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基于Welch法谱估计的超薄涂层厚度均匀性无损检测方法

阅读:992发布:2021-03-06

专利汇可以提供基于Welch法谱估计的超薄涂层厚度均匀性无损检测方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本文提出一种基于Welch法谱估计的超薄涂层厚度均匀性 无损检测 方法。该方法利用超声 显微镜 系统进行全波采集,对于每一个扫查点获取的涂层上表面反射回波以及涂层下表面n次反射回波所 混叠 的超声A扫 信号 ,利用聚焦 探头 的 脉冲持续时间 去除A扫信号中的涂层上表面回波信号,得到涂层下表面n次反射回波的信号,声束反射透射传播原理如 附图 所示。然后对n次反射回波信号进行Welch法谱估计,在Welch 功率谱 上读取各个极大值对应的 频率 ,结合涂层的声速计算得到涂层的厚度,并将厚度值转换成对应的 颜色 来表征。最后依次计算得到各扫描点的厚度值,并用对应颜色表示,便可形成用于涂层厚度均匀性的评估C扫描成像图。该方法简单实用,测量速度快,适用于涂层的现场测量。,下面是基于Welch法谱估计的超薄涂层厚度均匀性无损检测方法专利的具体信息内容。

1.一种基于Welch法谱估计的超薄涂层厚度均匀性无损检测方法,包括超声检测装置、浸聚焦探头、涂层试样、驱动装置、高频示波器以及计算机组成的超声显微镜系统,其特征是:所述方法采用的测量步骤如下:
(1)首先根据公式1计算得到探头与试样的距离dw,然后将聚焦探头置于试样上表面,并保证探头主声束轴线与试样表面处置,调节探头与试样上表面的距离至dw,公式1:
dwb=df-(CT/Cw)t
式中:dwb表示探头与表面的距离,CT为基底声速,Cw为水中声速,t为集体厚度,df为探头焦距。
(2)利用超声显微系统向涂层试样垂直发射纵波,并利用示波器采集涂层某一点的上表面反射回波和下表面n次回波混叠所形成的A扫信号
(3)根据所采用聚焦探头的脉冲持续时间,去除(2)采集到的A扫波形的上表面回波,得到下表面n次回波信号。
(4)将所述(3)中的n次回波信号xN(n)代入公式2,得到涂层试样的Welch功率谱,公式2:
式中:Pper(f)表示试样的Welch功率谱,L表示数据分成的段数,M表示每一段的数据长度,U表示归一化因子,d2(n)表示汉明窗。
(5)由公式3可知,Pper(f)图上会出现极大值,其对应的频率与涂层厚度相关。在(4)中求取的Pper(f)中读取两个相邻极大值对应的频率f1、f2,并计算得到Δf(Δf=f2-f1)。
公式3:
(6)将(5)中计算得到的Δf和涂层声速c2代入公式3便可求得涂层某一点的厚度d。
公式3:
(7)利用超声显微扫查系统C扫描采集得到涂层试样的全波数据,然后根据(1)~(6)所述Welch法谱估计方法编写的数据后处理程序得到对应涂层的厚度分布C扫图,利用离散的颜色值表示不同的厚度范围,用于评估涂层厚度的均匀性。

说明书全文

基于Welch法谱估计的超薄涂层厚度均匀性无损检测方法

一、技术领域

[0001] 本发明提出的是一种基于Welch法谱估计的超薄涂层厚度均匀性无损检测方法,属于材料超声无损检测与评价技术领域。二、背景技术
[0002] 表面涂层工艺广泛应用于航空航天、信息电子、医药以及其他制造业,表示涂层中的厚度及其均匀性直接影响到涂层性能的好坏。因此,对工件涂层加工的质量快速准确无损检测是非常有必要的。
[0003] 目前,利用声波法检测涂层厚度主要包括超声脉冲回波、超声表面波这两种技术。利用超声脉冲回波测量涂层厚度主要是基于干涉原理的各种超声频谱分析方法,如N.F Haines等的论文“The application of broadband ultrasonic spectroscopy to the study of layered media”中获得了表面腐蚀层的声压反射系数系数谱和相位谱的谐振频率并进而确定了腐蚀层的厚度,专利(林莉,胡志雄等.基于声压反射系数自相关函数的薄层厚度超声检测方法[P].申请号:201310036748,2013.)中利用自相关函数对质薄层试样进行超声测厚,专利(雷明凯,林莉等.一种超声信号频谱滤波技术无损测量涂层厚度的方法[P].申请号:201310577801,2013)利用声压反射系数法结合频谱滤波技术得到涂层厚度,但上述超声测量方法受到上表面回波信号的干扰及其频谱分析方法的限制,某些情况下在频谱图上并不能准确获得谐振频率。利用超声表面波技术检测涂层厚度,主要是依据声波在涂层中的频散方程,通过测量涂层相速度频散曲线,然后结合反演技术计算涂层厚度,由于涂层厚度多在数十微米至百微米级,因此所需激发的表面波频率多在40MHz—200MHz范围,目前多借助激光来激发,然而由于光声转换效率低、回波信号弱及检测灵敏度低等因素限制其引用。而且迄今为止,尚未发现有对于涂层厚度均匀性检测的相关研究。
三、发明内容
[0004] 本发明的目的是提供了一种基于Welch法谱估计的超薄涂层厚度均匀性无损检测方法,可以用于涂层厚度及其均匀性的快速、准确测量。
[0005] 本发明的技术方案是:一种基于Welch法谱估计的涂层厚度超声测量方法,包括超声检测装置、浸聚焦探头、涂层试样、驱动装置、高频示波器以及计算机组成的超声显微扫查系统。采用的测量步骤如下:
[0006] (1)首先根据公式1计算得到探头与试样的距离dw,然后将聚焦探头置于试样上表面,并保证探头主声束轴线与试样表面处置,调节探头与试样上表面的距离至dw,公式1:
[0007] dwb=df-(CT/Cw)t
[0008] 式中:dwb表示探头与表面的距离,CT为基底声速,Cw为水中声速,t为集体厚度,df为探头焦距。
[0009] (2)利用超声显微系统向涂层试样垂直发射纵波,并利用高频示波器采集涂层某一点的上表面反射回波和下表面n次回波混叠所形成的A扫信号。
[0010] (3)根据所采用聚焦探头的脉冲持续时间,去除(2)采集到的A扫波形的上表面回波,得到下表面n次回波信号。
[0011] (4)将所述(3)中的n次回波信号xN(n)代入公式2,得到涂层试样的Welch功率谱,公式2:
[0012]
[0013] 式中:Pper(f)表示试样的Welch功率谱,L表示数据分成的段数,M表示每一段的数据长度,U表示归一化因子,d2(n)表示汉明窗。
[0014] (5)由公式3可知,Pper(f)图上会出现极大值,其对应的频率与涂层厚度相关。在(4)中求取的Pper(f)中读取两个相邻极大值对应的频率f1、f2,并计算得到Δf(Δf=f2-f1)。公式3:
[0015]
[0016] (6)将(5)中计算得到的Δf和涂层声速c2代入公式3便可求得涂层某一点的厚度d。公式4:
[0017]
[0018] (7)利用超声显微扫查系统C扫描采集得到涂层试样的全波数据,然后根据(1)~(6)所述Welch法谱估计方法编写的数据后处理程序得到对应涂层的厚度分布C扫图,利用离散的颜色值表示不同的厚度范围,用于评估涂层厚度的均匀性。四、附图说明
[0019] 图1超声显微扫查系统简图
[0020] 图2涂层试样A扫波形
[0021] 图3探头的脉冲持续时间
[0022] 图4涂层的下表面n次反射回波信号
[0023] 图5陶瓷涂层试样的Welch功率谱
[0024] 图6涂层试样厚度分布的C扫图五、具体实施方式
[0025] 下面对本发明的具体实施方式进行详细说明:
[0026] 如图1所示,针对被测量涂层试样(涂层试样采用等离子喷涂制备的陶瓷涂层,通过数码显微镜测得其厚度值d(μm),声速c2(m/s)),采用水浸聚焦探头向涂层试样发射和接受超声波信号,利用示波器完成波形观察和数据采集,获得A扫波形如图2所示。
[0027] 如图4所示,根据探头的脉冲时间(图3所示)利用计算机对获取的A扫波形进行涂层上表面回波信号的去除,从而获得涂层下表面的n次反射回波信号。利用软件对获得的n次反射回波信号进行Welch法的谱估计计算得到涂层试样的Welch功率谱,如图5所示。然后读取Welch功率谱上两个极大值对应的频率为f1(MHz)、f2(MHz),从而可计算得到Δf(MHz)。将Δf(MHz)和c2(m/s)代入公式3即可以计算得到陶瓷涂层试样的厚度为d(μm),与数码显微镜测量值之间的绝对误差为Δd(μm),相对误差范围为4%~6%。
[0028] 为了实现涂层厚度的均匀性检测,利用超声显微扫查系统对试样进行C扫查,并存储每个扫查点的A扫描信号全时域波形数据形成试样的全波数据,对每一个点的A扫描信号中数据闸内回波进行基于Welch谱估计的算法得到其频谱,获取频谱图赏两个极大值对应频率并通过公示4计算得到该点的厚度值,将其数值转换成对应的颜色来表征,最后依次计算得到各扫描点的厚度值,并用对应颜色表示,便可完成如图6所示涂层厚度分布的C扫描成像图,该图可用于涂层厚度均匀性的评估。
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