放电电极

阅读:1046发布:2020-06-02

专利汇可以提供放电电极专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供一种电晕放电用放电 电极 ,在前端尖锐的前部中异物难于附着,且即使附着也被吹跑,抑制异物附着而实现长期维持良好的放电特性。本发明的放电电极(100)具备:内部具有气体流路(111)的基体部(110)、一部分是尖头体(121),在内部具有连通到该尖头体(121)倾斜面(121a)的倾斜面吹出流路(123)的前端部(120),其中,前端部(120)以使尖头体(121)从基体部(110)突出的状态机械式固定在基体部(110),与基体部(110)电连接,且把基体部(110)的气体流路(111)与倾斜面吹出流路(123)连通。,下面是放电电极专利的具体信息内容。

1、一种放电电极,其特征在于,具备:
由电导体形成且内部具有气体流路的基体部、
由电导体形成且一部分是尖头体而在内部具有连通到该尖头体倾斜面 的倾斜面吹出流路的前端部,
前端部以使尖头体从基体部突出的状态机械式固定在基体部,并与基 体部电连接,且把基体部的气体流路与倾斜面吹出流路连通。
2、如权利要求1所述的放电电极,其特征在于,
所述前端部是把由电导体形成的多个小物体固接并形成包含尖头体的 形状,利用多个小物体之间的间隙来形成倾斜面吹出流路。
3、如权利要求1所述的放电电极,其特征在于,
所述前端部是把由电导体形成的多个直中实棒体固接并形成包含尖头 体的形状,利用多个直中实棒体之间的间隙来形成倾斜面吹出流路。
4、如权利要求1所述的放电电极,其特征在于,
所述前端部是把由电导体形成的多个直中空管体固接并形成包含尖头 体的形状,利用多个直中空管体之间的间隙和管内空间来形成倾斜面吹出 流路。
5、如权利要求1所述的放电电极,其特征在于,
所述前端部把作为具有柔性的电导体并且在表面形成有多个凸部的片 状体卷绕成螺旋状并形成包含尖头体的形状,利用邻接的两个片状体与凸 部的间隙空间来形成倾斜面吹出流路。
6、如权利要求1所述的放电电极,其特征在于,
所述前端部是在由电导体形成的针状体周围固定一个直中空管体并形 成包含尖头体的形状,利用针状体与直中空管体的间隙空间来形成倾斜面 吹出流路。
7、如权利要求1所述的放电电极,其特征在于,
所述前端部形成为:在由电导体形成的针状体周围固定半径不同的多 个直中空管体以成为多重圆筒状并形成包含尖头体的形状,并且利用针状 体与直中空管体的间隙空间来形成倾斜面吹出流路。
8、如权利要求1所述的放电电极,其特征在于,
所述前端部形成为:把由电导体形成的针状体固定在所述基体部并形 成包含尖头体的形状,并且利用针状体与所述基体部的间隙空间来形成倾 斜面吹出流路。
9、如权利要求1~权利要求8任一项所述的放电电极,其特征在于,
所述前端部的尖头体是多棱锥体或圆锥体。

说明书全文

技术领域

发明涉及电晕放电用的放电电极

背景技术

作为电晕放电用放电电极的现有技术,例如知道有专利文献1(特开 2007-134141号公报发明名称离子化装置的电极针单元和离子化装置) 记载的发明。
在专利文献1记载的现有技术中,电极针在靠近电极针基部侧的一部 分被支承部件所支承,而空气在电极针前端部周围流动。由此,使处于电 极针前端附近的尘埃、灰尘等被空气吹跑,不使尘埃、灰尘等附着。
作为其他的现有技术,例如知道有专利文献2(特开平8-88074号公报, 发明名称是离子发生装置用放电电极)记载的发明。
而且作为其他的现有技术,例如知道有专利文献3(特开2004-247107 号公报,发明名称是喷嘴型放电电极)记载的发明。
在这些专利文献2、3记载的现有技术中,把喷嘴前端形成针状,使离 子承载在从喷嘴中央吹出的高速中而把离子搬送到远距离。这些专利文 献2、3记载的现有技术的放电电极也希望有利用风使尘埃、灰尘难于附着 的效果。
专利文献1:特开2007-134141号公报(段落号[0055],图1)
专利文献2:特开平8-88074号公报(图1,图2)
专利文献3:特开2004-247107号公报(图1,图2)
在专利文献1记载的现有技术中,把电极针的前端周围作为空气流动 的空间,但由于前端附近电极针尖锐,所以随着空气流动的空间增大而空 气分散流动,特别是在前端附近的倾斜面处,空气的分散变显著而空气的 势头变弱,万一在电极针的针前端倾斜面处有尘埃、灰尘、烷等(以 下叫做异物)附着,则用空气除去并不容易,有可能就有微小的异物堆积。 特别是在硅树脂制品包含的低分子硅氧烷挥发成气体状的硅氧烷堆积附着 的硅氧烷是异物的情况下,在制造半导体用硅晶片等的无尘车间中若附着 在电路的表面,则会引起触点障碍,因此特别有问题。
专利文献2、3记载的现有技术中,异物附着在电极针前端侧的可能性 被降低,但若异物附着在电极针的倾斜面和侧面,在没有空气流动时就有 可能有微小异物堆积。由于电极不是尖锐的前部,所以与针状电极相比还 有放电特性不良好的问题。
也就是说,即使在放电电极的倾斜面内侧和外侧都有空气流流动,也 存在异物容易附着并有可能放电特性恶化的问题。而且有把放电电极设定 成尖锐前部,即使与针状的放电电极比较也确保放电特性不恶化的要求。

发明内容

于是本发明是为了解决上述课题而开发的,其目的在于提供一种电晕 放电用放电电极,在前端尖锐的前部中异物难于附着,且即使附着也被吹 跑,抑制异物附着而实现长期维持良好的放电特性。
本发明内容1的放电电极具备:
由电导体形成且内部具有气体流路的基体部、
由电导体形成且一部分是尖头体而在内部具有连通到该尖头体倾斜面 的倾斜面吹出流路的前端部,其中,
前端部以使尖头体从基体部突出的状态机械式固定在基体部,并与基 体部电连接,且把基体部的气体流路与倾斜面吹出流路连通。
本发明内容2的放电电极是在
本发明内容1记载的放电电极中,
所述前端部是把由电导体形成的多个小物体固接并形成包含尖头体的 形状,利用多个小物体之间的间隙来形成倾斜面吹出流路。
本发明内容3的放电电极是在
本发明内容1记载的放电电极中,
所述前端部是把由电导体形成的多个直中实棒体固接并形成包含尖头 体的形状,利用多个直中实棒体之间的间隙来形成倾斜面吹出流路。
本发明内容4的放电电极是在
本发明内容1记载的放电电极中,
所述前端部是把由电导体形成的多个直中空管体固接并形成包含尖头 体的形状,利用多个直中空管体之间的间隙和管内空间来形成倾斜面吹出 流路。
本发明内容5的放电电极是在
本发明内容1记载的放电电极中,
所述前端部把作为具有柔性的电导体并且在表面形成有多个凸部的片 状体卷绕成螺旋状并形成包含尖头体的形状,利用邻接的两个片状体与凸 部的间隙空间来形成倾斜面吹出流路。
本发明内容6的放电电极是在
本发明内容1记载的放电电极中,
所述前端部是在由电导体形成的针状体周围固定一个直中空管体并形 成包含尖头体的形状,利用针状体与直中空管体的间隙空间来形成倾斜面 吹出流路。
本发明内容7的放电电极是在
本发明内容1记载的放电电极中,
所述前端部形成为:在由电导体形成的针状体周围固定半径不同的多 个直中空管体以成为多重圆筒状并形成包含尖头体的形状,并且利用针状 体与直中空管体的间隙空间来形成倾斜面吹出流路。
本发明内容8的放电电极
所述前端部形成为:把由电导体形成的针状体固定在所述基体部并形 成包含尖头体的形状,并且利用针状体与所述基体部的间隙空间来形成倾 斜面吹出流路。
本发明内容9的放电电极是在
本发明内容1~本发明内容8任一项记载的放电电极中,
所述前端部的尖头体是多棱锥体或圆锥体。
根据以上的本发明,能够提供一种电晕放电用放电电极,在前端尖锐 的前部中异物难于附着,且即使附着也被吹跑,抑制异物附着而实现长期 维持良好的放电特性。
附图说明
图1是用于实施本发明的实施例放电电极的说明图,图1(a)是放电 电极的立体外观图,图1(b)是放电电极的俯视图,图1(c)是前端部的 局部放大图;
图2是其他实施例放电电极的说明图,图2(a)是放电电极的立体外 观图,图2(b)是放电电极的俯视图,图2(c)是前端部的放大图,图2 (d)是其他前端部的俯视放大图;
图3是其他实施例放电电极的说明图,图3(a)是放电电极的立体外 观图,图3(b)是放电电极的俯视图,图3(c)是前端部的俯视放大图, 图3(d)是前端部的侧剖视图;
图4是前端部的说明图,图4(a)是制造前前端部的俯视图,图4(b) 是制造前前端部的主视图,图4(c)是制造前其他前端部的主视图;
图5是其他实施例放电电极的说明图,图5(a)是放电电极的立体外 观图,图5(b)是放电电极的俯视图,图5(c)是前端部的侧剖视图;
图6是其他实施例放电电极的说明图,图6(a)是放电电极的立体外 观图,图6(b)是放电电极的俯视图;
图7是其他实施例放电电极的说明图,图7(a)是前端部的立体外观 图,图7(b)是针状体支承部的说明图,图7(c)是连接部的说明图,图 7(d)是连接部的说明图,图7(e)是前端部的剖视图;
图8是说明放电电极被附着异物情况的照片,图8(a)是现有方式放 电电极的照片,图8(b)是本发明放电电极使用初期的照片,图8(c)是 本发明放电电极经过规定期间后的照片;
图9是其他实施例放电电极的说明图,图9(a)是放电电极的立体外 观图,图9(b)是放电电极的俯视图,图9(c)是前端部的侧剖视图。
符号说明
100放电电极    110基体部    111气体流路    120前端部
121尖头体    121a倾斜面    122小物体
123倾斜面吹出流路(间隙)
200放电电极    210基体部    211气体流路    220前端部
221尖头体    221a倾斜面    222直中实圆棒体(圆棒)
223倾斜面吹出流路(间隙)    224直中空圆管体(圆管)
225倾斜面吹出流路(间隙、管内空间)
300放电电极    310基体部    311气体流路    320前端部
321尖头体    321a倾斜面    322片状体    322a倾斜部
323凸部    324倾斜面吹出流路(间隙)    325轴部
400放电电极    410基体部    411气体流路    420前端部
421尖头体    422倾斜面    423直中空管体    424支承部
425倾斜面吹出流路(间隙空间)
500放电电极    510基体部    511气体流路    520前端部
521尖头体    522倾斜面    523直中空管体
523a直中空管体(大)    523b直中空管体(中)
523c直中空管体(小)    524支承部(突起)
525倾斜面吹出流路(间隙)
600放电电极    610基体部    611气体流路    620前端部
621针状体    622倾斜面    623支承部
624倾斜面吹出流路(间隙空间)

具体实施方式

下面按照附图说明用于实施本发明的实施例。图1是本实施例放电电 极的说明图,图1(a)是放电电极的立体外观图,图1(b)是放电电极的 俯视图,图1(c)是前端部的局部放大图。放电电极100具备基体部110 和前端部120。
基体部110由电导体形成,且其内部具有气体流路111。气体在该气体 流路111流通。本说明书中的气体是空气(被洗净的空气)、氮气等不反应 气体、稀有气体等,至少是指能够向被去除静电物喷射的气体。本实施例 的基体部100被形成为具有一定长度的圆管体,圆管体内部的中空内部成 为气体流路111。
前端部120的至少一部分被形成为圆锥体即尖头体121。本实施例的前 端部120被形成为倒塔状。前端部120的尖头体121以外剩余部位的安装 部被形成圆柱状。该安装部与气体流路111的形状和径一致。在此,如图1 (c)所示,前端部120是把电导体即小物体122(本实施例是由金属等电 导体制作的球体)集合多个并仅把小物体122彼此之间的接触面固接而形 成的物体。这是在球体即小物体122的表面形成由焊料形成的覆盖膜,在 另外准备的夹具的与前端部同一形状的孔部内配置多个小物体122,然后加 热而使焊料熔化,之后冷却并固接而形成。通过选择熔点比放电电极100 放电时温度高的焊料就能够作为电极使用。这样形成的前端部120则形成 有图1(a)、图1(b)、图1(c)所示那样的间隙,利用该间隙就在内部形 成了连通到尖头体121的倾斜面121a的倾斜面吹出流路123。该倾斜面吹 出流路123是不会中断的连续空间。
该前端部120中的尖头体121以从基体部110突出的状态例如通过焊 接进行机械固定而制作完成放电电极100。由此,基体部110与前端部120 就被电连接,而且基体部110的气体流路111与前端部120的倾斜面吹出流 路123被连通。
当把气体向该放电电极100的基体部110供给,则通过气体流路111 而把气体向前端部120的倾斜面吹出流路123导入,成为在尖头部120的 倾斜面121a大致整个区域喷射气体的状态。该放电电极100中当有浮游的 异物靠近倾斜面121a时则被喷射的气体向远方吹跑,在倾斜面121a整个面 中有异物附着的可能性明显降低。
本实施例是把小物体122假想成球体进行的说明,但旨趣并不限定于 是球体,例如能够使用由具有导电性的材料形成的椭圆体、多边形体、具 有凹凸的不特定形状的小物体等。
尖头体121的旨趣并不限定于是圆锥体,例如能够形成多棱锥体(三 棱锥、六棱锥等)。
基体部110也并不限定于是圆管体,也可以采用具有多边形孔的管体、 把管体与外周面的其他立体(固定用的突体等)形成一体的形状等。
只要这样一边供给气体一边施加直流或交流的高电压,则在尖头体121 通过电晕放电而直流生成正离子或负离子,且交流生成正离子和负离子(以 下在考虑直流和交流的基础上单叫做离子),利用气体喷射而把离子向远方 喷射并到达被去除静电物。
根据这种放电电极100,由于与大致完全的尖头体121无关地而在尖头 体121倾斜面121a的大致整个面进行气体喷射,所以利用气体喷射而使异 物特别是气体状的硅氧烷不能够到达尖头体121的倾斜面121a,具有绝缘 性的硅氧烷等异物不附着,能够使放电电极长期间维持良好的放电特性, 而且还不可能把硅氧烷等异物向被去除静电物喷射,对被去除静电物仅可 靠地进行除静电。由于利用来自倾斜面121a的喷射气体而使生成的离子从 放电电极100向远方离去,所以使离子可靠地到达被去除静电物表面。
接着按照附图说明本发明的其他实施例。图2是其他实施例放电电极 的说明图,图2(a)是放电电极的立体外观图,图2(b)是放电电极的俯 视图,图2(c)是前端部的放大图,图2(d)是其他前端部的俯视放大图。 放电电极200具备基体部210和前端部220。
基体部210由电导体形成,且其内部具有气体流路211。气体在该气体 流路211流通。本实施例的基体部210被形成为圆管体,管内的中空内部 成为气体流路211。
前端部220的至少一部分被形成为圆锥体即尖头体221。本实施例的前 端部220被形成为倒塔状。前端部220的尖头体221以外剩余部位的安装 部被形成圆柱状。该安装部与气体流路211的形状和径一致。在此,前端 部210是把电导体即直中实棒体222(本实施例是由电导体制作的直圆棒) 集合多个并仅把直中实棒体222之间的接触面固接而形成的物体。这是在 直圆棒即直中实棒体222的表面形成由焊料形成的覆盖膜,在另外准备的 夹具的圆孔部内配置多个直中实棒体222,然后加热而使焊料熔化而形成。 通过选择熔点比放电电极200放电时温度高的焊料就能够作为电极使用。 进一步把前端进行切削加工而形成尖头体221。这样形成的前端部220则如 图2(a)、图2(b)、图2(c)所示那样在直中实棒体222之间形成间隙, 并在内部形成了连通到该尖头体221的倾斜面221a的倾斜面吹出流路223。 该倾斜面吹出流路223是在周方向和半径方向上不连续而仅在上下方向连 续的直线状多个空间。
该尖头体221以从基体部210突出的状态例如通过焊接进行机械固定 而制作完成放电电极200。由此,基体部210与前端部220就被电连接,而 且基体部210的气体流路211与前端部220的倾斜面吹出流路223被连通。
当把气体向该放电电极200的基体部210供给,则通过气体流路211 而把气体向前端部220的倾斜面吹出流路223导入,成为倾斜面221a大致 整个区域喷射气体的状态。该放电电极200中当有浮游的异物靠近倾斜面 221a时则被喷射的气体向远方吹跑,在倾斜面221a整个面中有异物附着的 可能性明显降低。
只要这样一边供给气体一边施加直流或交流的高电压,则在尖头体221 通过电晕放电而生成离子,利用气体喷射而把离子向远方喷射并到达被去 除静电物。
作为本实施例的特点是气体喷射方向限定于是下方,所以利用喷射气 体而把离子向下方喷射使可靠到达被去除静电物。
本实施例是把直中实棒体假想成圆棒进行的说明,但旨趣并不限定于 是圆棒,例如能够使用椭圆棒、具有多边形的方棒等。
尖头体221的旨趣并不限定于是圆锥体,例如能够形成多棱锥体(三 棱锥、六棱锥等)。
基体部210也并不限定于是圆管体,也可以采用具有多边形孔的管体、 把管体与其他立体(固定用的突体等)形成一体的形状等。
根据这种放电电极200,利用气体喷射而特别使尖头体221的倾斜面 221a没有异物附着,能够维持良好的放电特性。由于利用来自倾斜面221a 的向下方的喷射气体而使生成的离子从放电电极向远方离去,所以使离子 可靠地到达被去除静电物表面。
接着按照附图说明本发明的其他实施例。本实施例是在前面使用图2 说明的放电电极200中代替圆棒等直中实棒体而采用圆管等直中空管体来 作为前端部,是把前面的实施例进行改良。该放电电极200的基体部210 具有与先前说明相同的结构,所以省略重复的说明而仅说明不同点的前端 部210。
前端部220的至少一部分被形成为圆锥体即尖头体221。本实施例的前 端部220被形成为倒塔状。前端部220的尖头体221以外剩余部位的安装 部被形成圆柱状。该安装部与气体流路211的形状、直径一致。在此,前 端部210是把电导体即直中空管体224(本实施例是由电导体制作的直线状 圆管)集合多个并仅把直中空管体224彼此之间的接触面固接而形成的物 体。这是在圆管即直中空管体224的外周表面形成焊料的覆盖膜,在另外 准备的夹具的圆孔部内配置多个直中空管体224,然后加热而使焊料熔化而 形成。通过选择熔点比放电电极200放电时温度高的焊料就能够作为电极 使用。进一步把前端进行切削加工而形成尖头体221。这样形成的前端部 220通过如图2(d)所示那样在直中空管体之间形成间隙和管内空间,而 在内部形成了连通到该尖头体221的倾斜面221a的倾斜面吹出流路225。 该倾斜面吹出流路225是在周方向、半径方向上不连续而仅在上下方向连 续的直线状的多个空间。
该尖头体221以从基体部210突出的状态例如通过焊接进行机械固定 而制作完成放电电极200。由此,基体部210与前端部220就被电连接,而 且基体部210的气体流路211与前端部220的倾斜面吹出流路225被连通。
当把气体向该放电电极200的基体部210供给时,则通过气体流路211 而把气体向前端部220的倾斜面吹出流路225导入,成为倾斜面221a大致 整个区域喷射气体的状态。该放电电极200中当有浮游的异物靠近倾斜面 221a时则被喷射的气体向远方吹跑,在倾斜面221a整个面中有异物附着的 可能性明显降低。
只要这样一边供给气体一边施加直流或交流的高电压,则在尖头体221 通过电晕放电而生成离子,利用气体喷射而把离子向远方喷射并到达被去 除静电物。
作为本实施例的特点是气体喷射方向限定于是下方,且通过利用直圆 管224的管内空间使流路增加的倾斜面吹出流路225可靠地进行气体喷射, 利用喷射气体把离子向下方喷射而使离子可靠到达被去除静电物。
本实施例是把直中空管体224假想成圆管体进行的说明,但旨趣并不 限定于是圆管体,例如能够使用椭圆管体、具有多边形孔的管等。
尖头体221的旨趣并不限定于是圆锥体,例如能够形成多棱锥体(三 棱锥、六棱锥等)。
基体部210也并不限定于是圆管体,也可以采用具有多边形孔的管体、 把管体与外周面的其他立体(固定用的突体等)形成一体的形状等。
根据这种放电电极200,利用气体喷射而特别使尖头体221的倾斜面 221a没有异物附着,能够维持良好的放电特性。由于利用来自倾斜面221a 的向下方的喷射气体而使生成的离子从放电电极向远方离去,所以使离子 可靠地到达被去除静电物表面。
接着按照附图说明本发明的其他实施例。图3是其他实施例放电电极 的说明图,图3(a)是放电电极的立体外观图,图3(b)是放电电极的俯 视图,图3(c)是前端部的俯视放大图,图3(d)是前端部的侧剖视图。 图4是前端部的说明图,图4(a)是制造前前端部的俯视图,图4(b)是 制造前前端部的主视图,图4(c)是制造前其他前端部的主视图。放电电 极300具备基体部310和前端部320。
基体部310由电导体形成,且其内部具有气体流路311。气体在该气体 流路311流通。本实施例的基体部310被形成为圆管体,管内的中空内部 成为气体流路311。
前端部320的至少一部分被形成为圆锥体即尖头体321。本实施例的前 端部320被形成为倒塔状。前端部320的尖头体321以外剩余部位的安装 部被形成圆柱状。该安装部与气体流路311的形状、直径一致。在此,前 端部320是由具有柔性的电导体(例如金属板等)形成,如图4(a)、图4 (b)所示,是把表面随机配置有多个凸部323而形成的片状体322卷绕成 螺旋状,形成包含尖头体321并且仅接触面固接而形成的物体。这是在片 状体322和凸部323的表面形成焊料的覆盖膜,在另外准备的夹具的圆孔 部内配置卷绕状态的片状体322,然后加热而使焊料熔化所形成。通过选择 熔点比放电电极300放电时温度高的焊料就能够作为电极使用。本实施例 由于把片状体的一个边形成为倾斜部322a,所以当卷绕片状体322就能够 成为螺旋状的尖锐前部,因此不需要切削加工。这样形成的前端部320则 如图3(c)、图3(d)所示那样利用邻接的两个片状体322和凸部323而形 成间隙空间,并在内部形成连通到该尖头体321的倾斜面321a的倾斜面吹 出流路224。该倾斜面吹出流路324是在螺旋方向上也连续的空间。
该尖头体321以从基体部310突出的状态例如通过焊接进行机械固定 而完成放电电极300。由此,与基体部310被电连接,而且基体部310的气 体流路311与前端部320的倾斜面吹出流路324被连通。
当把气体向该放电电极300的基体部310供给,则通过气体流路311 而把气体向前端部320的倾斜面吹出流路324导入,成为倾斜面321a大致 整个区域喷射气体的状态。该放电电极300中当有浮游的异物靠近倾斜面 321a时则被喷射的气体向远方吹跑,在倾斜面321a整个面中有异物附着的 可能性明显降低。
只要这样一边供给气体一边施加直流或交流的高电压,则在尖头体321 通过电晕放电而生成离子,利用气体喷射而把离子向远方喷射并到达被去 除静电物。
作为本实施例的特点是气体喷射方向限定于是下方,所以利用喷射气 体而把离子向下方喷射使可靠到达被去除静电物。
本实施例是假想图4(a)、图4(b)所示那样的形成有凸部323的片 状体322进行的说明,但旨趣并不限定于是该片状体322,例如也可以如图 4(c)所示那样,在片状体322的一个边设置成为卷绕用的轴的轴部325。
尖头体221的旨趣并不限定于是圆锥体,例如能够形成多棱锥体(三 棱锥、六棱锥等)。
也可以把没有倾斜部的长方形片状体322卷绕固接而形成圆柱体,把 该圆柱体的前端进行切削加工来形成尖头体321。
凸部323也可以不像图4(b)、图4(c)那样随机配置,而是格子状 和交叉状那样具有规律性地配置。
基体部310也并不限定于是圆管体,也可以采用具有多边形孔的管体、 把管体与外周面的其他立体(固定用的突体等)形成一体的形状等。
根据这种放电电极300,利用气体喷射而特别使尖头体321的倾斜面 321a没有异物附着,能够维持的放电特性。
由于利用来自倾斜面321a的向下方的喷射气体而使生成的离子从放电 电极向远方离去,所以使离子可靠地到达被去除静电物表面。
接着按照附图说明本发明的其他实施例。图5是其他实施例放电电极 的说明图,图5(a)是放电电极的立体外观图,图5(b)是放电电极的俯 视图,图5(c)是前端部的侧剖视图。放电电极400具备基体部410和前 端部420。
基体部410由电导体形成,且其内部具有气体流路411。气体在该气体 流路411流通。本实施例的基体部410被形成为圆管体,管内的中空内部 成为气体流路411。
前端部420把由电导体形成的针状体421和在其周围与针状体421半 径不同的直中空管体423由支承部424利用焊料和钎焊等固定,形成得 使针状体421的前端和直中空管体423的端部位于倾斜面422内,制成这 种具有倾斜面422的尖头体。该倾斜面422还包含有基体部410的端部。 这时成为针状体421从直中空管体423突出的结构。利用针状体421与直 中空管体423的间隙空间则形成倾斜面吹出流路425。本实施例还包含直中 空管体423与基体部410的间隙空间。通过选择熔点比放电电极400放电 时温度高的焊料就能够作为电极使用。这样形成的前端部420则如图5(a)、 图5(b)、图5(c)所示那样形成有间隙,并在内部形成了连通到该尖头体 的倾斜面422的倾斜面吹出流路425。
该尖头体以从基体部410突出的状态例如通过焊接进行机械固定而完 成放电电极400。由此,基体部410与前端部420就被电连接,而且基体部 410的气体流路411与前端部420的倾斜面吹出流路425被连通。
当把气体向该放电电极400的基体部410供给时,则通过气体流路411 而把气体向前端部420的倾斜面吹出流路425导入,成为倾斜面422的大 致整个区域,特别是针状体421周围的整个区域喷射气体的状态。该放电 电极400中当有浮游的异物靠近倾斜面422时则被喷射的气体向远方吹跑, 在针状体421整个面中有异物附着的可能性明显降低。
只要这样一边供给气体一边施加直流或交流的高电压,则在尖头体中 的特别是针状体通过电晕放电而生成离子,利用气体喷射而把离子向远方 喷射并到达被去除静电物。
作为本实施例的特点是气体喷射方向限定于是下方,所以利用喷射气 体而把离子向下方喷射使可靠到达被去除静电物。
本实施例是把基体部、前端部的管体作为圆管体进行的说明,但也并 不限定于是圆管体,也可以采用具有多边形孔的管体、把管体与其外周面 的其他立体(固定用的突体等)形成一体的形状等。
根据这种放电电极400,利用气体喷射而使尖头体的倾斜面422,特别 是针状体421没有异物附着,能够维持放电特性。由于利用向下方的喷射 气体而使生成的离子从放电电极向远方离去,所以使离子可靠地到达被去 除静电物。
接着按照附图说明本发明的其他实施例。图6是其他实施例放电电极 的说明图,图6(a)是放电电极的立体外观图,图6(b)是放电电极的俯 视图。图7是其他实施例放电电极的说明图,图7(a)是前端部的立体外 观图,图7(b)是针状体支承部的说明图,图7(c)是连接部的说明图, 图7(d)是连接部的说明图,图7(e)是前端部的剖视图。放电电极500 具备基体部510和前端部520。
基体部510由电导体形成,且其内部具有气体流路511。气体在该气体 流路511流通。本实施例的基体部510被形成为圆管体,管内的中空内部 成为气体流路511。
前端部520把由电导体形成的针状体521和在其周围半径不同的多个 直中空管体523由支承部524利用焊料和银钎焊等固定,形成得使针体521 的前端和直中空管体523的端部位于倾斜面522内,制成这种具有倾斜面 522的尖头体。该倾斜面522还包含有基体部510的端部。这时针状体成为 521从直中空管体523突出的结构。在此,更具体则如图7(a)所示那样, 只要由径分别不同的直中空管体(大)523a、直中空管体(中)523b、直 中空管体(小)523c这三个圆管体形成便可。且作为支承部524则如图7 (b)所示那样设定成从针状体521突出的突起,从一侧插入到直中空管体 523内部设置的槽部523a,如图7(c)、图7(d)所示那样成为不能旋转、 不能滑动的状态,利用焊料、银钎焊等牢固固定而形成连接部便可。利用 针状体521与直中空管体523的间隙空间和邻接的两个直中空管体523的 间隙空间则形成倾斜面吹出流路525。本实施例还包含直中空管体523与基 体部510的间隙空间。通过选择熔点比放电电极500放电时温度高的焊料 就能够作为电极使用。这样形成的前端部520则如图6(a)、图6(b)、图 7(a)、图7(e)所示那样形成有间隙空间,并在内部形成了连通到该尖头 体的倾斜面522的倾斜面吹出流路525。
该尖头体以从基体部510突出的状态例如通过焊接进行机械固定而完 成放电电极500。由此,基体部510与前端部520就被电连接,而且基体部 510的气体流路511与前端部520的倾斜面吹出流路525被连通。
当把气体向该放电电极500的基体部510供给时,则通过气体流路511 而把气体向前端部520的倾斜面吹出流路525导入,成为倾斜面522的大 致整个区域,特别是针状体521周围的整个区域喷射气体的状态。该放电 电极500中当有浮游的异物靠近倾斜面522、针状体521时则被喷射的气体 向远方吹跑,在倾斜面522、针状体521的整个面中有异物附着的可能性明 显降低。
只要这样一边供给气体一边施加直流或交流的高电压,则在尖头体中 的特别是针状体通过电晕放电而生成离子,利用气体喷射而把离子向远方 喷射并到达被去除静电物。
作为本实施例的特点是气体喷射方向限定于是下方,所以利用喷射气 体而把离子向下方喷射使可靠到达被去除静电物。
本实施例是把基体部、前端部的管体作为圆管体进行的说明,但也并 不限定于是圆管体,也可以采用具有多边形孔的管体、把管体与其外周面 的其他立体(固定用的突体等)形成一体的形状等。
根据这种放电电极500,利用气体喷射而特别使尖头体的倾斜面522, 特别是针状体521没有异物附着,能够维持放电特性。由于利用向下方的 喷射气体而使生成的离子从放电电极向远方离去,所以使离子可靠地到达 被去除静电物。
下面进行实验来说明本实施例放电电极的效果。图8是说明放电电极 被附着异物情况的照片,图8(a)是现有方式放电电极的照片,图8(b) 是本发明放电电极使用初期的照片,图8(c)是本发明放电电极经过规定 期间后的照片。图8(b)、图8(c)是图7(e)所示放电电极500的针状 体521的前端,是图7(e)的A部所示的部位。现有方式的放电电极在经 过规定期间后则如图8(a)所示那样被附着有异物(硅氧烷),本发明的方 式则是从图8(b)的使用初期到图8(c)的经过规定期间后,在经过之后 也与初期没有变化,确认没有异物附着。
接着按照附图说明本发明的其他实施例。图9是其他实施例放电电极 的说明图,图9(a)是放电电极的立体外观图,图9(b)是放电电极的俯 视图,图9(c)是前端部的侧剖视图。放电电极600具备基体部610和前 端部620。
基体部610由电导体形成,且其内部具有气体流路611。气体在该气体 流路611流通。本实施例的基体部610被形成为圆管体,管内的中空内部 成为气体流路611。
前端部620把由电导体形成的针状体621利用由相同电导体形成的支 承部623通过焊和银钎焊等固定,形成得使针体621的前端位于倾斜面 622内,而成为这种具有倾斜面622的尖头体。该倾斜面622还包含有基体 部610的端部。这时针状体621成为从基体部610突出的结构。利用针状 体621与基体部610的间隙空间则形成倾斜面吹出流路624。通过选择熔点 比放电电极600放电时温度高的焊料就能够作为电极使用。这样形成的前 端部620则如图9(a)、图9(b)、图9(c)所示那样形成有间隙,并在内 部形成了连通到该尖头体的倾斜面622的倾斜面吹出流路624。而且基体部 610与前端部620被电连接,且基体部610的气体流路611与前端部620的 倾斜面吹出流路624被连通。
当把气体向该放电电极600的基体部610供给,则通过气体流路611 而把气体向前端部620的倾斜面吹出流路624导入,成为倾斜面622的大 致整个区域,特别是针状体621周围的整个区域喷射气体的状态。该放电 电极600中当有浮游的异物靠近针状体621时则被喷射的气体向远方吹跑, 在针状体521的整个面中有异物附着的可能性明显降低。
只要这样一边供给气体一边施加直流或交流的高电压,则在尖头体中 的特别是针状体通过电晕放电而生成离子,另外,利用气体喷射而把离子 向远方喷射并到达被去除静电物。
作为本实施例的特点是气体喷射方向限定于是下方,所以利用喷射气 体而把离子向下方喷射使可靠到达被去除静电物。
本实施例是把基体部和前端部的管体作为圆管体进行的说明,但也并 不限定于是圆管体,也可以采用具有多边形孔的管体、把管体与其外周面 的其他立体(固定用的突体等)形成一体的形状等。
根据这种放电电极600,利用气体喷射而使尖头体的倾斜面,特别是针 状体621没有异物附着,能够维持放电特性。
由于利用向下方的喷射气体而使生成的离子从放电电极向远方离去, 所以使离子可靠地到达被去除静电物。
以上说明的各实施例放电电极由于没有异物附着,所以谋求了维持良 好的放电特性,且不把异物向被去除静电物喷射而能够确保仅进行被去除 静电物的除去静电。
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