压缩力。
58.根据权利要求57所述的方法,进一步包括第二可压缩弹簧及 板构件,该板构件设置用于在所述制品的垂直堆叠阵列中的最 低端制品上施加压缩力。
59.根据权利要求51所述的方法,其中,所述位置稳定化结构包 括选自由填料、固定板、弹性压缩元件、筛网、袋、吸附剂制 品结构和容器内壁构造组成的组的结构。
60.根据权利要求51所述的方法,其中,所述位置稳定化结构包 括形成为彼此结构接合的所述多孔碳吸附剂制品。
61.根据权利要求60所述的方法,其中,所述多孔碳吸附剂制品 形成为彼此互锁。
62.根据权利要求53所述的方法,包括在所述容器的内表面上设 置至少一个突出部,其与在至少一个所述多孔碳吸附剂制品上 的容纳体配合结构相接合。
63.根据权利要求62所述的方法,其中,所述多孔碳吸附剂制品 在所述容器的所述内部容积中成垂直堆叠阵列,且所述突出部 包括至少一个纵肋,沿所述容器的内表面延伸,并用于与在所 述垂直堆叠阵列中的所述多孔碳吸附剂制品上的通道接合。
64.根据权利要求51所述的方法,其中,所述容器包括圆筒形侧 壁、固定于其的顶壁盖,所述顶壁盖内具有开口,以及设置于 所述顶壁盖的所述开口中的阀头组件。
65.根据权利要求64所述的方法,其中,所述阀头组件包括阀元 件,其可在完全打开位置与完全闭合位置之间进行移动,所述 阀元件与选择性打开或闭合所述阀元件的制动器相连接。
66.根据权利要求65所述的方法,其中,所述阀头组件与所述顶 壁盖的所述开口进行螺纹接合。
67.根据权利要求51所述的方法,其中,所述位置稳定化结构包 括填料。
68.根据权利要求67所述的方法,其中,所述填料包括网状材料。
69.根据权利要求67所述的方法,其中,所述填料包括絮状或片 状形式的材料。
70.根据权利要求69所述的方法,其中,用所述絮状或片状形式 的材料包裹所述多孔碳吸附剂制品的设置。
71.根据权利要求70所述的方法,其中,所述多孔碳吸附剂制品 的设置包括所述制品的垂直堆叠阵列,且所述絮状或片状形式 材料覆盖所述垂直堆叠阵列的各端。
72.根据权利要求51所述的方法,其中,所述位置稳定化结构包 括至少一个可压缩弹簧。
73.根据权利要求72所述的方法,其中,每一个所述可压缩弹簧 压缩地支撑于板构件上,所述板构件设置成用于将压缩力传输 至所述多孔碳吸附剂制品的设置。
74.根据权利要求72所述的方法,包括选自由下列弹簧组成的组 的至少一种可压缩弹簧:卷绕型弹簧、波浪形弹簧、o型圈、 聚合物弹力垫、多重卷绕形弹簧、多重波形弹簧,和多重聚合 物弹力垫。
75.根据权利要求51所述的方法,其中,所述位置稳定化结构包 括碳纤维织物。
76.根据权利要求74所述的方法,其中,将所述碳纤维织物包裹 所述多孔碳吸附剂制品的设置。
77.根据权利要求76所述的方法,其中,所述多孔碳吸附剂制品 的设置包括所述制品的垂直堆叠阵列,且所述碳纤维织物覆盖 所述垂直堆叠阵列的各端。
78.根据权利要求77所述的方法,其中,所述碳纤维织物延伸出 所述垂直堆叠阵列的各端,且进行折叠或扭曲以便向所述垂直 堆叠阵列提供额外的衬垫块。
79.根据权利要求75所述的方法,其中,所述位置稳定化结构包 括所述碳纤维织物形成的管。
80.根据权利要求75所述的方法,其中,所述碳纤维织物具有这 样的网格尺寸:适用于在流体从所述多孔碳吸附剂制品的分配 过程中,防止颗粒从所述多孔碳吸附剂制品移至所述容器之 外。
81.根据权利要求51所述的方法,其中,所述位置稳定化结构包 括包裹介质。
82.根据权利要求81所述的方法,其中,所述包裹介质由选自下 列材料组成的组的材料制成:碳、玻璃纤维、金属,和聚合物。
83.一种用于将难熔芳香族含硫分子从包括这些化合物的烃混合 物中去除的脱硫方法,所述方法包括将所述烃混合物与纳米多 孔碳相接触,该纳米多孔碳适用于从所述烃混合物中除去所述 化合物,以达到低于按重量计1ppm的水平。
84.根据权利要求83所述的脱硫方法,进一步包括供应所述烃混 合物,其中所述烃混合物包括选自由汽油、喷气燃料、柴油、 原油、石油及用于这些材料的前体或原料组成的组的烃给料。
85.根据权利要求83所述的脱硫方法,其中,所述烃混合物包括 选自由汽油和柴油燃料组成的组的烃给料。
86.根据权利要求83所述的脱硫方法,其中,所述难熔芳香族含 硫分子包括选自二苯并噻吩、4-甲基二苯并噻吩和4,6-二甲基 二苯并噻吩组成的组中的至少一种化合物的硫分子。
87.根据权利要求83所述的脱硫方法,其中,所述脱硫并不使高 辛烷值的烯烃分子转化为低辛烷值的饱和物。
88.根据权利要求83所述的脱硫方法,其中,所述纳米多孔碳包 括主要由小于1nm直径的孔构成的孔隙。
89.根据权利要求83所述的脱硫方法,其中,所述纳米多孔碳包 括PVDC焦化材料。
90.根据权利要求83所述的脱硫方法,其中,所述纳米多孔碳包 括PVDC焦化材料,其至少30%的总孔隙由尺寸范围为约0.3 至约0.72纳米的裂缝状孔构成,至少20%的总孔隙包含直径 <2纳米的孔,具有从约0.80至约2.0克每立方厘米的体积密 度。
91.根据权利要求83所述的脱硫方法,其中,所述纳米多孔碳设 置在多重床内,在包括再生所述床之一以及另一个所述床进行 所述烃混合物的所述载流吸附接触以便产生具有按重量计小 于1ppm的所述化合物的烃混合物的设置中,所述多重床设置 成用于交替操作,包括所述烃混合物的载流吸附接触,及所述 纳米多孔碳的再生以便从那里去除所述难熔芳香族含硫分子。
92.根据权利要求91所述的脱硫方法,其中,所述多重床是由多 个入口歧管和出口歧管集合而成的。
93.根据权利要求92所述的脱硫方法,进一步包括与所述出口歧 管相连通的蒸发器,以接收经过再生的纳米多孔碳的床的再生 流体,其中所述再生流体包括脱附的难熔芳香族含硫分子,所 述蒸发器适用于将贫硫蒸气从所述再生流体中蒸发,并产生富 硫流体,并且其中所述系统进一步包括再循环流动线路,再循 环流动线路设置成用于将所述贫硫蒸气回流至进行所述烃混 合物的载流吸附接触的另一个所述床。
94.根据权利要求93所述的脱硫方法,进一步包括设置有加氢脱 硫反应器,适用于接收来自所述蒸发器的所述富硫流体,以产 生加氢脱硫流体,以及氢气和硫化氢副产物。
95.根据权利要求94所述的脱硫方法,进一步包括设置有分离器, 该分离器设置成用于接收来自所述加氢脱硫反应器的所述加 氢脱硫流体,以及氢气和硫化氢副产物,以产生包括所述氢气 和硫化氢副产物的第一产物流,以及包括所述加氢脱硫流体的 第二产物流。
96.根据权利要求95所述的脱硫方法,进一步包括设置有用于混 合所述加氢硫化流体和具有按重量计小于1ppm的所述化合 物的所述烃混合物的混合器,以产生脱硫产物烃混合物。
97.根据权利要求96所述的脱硫方法,其中,所述纳米多孔碳包 括纳米多孔PVDC焦化材料。
98.根据权利要求97所述的脱硫方法,其中,所述脱硫产物烃混 合物包含按重量计每一种均小于一个ppm的二苯并噻吩、4- 甲基二苯并噻吩和4,6-二甲基二苯并噻吩。
99.根据权利要求98所述的脱硫方法,其中,所述纳米多孔碳具 有由尺寸范围为约0.3至约0.72纳米的裂缝状孔构成的至少 30%的总孔隙,以及包含直径<2纳米的孔的至少20%的总孔 隙,具有从约0.80至约2.0克每立方厘米的体积密度。
100.根据权利要求99所述的脱硫方法,正如在炼油厂中进行的。
101.一种基于吸附剂的储存和分配装置,包括:
具有内部容积的容器;
在所述内部容积中的多个单独的吸附剂制品;以及
连接结构,适用于将所述单独吸附剂制品彼此连接,以
使其位置稳定而不发生相互间的运动,其中所述连接结构固定 于所述容器。
102.根据权利要求101所述的装置,其中,所述连接结构包括穿过 所述单独吸附剂制品的至少一个杆,其中所述杆具有固定至所 述容器的第一端,以及与机械紧固件相连接的第二端。
103.根据权利要求102所述的装置,其中,所述机械紧固件包括带 螺纹的连接器。
104.根据权利要求102所述的装置,其中,所述杆在它的所述第一 端与所述容器进行螺纹接合。
105.根据权利要求102所述的装置,其中,所述容器包括固定有所 述连接结构的闭合构件。
106.根据权利要求101所述的装置,其中,所述单独吸附剂制品彼 此连接,形成不与所述容器的内表面相接触的所述单独吸附剂 制品的组件。
107.根据权利要求101所述的装置,其中,每一个所述单独吸附剂 制品为盘状,且所述盘状制品通过所述连接结构而连接,以形 成所述制品的位置固定的堆。
108.根据权利要求107所述的装置,其中,所述盘状制品每一个均 具有相同的尺寸,且所述堆为圆筒形。
109.根据权利要求108所述的装置,其中,所述连接结构包括穿过 所述堆沿平行于所述堆的中心轴的方向延伸的杆。
110.根据权利要求109所述的装置,其中,在所述堆中的最低端的 吸附剂制品具有腔,其中所述杆被固定于紧固件。
111.一种基于吸附剂的储存和分配装置,包括:
具有内部容积的容器:
在所述内部容积中并固定于所述容器的安装件;
多个单独的吸附剂制品,安装在所述内部容积中的所述 安装件上,以使所述单独的吸附剂制品位置稳定而不发生相互 间的运动。
112.根据权利要求111所述的装置,其中,所述安装件包括杆,且
所述单独的吸附剂制品内具有开口,当所述多个吸附剂制品安 装在所述杆上时,所述杆穿过所述开口。
113.根据权利要求111所述的装置,其中,所述安装件包括两个或 多个杆。
114.根据权利要求113所述的装置,其中,所述安装件包括两个杆。
115.根据权利要求114所述的装置,其中,所述两个杆为彼此空间 分离。
116.根据权利要求101所述的装置,其中,所述吸附剂包括碳。
117.根据权利要求111所述的装置,其中,所述吸附剂包括碳。
118.根据权利要求101所述的装置,其中,所述吸附剂包括碳,并 且每一个具有相同的尺寸和形状的所述单独的吸附剂制品形 成堆,其中所述单独吸附剂制品在所述堆中相互对齐。
119.根据权利要求118所述的装置,其中,堆中最上端的单独吸附 剂制品内具有开口,其中至少部分地设置有颗粒过滤器,其中
所述颗粒过滤器与用于从所述容器分配流体的阀组件相连接。
120.根据权利要求119所述的装置,其中,所述阀组件与所述容器 进行螺纹接合。
121.根据权利要求101所述的装置,其中,流体分配组件与所述容 器相连接。
122.根据权利要求121所述的装置,其中,所述流体分配组件包括 流量控制阀。
123.根据权利要求101所述的装置,其中,所述吸附剂具有储存于 其上的流体。
124.根据权利要求123所述的装置,其中,所述流体包括半导体制 造流体。
125.根据权利要求111所述的装置,其中,流体分配组件与所述容 器相连接。
126.根据权利要求125所述的装置,其中,所述流体分配组件包括 流量控制阀。
127.根据权利要求111所述的装置,其中,所述吸附剂具有储存于 其上的流体。
128.根据权利要求127所述的装置,其中,所述流体包括半导体制 造流体。
129.根据权利要求101所述的装置,进一步包括与所述多个单独吸 附剂制品中的至少一个单独的吸附剂制品相接触的密封垫。
130.根据权利要求111所述的装置,进一步包括与所述多个单独吸 附剂制品中的至少一个单独的吸附剂制品相接触的密封垫。
131.根据权利要求101所述的装置,进一步包括与所述多个单独吸 附剂制品中的至少一个单独的吸附剂制品相接触的衬垫元件。
132.根据权利要求111所述的装置,进一步包括与所述多个单独吸 附剂制品中的至少一个单独的吸附剂制品相接触的衬垫元件。
133.根据权利要求101所述的装置,进一步包括与所述多个单独吸 附剂制品中的至少一个单独的吸附剂制品相接触的压力分布 板。
134.根据权利要求111所述的装置,进一步包括与所述多个单独吸 附剂制品中的至少一个单独的吸附剂制品相接触的压力分布 板。
135.一种用于流体的吸着性储存和随后的分配的封装方法,所述方 法包括提供具有多个单独吸附剂制品的容器,所述单独吸附剂 制品通过连接结构彼此连接,以使其位置稳定而不发生相互间 的运动,将所述连接结构固定至所述容器,并将流体引入至所 述容器,所述多个吸附剂制品对所述流体具有吸着性亲和力, 通过所述多个吸附剂制品而储存。
136.根据权利要求135所述的方法,其中,所述单独吸附剂制品包 括碳吸附剂制品。
137.根据权利要求135所述的方法,其中,所述流体包括微电子器 件制造流体。
138.根据权利要求135所述的方法,其中,所述流体包括选自由有 机金属化合物、氢化物、卤化物和酸性气体组成的组的流体种 类。
139.一种红外发射装置,包括具有内部容积的容器,其内装有处于 吸附状态的硅烷气体,所述容器包括氧选择性渗透元件,其允 许氧从所述容器周围环境选择性地进入所述内部容积,以及在 所述内部容积中的绝缘介质适用于增大所述装置的红外发射 率。
140.根据权利要求139所述的装置,其中,所述硅烷气体在碳吸附 剂上保持吸附状态。
141.根据权利要求140所述的装置,其中,所述碳吸附剂为整块形 式。
142.根据权利要求139所述的装置,其中,所述绝缘介质包括硅基 气凝胶热绝缘体。
143.根据权利要求139所述的装置,其中,所述硅烷气体在低于大 气压下保持在所述内部容积中。
144.根据权利要求139所述的装置,其中,所述氧选择性渗透元件 包括氧选择性渗透膜。
145.根据权利要求139所述的装置,其中,所述容器包括在所述内 部容积中的反射性元件,其中所述反射性元件适用于降低热导 率热损失并控制发射率。
146.根据权利要求139所述的装置,装有足够的硅烷气体并允许足 够的氧进入,以产生至少5天的红外辐射信号。
147.根据权利要求139所述的装置,装有足够的硅烷气体并允许足 够的氧进入,以产生至少10天的红外辐射信号。
148.根据权利要求139所述的装置,装有足够的硅烷气体并允许足 够的氧进入,以产生至少15天的红外辐射信号。
149.根据权利要求139所述的装置,其中,所述容器由塑料材料制 成。
150.根据权利要求139所述的装置,其中,所述容器由玻璃材料制 成。
151.一种产生延长的红外辐射信号的方法,包括使氧渗透通过氧选 择性渗透元件,并使渗透的氧与保持吸附状态的硅烷反应,从 而产生所述辐射信号。
152.根据权利要求151所述的方法,其中,所述渗透的氧和硅烷在 装有吸附剂的容器中反应,吸附剂上具有吸附的所述硅烷。
153.根据权利要求152所述的方法,其中,所述吸附剂包括碳吸附 剂。
154.根据权利要求152所述的方法,其中,所述容器装有适用于通 过所述硅烷与渗透氧的反应而提高红外发射率的绝缘介质。
155.根据权利要求154所述的方法,其中,所述吸附剂包括整块式 的碳吸附剂。
156.一种流体储存和分配装置,包括装有碳吸附剂的流体储存和分 配容器、用于在分配条件下将流体从所述容器进行分配的分配 组件,以及适用于向碳吸附剂输入电能以进行其电阻和/或感 应加热以便使流体从所述碳吸附剂的脱附的电源组件。
157.根据权利要求156所述的装置,其中,所述电源组件包括适 用于向所述碳吸附剂传输电能的至少一个电极。
158.根据权利要求156所述的装置,其中,所述容器装有碳吸附 剂制品的堆叠阵列。
159.根据权利要求156所述的装置,其中,所述电源组件包括设置 成与所述碳吸附剂制品相接触的电极。
160.根据权利要求159所述的装置,其中,所述电源组件包括与所 述容器相连接的电传输线,所述容器包括导电材料。
161.根据权利要求160所述的装置,其中,所述导电材料包括金属。
162.根据权利要求160所述的装置,其中,所述金属包括选自由钢、 铁合金、铝、和钛组成的组的材料。
163.根据权利要求156所述的装置,其中,所述电源组件包括与所 述碳吸附剂相接触的多个电极。
164.根据权利要求156所述的装置,其中,所述碳吸附剂具有延长 长度的构造。
165.根据权利要求164所述的装置,其中,所述延长长度的构造包 括所述碳吸附剂的螺旋状构造。
166.根据权利要求164所述的装置,其中,所述延长长度构造的碳 吸附剂在其各端与所述电源组件相连接。
167.根据权利要求166所述的装置,其中,所述电源组件包括电源, 所述碳吸附剂通过电源线与所述电源相连接。
168.根据权利要求167所述的装置,其中,将所述电源设置为与所 述碳吸附剂进行可拆卸的连接。
169.根据权利要求156所述的装置,其中,所述电源组件包括惠斯 通桥路电路,包括作为其电阻元件的所述碳吸附剂。
170.根据权利要求156所述的装置,其中,所述电源组件包括射频 电源。
171.根据权利要求156所述的装置,其中,所述电源组件设置成用 于所述碳吸附剂的感应加热。
172.根据权利要求171所述的装置,其中,所述电源组件包括设置 成非接触式环绕至少一部分所述容器的线圈,用于所述碳吸附 剂的感应加热。
173.根据权利要求171所述的装置,其中,所述电源组件包括所述 容器中的第一变压器绕组,以及在所述容器之外的第二变压器 绕组,其中,所述第一和第二变压器绕组彼此电感耦合。
174.根据权利要求173所述的装置,其中,所述第二变压器绕组与 交流电源相连接。
175.根据权利要求156所述的装置,其中,所述电源组件包括设置 在所述容器内并向其外部延伸的电极,以及与所述容器接触的 电接头,其中所述容器包括金属材料。
176.根据权利要求175所述的装置,其中,所述电接头和所述电极 的外部通过电源相连接。
177.一种从碳吸附剂分配流体的方法,涉及流体从所述碳吸附剂的 脱附,所述方法包括向所述碳吸附剂输入电能,以实现其电阻 加热和/或感应加热。
178.根据权利要求177所述的方法,其中,所述吸附剂容纳在容器 中,且所述容器适用于在分配条件下从所述容器选择性分配流 体。
179.根据权利要求178所述的方法,其中,所述输入包括通过与所 述碳吸附剂相接触的至少一个电极而电阻加热。
180.根据权利要求178所述的方法,其中,对所述输入进行可控调 节,以实现剩余流体从所述碳吸附剂的脱附。
181.根据权利要求180所述的方法,其中,所述受调节的输入是响 应于对所述碳吸附剂或从其中脱附的流体的条件的监控来进 行的。
182.根据权利要求182所述的方法,其中,所述条件包括所述碳吸 附剂的温度。
183.根据权利要求182所述的方法,其中,所述条件包括脱附流体 的压力。
184.根据权利要求178所述的方法,其中,所述碳吸附剂为延长长 度的构造。
185.根据权利要求184所述的方法,其中,所述延长长度的构造包 括螺旋状构造。
186.根据权利要求178所述的方法,其中,所述输入包括所述碳吸 附剂的感应加热。
187.根据权利要求187所述的方法,其中,所述感应加热包括在所 述碳吸附剂中来自与第二变压器绕组发生电感耦合的第一变 压器绕组的涡电流的感应,其中所述第二变压器绕组与交流电 源相连接。
188.根据权利要求187所述的方法,其中,所述输入包括射频电源 的使用。
189.根据权利要求187所述的方法,其中,所述输入包括经由围绕 所述碳吸附剂的线圈通过交流电流。
190.根据权利要求189所述的方法,其中,所述碳吸附剂被容纳在 位于所述线圈内的容器中。
191.根据权利要求178所述的方法,其中,所述输入包括所述碳吸 附剂的电阻加热,其中所述碳吸附剂包括惠斯通桥组件的电 阻。
192.一种减少容器中吸附流体的后跟的方法,所述容器包含碳吸附 剂,所述碳吸附剂上具有所述吸附流体,所述方法包括,向所 述碳吸附剂输入电能用于所述碳吸附剂的电阻加热和/或感应 加热,以使流体后跟从那里脱附。
193.根据权利要求192所述的方法,进一步包括脱附的流体后跟在 流体利用工艺中的使用。
194.根据权利要求193所述的方法,其中,所述流体利用工艺包括 微电子器件制造方法。
195.根据权利要求194所述的方法,其中,所述微电子器件制造方 法包括离子注入。
196.根据权利要求193所述的方法,其中,所述碳吸附剂包括活性 炭吸附剂。
197.一种流体输送方法,包括将吸附状态的流体提供至活性炭上;
从所述活性炭选择性地分配流体;以及当预定的余量流体仍吸 附在所述碳吸附剂上时,通过所述碳吸附剂的电阻加热和/或 感应加热,对所述吸附剂进行电加热,以除去所述剩余流体。
198.根据权利要求197所述的方法,进一步包括使用所述除去的剩 余流体制造微电子器件。
199.根据权利要求198所述的方法,其中,所述碳吸附剂容纳在流 体储存和分配容器中。
200.一种半导体制造设备,包括根据权利要求156所述的装置。
201.根据权利要求200所述的设备,其中,所述设备包括设置成用 于接收从所述碳吸附剂脱附的流体的离子注入机。
202.一种流体利用工艺系统,包括根据权利要求156所述的装置, 及适用于接收从所述碳吸附剂脱附的流体的流体利用装置。
203.根据权利要求156所述的装置,包括吸附在所述碳吸附剂上的 流体。
204.根据权利要求203所述的装置,其中,所述流体包括电子器件 制造流体。
205.根据权利要求204所述的装置,其中,所述微电子器件制造流 体包括选自由砷化氢、磷化氢、氨、三氟化硼、三氯化硼、乙 硼烷、有机金属物质、三氟化氮,和氯化氢组成的组的流体。
206.根据权利要求178所述的方法,其中,所述流体包括微电子器 件制造流体。
207.根据权利要求206所述的方法,其中,所述微电子器件制造流 体包括选自由砷化氢、磷化氢、氨、三氟化硼、三氯化硼、乙 硼烷、有机金属物质、三氟化氮,和氯化氢组成的组的流体。
208.一种用于提高多孔碳吸附剂的负载容量的方法,包括:
在所述碳吸附剂上吸附水蒸汽;
在100磅每平方英寸至500磅每平方英寸的压力范围内 将所述碳吸附剂与惰性气体相接触,;
在真空下除去所述惰性气体,并将含有吸附的水蒸汽的 所述碳吸附剂加热至100℃至300℃的温度范围。
209.根据权利要求208所述的方法,其中,所述惰性气体包括氦气、 氩气、氪气和氙气中的至少一种。
210.根据权利要求209所述的方法,其中,所述惰性气体包括氦气。
211.根据权利要求209所述的方法,其中,所述碳吸附剂为大块的 整块形式。
212.根据权利要求211所述的方法,其中,所述大块的整块形式包 括所述碳吸附剂的圆盘。
213.根据权利要求212所述的方法,其中,所述圆盘成堆叠阵列。
214.根据权利要求208所述的方法,其中,所述碳吸附剂在流体储 存和分配容器中。
215.根据权利要求214所述的方法,其中,所述流体储存和分配容 器具有阀头组件。
216.根据权利要求208所述的方法,其中,所述碳吸附剂对于包含 卤化物气体种类的气体具有增大的负载容量。
217.根据权利要求216所述的方法,其中,所述卤化物气体种类包 括选自由三氟化硼、乙硼烷、三氯化硼、三氟化磷、五氟化砷、 四氯化硅,和四氟化锗组成的组中的气体种类。
218.根据权利要求216所述的方法,其中,所述卤化物气体种类包 括三氟化硼。
219.一种流体储存和分配装置,包括含有多孔碳吸附剂的容器,适 用于流体在所述碳吸附剂上的储存及从所述容器分配所述流 体,其中,所述碳吸附剂已通过预处理方法进行预处理,该预 处理方法包括:
在所述碳吸附剂上吸附水蒸汽;
在100磅每平方英寸至500磅每平方英寸的压力范围内, 使所述碳吸附剂与惰性气体相接触;以及
在真空下除去所述惰性气体之后,将含有吸附的水蒸汽 的所述碳吸附剂加热至100℃至300℃的温度范围。
220.根据权利要求219所述的流体储存和分配装置,包括固定至所 述容器的阀头组件。
221.根据权利要求219所述的流体储存和分配装置,包括含有选自 由三氟化硼、乙硼烷、三氯化硼、三氟化磷、五氟化砷、四氯 化硅,和四氟化锗组成的组的流体种类的流体。
222.根据权利要求289所述的流体储存和分配装置,包括三氟化 硼。
223.一种用于提高多孔碳吸附剂的负载容量的方法,包括将所述碳 吸附剂与溶胀剂相接触,随后,将所述碳吸附剂与加压的气态 渗透剂相接触,随后除去所述溶胀剂和渗透剂。
224.根据权利要求223所述的方法,其中,所述除去包括从所述多 孔碳的孔隙真空抽提所述溶胀剂和渗透剂。
225.根据权利要求223所述的方法,其中,所述除去包括加热所述 多孔碳,以使其内的任何剩余的溶胀剂和渗透剂挥发。
226.根据权利要求223所述的方法,其中,所述溶胀剂包括选自由 水、醚和醇组成的组的制剂。
227.根据权利要求223所述的方法,其中,所述渗透剂包括惰性气 体。
228.根据权利要求223所述的方法,其中,所述渗透剂包括选自由 氦气、氩气、氪气,和氖气组成的组的制剂。
本发明涉及具有流体储存/分配及脱硫应用用途的碳质材料,并 涉及利用其的装置和方法。
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