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光敏树脂组合物和包括其的显示装置

阅读:466发布:2020-10-28

专利汇可以提供光敏树脂组合物和包括其的显示装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且公开了光敏 树脂 组合物和包括其的显示装置。所述光敏树脂组合物包括:a) 丙烯酸 类共聚物,所述丙烯酸类共聚物通过使i)含羟基的不饱和化合物,ii)不饱和 羧酸 、不饱和羧酸酐或其混合物,iii)含环 氧 基的不饱和化合物,和iv)烯 烃 类不饱和化合物共聚而获得;b)1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物,所述1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物具有包括由上面化学式A表示的化合物的酚化合物作为压载物;c)烷 偶联剂 ;和d) 溶剂 。,下面是光敏树脂组合物和包括其的显示装置专利的具体信息内容。

1.一种光敏树脂组合物,所述光敏树脂组合物包括:
a)丙烯酸类共聚物,所述丙烯酸类共聚物通过使下述共聚而获得:
i)含羟基的不饱和化合物;
ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物;
iii)含环基的不饱和化合物;和
iv)烯类不饱和化合物,
b)1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物,所述1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物具有酚化合物作为压载物,所述酚化合物包括由下面化学式A表示的化合物,
c)偶联剂,和
d)溶剂
化学式A
其中R1和R2分别为环丙基、环丁基、环戊基、具有1至4个原子的烷基或具有1至4个碳原子的烷氧基,R3和R4分别为H或CH3,并且R独立地为H、CH3或 其中*表示与相邻原子的连接位点。
2.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物,其中:
所述含羟基的不饱和化合物包括选自由下面化学式1至8表示的化合物中的至少一种:
其中,在化学式1至8中,R独立地为H或CH3,并且在化学式3中,n1和n2分别为选自0至4的整数。
3.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物,进一步包括:
由下面化学式B表示的化合物:
化学式B
其中,在化学式B中,R为H、CH3或 其中*表示与相邻原子的连接位点。
4.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物,进一步包括:
选自由下面化学式B-1、B-2、B-3、B-4和B-5表示的化合物中的至少一种:
化学式B-1
化学式B-2
化学式B-3
化学式B-4
化学式B-5
其中,在化学式B-1至B-5中,R为 其中*表示与相邻原子的连接位点。
5.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物,其中:
由化学式A表示的所述化合物包括选自由下面化学式A-1、A-2、A-3、A-4、A-5和A-6表示的化合物中的至少一种:
化学式A-1
化学式A-2
化学式A-3
化学式A-4
化学式A-5
化学式A-6
其中,在化学式A-1至A-6中,R3和R4分别为H或CH3,并且在化学式A-2至A-6中,R为其中*表示与相邻原子的连接位点。
6.根据权利要求3所述的光敏树脂组合物,包括:
a)100重量份的所述丙烯酸类共聚物,所述丙烯酸类共聚物通过使下述共聚而获得:
i)5重量份至70重量份的所述含羟基的不饱和化合物;
ii)5重量份至40重量份的所述不饱和羧酸、所述不饱和羧酸酐或所述其混合物;
iii)10重量份至70重量份的所述含环氧基的不饱和化合物;和
iv)5重量份至70重量份的所述烯烃类不饱和化合物,
b)5重量份至50重量份的具有包括由化学式A表示的所述化合物的所述酚化合物作为压载物的所述1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物;或具有包括由化学式A表示的所述化合物和由化学式B表示的所述化合物的酚化合物作为压载物的1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物,和c)0.1重量份至30重量份的所述硅烷偶联剂。
7.根据权利要求6所述的光敏树脂组合物,其中:
所述溶剂存在的量使包括a)、b)和c)的固体含量为10wt%至50wt%。
8.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物,其中:
a)ii)的所述不饱和羧酸、所述不饱和羧酸酐或所述其混合物包括选自由下述组成的组中的一种或多种:丙烯酸、甲基丙烯酸、来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸及其不饱和羧酸酐。
9.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物,其中:
a)iii)的所述含环氧基的不饱和化合物包括选自由下述组成的组中的一种或多种:丙烯酸缩甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、甲基丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、丙烯酸3,4-环氧丁酯、甲基丙烯酸3,4-环氧丁酯、丙烯酸6,7-环氧庚酯、甲基丙烯酸6,7-环氧庚酯、α-乙基丙烯酸6,
7-环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚、甲基丙烯酸3,4-环氧环己酯、甲基丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯、丙烯酸3,4-环氧环己酯和丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯。
10.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物,其中:
a)iv)的所述烯烃类不饱和化合物包括选自由下述组成的组中的一种或多种:甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸二环戊烯酯、丙烯酸二环戊烷酯、甲基丙烯酸二环戊烯酯、甲基丙烯酸二环戊烷酯、丙烯酸1-金刚烷酯、甲基丙烯酸1-金刚烷酯、甲基丙烯酸二环戊烷基氧乙酯、甲基丙烯酸异片酯、丙烯酸环己酯、丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸二环戊烷基氧乙酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸2羟乙酯、苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、异戊二烯和2,3-二甲基1,3-丁二烯。
11.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物,其中:
a)的所述丙烯酸类共聚物具有的重均分子量(Mw)就聚苯乙烯而言为3,000至20,000。
12.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物,其中:
c)的所述硅烷偶联剂包括选自由下述组成的组中的一种或多种:(3-环氧丙氧基丙基)三甲氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)三乙氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)甲基二甲氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)甲基二乙氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)二甲基乙氧基硅烷、3,4-环氧丁基三甲氧基硅烷、3,4-环氧丁基三乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、氨丙基三乙氧基硅烷、3-三乙氧基甲硅烷基-N-(1,3-二甲基-亚丁基)丙胺、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三乙氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨丙基三甲氧基硅烷和(3-异氰酸丙基)三乙氧基硅烷。
13.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物,其中:
d)的所述溶剂包括选自由下述组成的组中的一种或多种:二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯、丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、丁二醇单甲醚、丁二醇单乙醚、二丁二醇二甲醚、二丁二醇二乙醚、二甘醇丁基甲醚、二甘醇丁基乙醚、三甘醇二甲醚、三甘醇丁基甲醚、二甘醇叔丁醚、四甘醇二甲醚、二甘醇乙基己醚、二甘醇甲基己醚、二丙二醇丁基甲醚、二丙二醇乙基己醚和二丙二醇甲基己醚。
14.一种显示装置,所述显示装置包括根据权利要求1至13中任一项所述的光敏树脂组合物的固化体。
15.根据权利要求14所述的显示装置,包括:
有机绝缘膜,所述有机绝缘膜包括所述光敏树脂组合物的所述固化体。
16.根据权利要求15所述的显示装置,进一步包括:
基板
所述基板上的薄膜晶体管,
与所述薄膜晶体管耦接的像素电极,和
叠加在所述薄膜晶体管上的滤色器。
17.根据权利要求16所述的显示装置,其中:
所述滤色器在所述有机绝缘膜和所述薄膜晶体管之间。
18.一种显示装置,所述显示装置包括:
基板,
所述基板上的薄膜晶体管,
与所述薄膜晶体管耦接的像素电极,和
叠加在所述基板上的有机绝缘膜,
其中所述有机绝缘膜包括根据权利要求1-13中任一项所述的光敏树脂组合物的固化体。
19.根据权利要求18所述的显示装置,其中:
所述含羟基的不饱和化合物包括选自由下面化学式1至8表示的化合物中的至少一种:
其中,在化学式1至8中,R为H或CH3,并且在化学式3中,n1和n2分别为选自0至4的整数。
20.根据权利要求18所述的显示装置,其中:
由化学式A表示的所述化合物包括选自由下面化学式A-1、A-2、A-3、A-4、A-5和A-6表示的化合物中的至少一种:
化学式A-1
化学式A-2
化学式A-3
化学式A-4
化学式A-5
化学式A-6
其中,在化学式A-1至A-6中,R3和R4分别为H或CH3,并且在化学式A-2至A-6中,R为其中*表示与相邻原子的连接位点。

说明书全文

光敏树脂组合物和包括其的显示装置

[0001] 相关申请的交叉引用
[0002] 本申请要求于2018年9月28日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10-2018-0116423号的优先权和权益,其全部内容通过引用并入本文。

技术领域

[0003] 本公开的实施方式涉及光敏树脂组合物和包括其的显示装置。

背景技术

[0004] 通常,广泛使用的显示装置包括液晶显示器(LCD)、有机发光装置(OLED)等。
[0005] 液晶显示器(LCD)和有机发光装置(OLED)可包括绝缘膜或平坦化膜,包括所述绝缘膜以使布线之间绝缘,包括所述平坦化膜以使布线之间平坦化。
[0006] 在该本背景技术章节中公开的上述信息仅用于增强对本公开背景的理解,并因此,其可包含在本国对于本领域普通技术人员而言已知,而不构成现有技术的信息。发明内容
[0007] 本公开的实施方式是为了提供光敏树脂组合物和包括其的显示装置,所述光敏树脂组合物具有如下特征:优异的分辨率固化工艺裕度(margin)、透明度、耐热变色性和耐热性,以及尤其优异的敏感度和粘附性。
[0008] 本公开的示例性实施方式提供了光敏树脂组合物,所述光敏树脂组合物包括:a)丙烯酸类共聚物,所述丙烯酸类共聚物通过使i)含羟基的不饱和化合物,ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物,iii)含环基的不饱和化合物,和iv)烯类不饱和化合物共聚而获得;b)1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物,所述1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物具有包括由下面化学式A表示的化合物的酚化合物作为压载物(ballast);c)偶联剂;和d)溶剂
[0009]
[0010]
[0011] 其中R1和R2分别为环丙基、环丁基、环戊基或具有1至4个原子的烷基或具有1至4个碳原子的烷氧基,R3和R4分别为H或CH3,并且R独立地为H、CH3或 其中*表示与相邻原子的连接位点。
[0012] 含羟基的不饱和化合物可包括选自由下面化学式1至8表示的化合物中的至少一种:
[0013]
[0014]
[0015] 其中,在化学式1至8中,R独立地为H或CH3,并且在化学式3中,n1和n2分别为选自0至4的整数。
[0016] 光敏树脂组合物可进一步包括由下面化学式B表示的化合物:
[0017]
[0018] 其中,在化学式B中,R为H、CH3或 其中*表示与相邻原子的连接位点。
[0019] 由化学式A表示的化合物可包括选自由下面化学式A-1、A-2、A-3、A-4、A-5和A-6表示的化合物中的至少一种:
[0020]
[0021]
[0022]
[0023] 其中,在化学式A-1至A-6中,R3和R4分别为H或CH3,并且在化学式A-2至A-6中,R为其中*表示与相邻原子的连接位点。
[0024] 光敏树脂组合物可包括选自由下面化学式B-1、B-2、B-3、B-4和B-5表示的化合物中的至少一种:
[0025]
[0026]
[0027] 其中,在化学式B-1至B-5中,R为 其中*表示与相邻原子的连接位点。
[0028] 光敏树脂组合物可包括:a)100重量份的丙烯酸类共聚物,所述丙烯酸类共聚物通过使i)5重量份至70重量份的含羟基的不饱和化合物,ii)5重量份至40重量份的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物,iii)10重量份至70重量份的含环氧基的不饱和化合物,和iv)5重量份至70重量份的烯烃类不饱和化合物共聚而获得;b)5重量份至50重量份的具有包括由化学式A表示的化合物的酚化合物作为压载物的1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物,或具有包括由化学式A表示的化合物和由化学式B表示的化合物的酚化合物作为压载物的1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物;和c)0.1重量份至30重量份的硅烷偶联剂。
[0029] 可包括溶剂以使基于光敏树脂组合物的总重量,包括a)、b)和c)的固体含量为10wt%至50wt%。
[0030] a)ii)的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物可包括选自由下述组成的组中的一种或多种:丙烯酸、甲基丙烯酸、来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸和其不饱和羧酸酐。
[0031] a)iii)的含环氧基的不饱和化合物可包括选自由下述组成的组中的一种或多种:丙烯酸缩甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、甲基丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、丙烯酸3,4-环氧丁酯、甲基丙烯酸3,4-环氧丁酯、丙烯酸6,7-环氧庚酯、甲基丙烯酸6,7-环氧庚酯、α-乙基丙烯酸
6,7-环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚、甲基丙烯酸3,4-环氧环己酯、甲基丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯、丙烯酸3,4-环氧环己酯和丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯。
[0032] a)iv)的烯烃类不饱和化合物可包括选自由下述组成的组中的一种或多种:甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸二环戊烯酯、丙烯酸二环戊烷酯、甲基丙烯酸二环戊烯酯、甲基丙烯酸二环戊烷酯、丙烯酸1-金刚烷酯、甲基丙烯酸1-金刚烷酯、甲基丙烯酸二环戊烷基氧乙酯、甲基丙烯酸异片酯、丙烯酸环己酯、丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸二环戊烷基氧乙酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸2羟乙酯、苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、异戊二烯和2,3-二甲基1,3-丁二烯。
[0033] 就聚苯乙烯而言a)的丙烯酸类共聚物可具有3,000至20,000的重均分子量(Mw)。
[0034] c)的硅烷偶联剂可包括选自由下述组成的组中的一种或多种:(3-环氧丙氧基丙基)三甲氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)三乙氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)甲基二甲氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)甲基二乙氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)二甲基乙氧基硅烷、3,4-环氧丁基三甲氧基硅烷、3,4-环氧丁基三乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、氨丙基三乙氧基硅烷、3-三乙氧基甲硅烷基-N-(1,3-二甲基-亚丁基)丙胺、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三乙氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨丙基三甲氧基硅烷和(3-异氰酸丙基)三乙氧基硅烷。
[0035] d)的溶剂可包括选自由下述组成的组中的一种或多种:二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯、丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、丁二醇单甲醚、丁二醇单乙醚、二丁二醇二甲醚、二丁二醇二乙醚、二甘醇丁基甲醚、二甘醇丁基乙醚、三甘醇二甲醚、三甘醇丁基甲醚、二甘醇叔丁醚、四甘醇二甲醚、二甘醇乙基己醚、二甘醇甲基己醚、二丙二醇丁基甲醚、二丙二醇乙基己醚和二丙二醇甲基己醚。
[0036] 根据示例性实施方式的显示装置包括如上所述的光敏树脂组合物的固化体(例如,固化产物)。
[0037] 显示装置可包括有机绝缘膜,所述有机绝缘膜包括光敏树脂组合物的固化体。
[0038] 显示装置可进一步包括基板、基板上的薄膜晶体管、与薄膜晶体管耦接的像素电极叠加在薄膜晶体管上的滤色器。
[0039] 滤色器可在有机绝缘膜与薄膜晶体管之间。
[0040] 根据示例性实施方式的显示装置包括:基板、基板上的薄膜晶体管、与薄膜晶体管耦接的像素电极,和叠加在基板上的有机绝缘膜,并且
[0041] 有机绝缘膜包括光敏树脂组合物的固化体(例如,固化产物),所述光敏树脂组合物包括:a)丙烯酸类共聚物,所述丙烯酸类共聚物通过使i)含羟基的不饱和化合物,ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物,iii)含环氧基的不饱和化合物,和iv)烯烃类不饱和化合物共聚而获得;b)1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物,所述1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物具有包括由下面化学式A表示的化合物的酚化合物作为压载物;和c)硅烷偶联剂。
[0042]
[0043] 其中R1和R2分别为环丙基、环丁基或环戊基,R3和R4分别为H或CH3,并且R独立地为H、CH3或 其中*表示与相邻原子的连接位点。
[0044] 根据示例性实施方式,光敏树脂组合物具有优异的分辨率、固化工艺裕度、透明度、耐热变色性和耐热性,并且尤其可具有优异的敏感度和粘附性。另外,包括由光敏树脂组合物形成的有机绝缘膜或平坦化膜的显示装置可具有提高的可靠性。附图说明
[0045] 附图与说明书一起说明本公开的主题的实施方式,并且与描述一起用于阐释本公开的主题的实施方式的原理。图1是根据示例性实施方式的一个像素的一部分的示意性横截面图。

具体实施方式

[0046] 下文,将参考附图更详地细描述本公开的各种示例性实施方式,以便本公开所属领域技术人员容易地实施。本公开的主题可以以各种不同形式实现,并且不限于本文所述的示例性实施方式。
[0047] 为了清楚地描述本公开的主题,省略了与相关描述无关的部分,并且相同的参考数值在整个说明书中表示相同或相似的构成元件。
[0048] 另外,由于为了便于描述,可以任选地表示图中所示的每个部件的尺寸和厚度,因此本公开不一定限于图中所示的尺寸和厚度。
[0049] 另外,应理解,当元件,比如层、膜、区域或基板被称为在另一元件“上”时,其可以直接在另一元件上或也可存在中间元件。相反,当元件被称为“直接”在另一元件“上”时,不存在中间元件。另外,在参考元件“上方”或“上”理解为在参考元件“上”或“下方”,但不理解为必须在重相反的方向上的“上”或“上方”。
[0050] 另外,除非明确地相反描述,否则词语“包括(comprise)”及其变形比如“包括(comprises)”或“包括(comprising)”应理解为意味包含所叙述的元件,但不排除任何其他元件。
[0051] 另外,整个本说明书中,术语“在平面上”是指当从上面观察物体时,并且术语“在截面上”是指当从侧面观察垂直切割的物体的截面。
[0052] 下文,将描述根据示例性实施方式的光敏树脂组合物。
[0053] 根据示例性实施方式的光敏树脂组合物可包括:a)丙烯酸类共聚物,所述丙烯酸类共聚物通过使i)含羟基的不饱和化合物,所述含羟基的不饱和化合物包括选自由下面化学式1至8表示的化合物中的至少一种,ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物,iii)含环氧基的不饱和化合物,和iv)烯烃类不饱和化合物共聚而获得;b)1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物,所述1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物具有包括由下面化学式A表示的化合物的酚化合物作为压载物;c)硅烷偶联剂;和d)溶剂。另外,根据示例性实施方式的光敏树脂组合物可进一步包括由下面化学式B表示的化合物。
[0054]
[0055] 其中,在化学式1-8中,R为H或CH3,并且在化学式3中,n1和n2彼此独立地为选自0至4的整数。
[0056]
[0057] 其中,在化学式B中,R为H、CH3或 其中*表示与相邻原子的连接位点,R1和R2彼此独立地为环丙基、环丁基、环戊基、具有1至4个碳原子的烷基或具有1至4个碳原子的烷氧基,并且R3和R4彼此独立地为H或CH3。
[0058] 根据示例性实施方式的光敏树脂组合物可包括:a)100重量份的丙烯酸类共聚物,所述丙烯酸类共聚物通过使i)5重量份至70重量份的含羟基的不饱和化合物,所述含羟基的不饱和化合物包括选自由上面化学式1至8表示的化合物中的至少一种,ii)5重量份至40重量份的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物,iii)10重量份至70重量份的含环氧基的不饱和化合物,和iv)5重量份至70重量份的烯烃类不饱和化合物共聚而获得;b)5重量份至50重量份的具有包括由化学式A表示的化合物的酚化合物作为压载物的1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物,或具有包括由化学式A表示的化合物和由化学式B表示的化合物的酚化合物作为压载物的1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物;c)0.1重量份至30重量份的硅烷偶联剂;和d)溶剂,以使光敏树脂组合物中的固体含量为10wt%至50wt%。
[0059] 下文,将更详细地描述根据示例性实施方式的光敏树脂组合物中使用的组分。
[0060] 根据示例性实施方式的a)的丙烯酸类共聚物可通过使用作为单体的i)含羟基的不饱和化合物,所述含羟基的不饱和化合物包括选自由化学式1至8表示的化合物中的至少一种,ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物,iii)含环氧基的不饱和化合物,和iv)烯烃类不饱和化合物获得。i)至iv)的化合物在溶剂和聚合引发剂存在的情况下进行自由基反应以进行合成反应,然后通过纯化工艺去除未反应的单体,从而获得丙烯酸类共聚物。
[0061] 基于单体的全部重量,可包括的a)i)的包括选自由化学式1至8表示的化合物中的至少一种的含羟基的不饱和化合物为5重量份至70重量份。当含量小于5重量份时,光敏树脂组合物的敏感度可降低,并且当含量大于70重量份时,在性水溶液中的溶解度可过度增加。
[0062] 作为a)ii)的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物,可单独使用或以两种或更多种的组合使用不饱和单羧酸,比如丙烯酸和甲基丙烯酸;不饱和二羧酸,比如马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸和衣康酸,或其不饱和羧酸酐等。作为例子,可包括丙烯酸、甲基丙烯酸或无水马来酸。当使用丙烯酸、甲基丙烯酸或无水马来酸时,共聚反应性是优异的,并且在碱性水溶液(其为显影溶液)中的溶解度是合适的或适当的。
[0063] 基于单体的全部重量,可包括的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物为5重量份至40重量份。当含量小于5重量份时,不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或混合物可能难以溶解在碱性水溶液中,并且当含量大于40重量份时,在碱性水溶液中的溶解度可能过度或不合适地增加。
[0064] a)iii)的含环氧基的不饱和化合物可包括丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、甲基丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、丙烯酸3,4-环氧丁酯、甲基丙烯酸3,4-环氧丁酯、丙烯酸6,7-环氧庚酯、甲基丙烯酸6,7-环氧庚酯、α-乙基丙烯酸6,7-环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚、甲基丙烯酸3,4-环氧环己酯等,并且这些化合物可单独使用或以两种或更多种的组合使用。作为例子,含环氧基的不饱和化合物可包括选自下述中的至少一种:甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸6,7-环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚、甲基丙烯酸3,4-环氧环己酯等,从而提高共聚反应性和由光敏树脂组合物获得的图案的耐热性。
[0065] 基于单体的全部重量,可包括的含环氧基的不饱和化合物为10重量份至70重量份。在该范围内,有机绝缘膜的耐热性和光敏树脂组合物的储存稳定性可同步(例如,同时或基本上同时)为合适的或令人满意的。
[0066] a)iv)的烯烃类不饱和化合物可包括甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸二环戊烯酯、丙烯酸二环戊烷酯、甲基丙烯酸二环戊烯酯、甲基丙烯酸二环戊烷酯、丙烯酸1-金刚烷酯、甲基丙烯酸1-金刚烷酯、甲基丙烯酸二环戊烷基氧乙酯、甲基丙烯酸异冰片酯、丙烯酸环己酯、丙烯酸2-甲基环己酯、丙烯酸二环戊烷基氧乙酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸2-羟乙酯、苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯、异戊二烯或2,3-二甲基1,3-丁二烯等,并且这些化合物可单独使用或以两种或更多种的组合使用。
[0067] 基于单体的全部重量,可包括的烯烃类不饱和化合物为5重量份至70重量份。在该范围内,可抑制或减少在光敏树脂组合物显影之后出现膨胀,并且可提供在碱性水溶液(其为显影溶液)中的适当的或合适的溶解度。
[0068] 可进一步包括溶剂和聚合引发剂以利用单体形成丙烯酸类共聚物。作为例子,溶剂可包括选自下述中的一种或多种:甲醇、四氢呋喃、甲苯和二噁烷。聚合引发剂可包括自由基聚合引发剂,并且作为例子,可包括2,2-偶氮双异丁腈、2,2-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)、2,2-偶氮双(4-甲氧基2,4-二甲基戊腈)、1,1-偶氮双(环己烷-1-腈)、2,2’-偶氮双异丁酸二甲酯等。
[0069] 通过将上述单体在存在溶剂和聚合引发剂的情况下进行自由基反应以进行合成并通过纯化工艺去除未反应的单体而获得的丙烯酸类共聚物,就聚苯乙烯而言,可具有的重均分子量(Mw)为3,000至20,000。当就聚苯乙烯而言,重均分子量小于3000时,显影性或残余膜比率可能劣化或降低,或图案显影或耐热性可能劣化或降低,并且当重均分子量大于20,000时,图案显影可能劣化或降低。
[0070] 具有包括由化学式A或B表示的化合物的酚化合物作为压载物的1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物b)可通过1,2-醌二叠氮5-磺酸卤化物和酚化合物在弱碱下(例如,在存在弱碱的情况下)反应而获得。
[0071] 根据示例性实施方式的光敏树脂组合物包括具有由化学式A表示的化合物作为压载物的1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物,并且可进一步包括具有由化学式B表示的化合物作为压载物的1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物。
[0072] 根据示例性实施方式的光敏树脂组合物可包括选自由化学式A-1、A-2、A-3、A-4、A-5和A-6表示的化合物中的至少一种作为1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物的压载物的例子:
[0073]
[0074]
[0075] 其中,在化学式A-1至A-6中,R3和R4分别为H或CH3,并且在化学式A-2至A-6中,R为其中*表示与相邻原子的连接位点。
[0076] 根据示例性实施方式的光敏树脂组合物可进一步包括选自由下面化学式B-1、B-2、B-3、B-4和B-5表示的化合物中的至少一种作为1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物的压载物的例子:
[0077]
[0078]
[0079] 其中R为 其中*表示与相邻原子的连接位点。
[0080] 选自由化学式A-1至A-6和化学式B-1至B-5表示的至少一种化合物可与包括-OH基的化合物在光暴露工艺中反应以形成固化体(例如,固化产物),其可表示如下:
[0081]
[0082] 基于100重量份的a)丙烯酸类共聚物,可包括的1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物为5重量份至50重量份。当含量小于5重量份时,所暴露部分和未暴露部分之间的溶解度差异减小,从而图案形成可能困难,并且当含量大于50重量份时,当短时间内被光照射时,未反应的1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物仍为大量的,而过度地或不合适地降低碱性水溶液(其为显影溶液)中的溶解度,从而使显影困难。
[0083] c)的硅烷偶联剂可提高对下基板的粘附性。硅烷偶联剂可包括(3-环氧丙氧基丙基)三甲氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)三乙氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)甲基二甲氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)甲基二乙氧基硅烷、(3-环氧丙氧基丙基)二甲基乙氧基硅烷、3,4-环氧丁基三甲氧基硅烷、3,4-环氧丁基三乙氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三乙氧基硅烷、氨丙基三甲氧基硅烷、氨丙基三乙氧基硅烷、3-三乙氧基甲硅烷基-N-(1,3-二甲基-亚丁基)丙胺、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三乙氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨丙基三甲氧基硅烷、(3-异氰酸丙基)三乙氧基硅烷、(3-异氰酸丙基)三甲氧基硅烷等作为例子,可单独使用或以两种或更多种的组合使用。
[0084] 基于100重量份的a)丙烯酸类共聚物,硅烷偶联剂的含量可为0.1重量份至30重量份。当含量小于0.1重量份时,对下基板的粘附性降低,并且当含量大于30重量份时,储存稳定性和显影性劣化或降低并且分辨率可能劣化或降低。
[0085] d)的溶剂可包括选自由下述组成的组中的一种或多种:二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯、丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、丙二醇丙醚、丙二醇丁醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、丁二醇单甲醚、丁二醇单乙醚、二丁二醇二甲醚、二丁二醇二乙醚、二甘醇丁基甲醚、二甘醇丁基乙醚、三甘醇二甲醚、三甘醇丁基甲醚、二甘醇叔丁醚、四甘醇二甲醚、二甘醇乙基己醚、二甘醇甲基己醚、二丙二醇丁基甲醚、二丙二醇乙基己醚和二丙二醇甲基己醚。
[0086] 可包括d)的溶剂以使光敏树脂组合物的固体含量为10wt%至50wt%。当固体含量小于10wt%时,所涂布的厚度小,使得涂布均匀性可能降低,并且当固体含量大于50wt%时,所涂布的厚度大并且涂布设备可能在涂布期间超负荷。
[0087] 作为例子,当全部光敏树脂组合物的固体含量为10wt%至25wt%时,使用狭缝涂布机,并且当固体含量为25wt%至50wt%时,可使用旋转涂布机或狭缝和旋转涂布机。
[0088] 根据示例性实施方式的光敏树脂组合物可具有10wt%至50wt%的固体含量,并且在用0.1μm至0.2μm的微孔过滤器等过滤后使用。
[0089] 在使用上述光敏树脂组合物制造显示装置的工艺中,形成绝缘膜的方法的实施方式如下。
[0090] 通过旋转涂布、狭缝和旋转涂布、狭缝涂布或辊涂将根据示例性实施方式的光敏树脂组合物涂布在基板表面上。此后,通过自由烘烤去除溶剂而形成涂布膜。此时,自由烘烤可在100℃至120℃的温度下进行1分钟至3分钟。
[0091] 接着,根据先前制备的图案,将可见光、紫外线、远紫外线、电子束、X射线等照射在所形成的涂布膜上,并且用显影溶液进行显影以去除不必要或不期望的部分,从而形成一组预定的图案。
[0092] 作为显影溶液,可使用碱性水溶液。作为例子,可使用下述中的一种或多种的水溶液:无机碱,比如氢氧化钠、氢氧化和碳酸钠;伯胺,比如乙胺和正丙胺;仲胺,比如二乙胺和二丙胺;叔胺,比如三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺和三乙胺;醇胺,比如二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺和三乙醇胺;或季铵盐,比如四甲基氢氧化铵和四乙基氢氧化铵。
[0093] 100重量份的显影溶液可包括0.1重量份至10重量份的碱性化合物,和适当或合适量的水性有机溶剂,比如甲醇和乙醇以及表面活性剂
[0094] 涂布膜用显影溶液来显影,用超纯水清洗30秒至90秒以去除不必要的或不期望的部分并干燥,从而形成图案。
[0095] 将光,比如,例如,紫外光照射在所形成的图案上,并且通过加热装置,比如烘箱在150℃至400℃的温度下进行热处理30分钟至90分钟,从而获得最终图案。
[0096] 最终图案可包括由上述光敏树脂组合物形成的固化体(例如,固化产物)。下文将不再不必要地重复对光敏树脂组合物的描述。
[0097] 下文,将参考图1描述包括上述光敏树脂组合物的固化体(例如,固化产物)的显示装置。图1为简略显示包括在显示装置中的一个像素的一部分的横截面图。
[0098] 参考图1,下面板100包括第一基板110,并且包括包含栅电极124的栅线。栅绝缘膜140在栅电极124上,并且半导体层154在叠加在栅电极124上的栅绝缘膜140上。
[0099] 然后,包括源电极173和漏电极175的数据线在半导体层154上。源电极173和漏电极175可围绕半导体层154中包括的沟道区域彼此面对。
[0100] 栅电极124、半导体层154、源电极173和漏电极175形成一个薄膜晶体管,并且可在源电极173和漏电极175之间,在半导体层154上形成沟道。
[0101] 保护膜180在源电极173和漏电极175上。
[0102] 滤色器230在保护膜180上,并可固有地代表原色中的一种。作为原色的例子,可包括三种原色,比如红色、绿色和蓝色,或黄色、青色、品红色等。
[0103] 有机绝缘膜190在滤色器230上。有机绝缘膜190可使滤色器230的一个表面平坦化。
[0104] 有机绝缘膜190可使用上述光敏树脂组合物形成,并且包括上述光敏树脂组合物的固化体。因此,这里将不再重复对光敏树脂组合物的进一步描述。
[0105] 保护膜180和有机绝缘膜190具有叠加在漏电极175上的接触孔185,并且漏电极175和像素电极191可通过接触孔185彼此电耦接和物理耦接。
[0106] 上面板200包括面向第一基板110的第二基板210。阻光构件220在第二基板210和液晶层3之间的一部分上。阻光构件220也称为黑矩阵并且可阻挡光泄漏
[0107] 在本说明书中,已经描述了其中阻光构件220在上面板200中的配置,但本公开不限于此,并且阻光构件220可在下面板100中。
[0108] 外涂层250在阻光构件220和液晶层3之间。外涂层250可由有机绝缘材料形成。外涂层250防止或减少阻光构件220的暴露并提供平坦化的表面。根据示例性实施方式,可省略外涂层250。
[0109] 公共电极270可在外涂层250和液晶层3之间。公共电极270可包括与像素电极191相同或基本上相同的材料。公共电极270可以以平面表面的形式形成,并且向其施加公共电压
[0110] 在一些实施方式中,定向层(未显示)可在像素电极191和液晶层3之间,并且在公共电极270和液晶层3之间。
[0111] 液晶层3在下面板100和上面板200之间。液晶层3具有负介电各向异性,并且在没有电场的情况下,液晶层3的液晶分子31具有垂直(例如,基本上垂直)于下面板100和上面板200的表面的主轴
[0112] 包括根据示例性实施方式的光敏树脂组合物的有机绝缘膜190具有优异的平坦化程度和透光度,以及尤其优异的敏感度,并且在高温和高湿下具有优异的粘附性、对比度和耐化学品性。包括有机绝缘膜的显示装置也可具有提高的可靠性。
[0113] 在本说明书中,已经描述了使用光敏树脂组合物的显示装置,但本公开不限于此,并且光敏树脂组合物可应用于有机发光装置中使用的各种组件,比如间层绝缘膜、柱隔离物、隔板等。
[0114] 下文,呈现示例性实施例用于帮助理解本公开的主题,然而,以下实施例仅阐释本公开的实施方式,并且本公开的范围不限于以下内容。
[0115] 实施例
[0116] 合成例1(丙烯酸类共聚物(A)的制备)
[0117] 向配备冷却器和搅拌器的烧瓶中添加400重量份的四氢呋喃、30重量份的由下面化学式1A表示的不饱和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯和30重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯的混合溶液。在烧瓶中以600rpm将液体组合物适当地混合,然后向其添加15重量份的2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)。将聚合混合溶液缓慢加热至55℃,在该温度下保持24小时,并且冷却至室温(例如,约25℃),并向其添加500ppm的作为聚合引发剂的氢二苯甲(hydrobezophenone),从而获得固体含量为25wt%的聚合物溶液。为了从聚合物溶液中去除未反应的单体,使用1000重量份的正己烷来沉淀100重量份的聚合物溶液。沉淀后,使用筛网进行过滤工艺以去除其中溶解未反应的材料的不良溶剂。为了去除即使在过滤工艺后仍保留的含有未反应的单体的溶剂,在30℃或更低的温度下进行真空干燥以基本上完全去除溶剂从而制备丙烯酸类共聚物。丙烯酸类共聚物具有6,000的重均分子量。
这里,重均分子量是通过凝胶渗透色谱(GPC)测量的就聚苯乙烯而言的重均分子量。
[0118]
[0119]
[0120] 合成例2(丙烯酸类共聚物(B)的制备)
[0121] 以与合成例1中基本上相同的方式制备丙烯酸类共聚物(B),只是向合成例1的配备冷却器和搅拌器的烧瓶添加400重量份的四氢呋喃、30重量份的由下面化学式2A表示的不饱和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯和30重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯。丙烯酸类共聚物具有5,000的重均分子量。这里,重均分子量是通过GPC测量的就聚苯乙烯而言的重均分子量。
[0122]
[0123] 合成例3(丙烯酸类共聚物(C)的制备)
[0124] 以与合成例1中基本上相同的方式制备丙烯酸类共聚物(C),只是向合成例1的配备冷却器和搅拌器的烧瓶添加400重量份的四氢呋喃、30重量份的由下面化学式3A表示的不饱和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯和30重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯。丙烯酸类共聚物具有5,500的重均分子量。这里,重均分子量是通过GPC测量的就聚苯乙烯而言的重均分子量。
[0125]
[0126]
[0127] 合成例4(丙烯酸类共聚物(D)的制备)
[0128] 以与合成例1中基本上相同的方式制备丙烯酸类共聚物(D),只是向合成例1的配备冷却器和搅拌器的烧瓶添加400重量份的四氢呋喃、30重量份的由下面化学式4A表示的不饱和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯和30重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯。丙烯酸类共聚物具有6,000的重均分子量。这里,重均分子量是通过GPC测量的就聚苯乙烯而言的重均分子量。
[0129]
[0130] 合成例5(丙烯酸类共聚物(E)的制备)
[0131] 以与合成例1中基本上相同的方式制备丙烯酸类共聚物(E),只是向合成例1的配备冷却器和搅拌器的烧瓶添加400重量份的四氢呋喃、30重量份的由下面化学式5A表示的不饱和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯和30重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯。丙烯酸类共聚物具有6,000的重均分子量。这里,重均分子量是通过GPC测量的就聚苯乙烯而言的重均分子量。
[0132]
[0133]
[0134] 合成例6(丙烯酸类共聚物(F)的制备)
[0135] 以与合成例1中基本上相同的方式制备丙烯酸类共聚物(F),只是向合成例1的配备冷却器和搅拌器的烧瓶添加400重量份的四氢呋喃、30重量份的由下面化学式6A表示的不饱和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯和30重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯。丙烯酸类共聚物具有6,000的重均分子量。这里,重均分子量是通过GPC测量的就聚苯乙烯而言的重均分子量。
[0136]
[0137] 合成例7(丙烯酸类共聚物(G)的制备)
[0138] 以与合成例1中基本上相同的方式制备丙烯酸类共聚物(G),只是向合成例1的配备冷却器和搅拌器的烧瓶添加400重量份的四氢呋喃、30重量份的由下面化学式7A表示的不饱和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯和30重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯。丙烯酸类共聚物具有6,000的重均分子量。这里,重均分子量是通过GPC测量的就聚苯乙烯而言的重均分子量。
[0139]
[0140] 合成例8(丙烯酸类共聚物(H)的制备)
[0141] 以与合成例1中基本上相同的方式制备丙烯酸类共聚物(H),只是向合成例1的配备冷却器和搅拌器的烧瓶添加400重量份的四氢呋喃、30重量份的由下面化学式8A表示的不饱和化合物、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯和30重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯。丙烯酸类共聚物具有6,000的重均分子量。这里,重均分子量是通过GPC测量的就聚苯乙烯而言的重均分子量。
[0142]
[0143] 合成例9(1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物的制备)
[0144] 将1mol的由下面化学式A-a表示的酚化合物和2.0mol的1,2-醌二叠氮-5-磺酸[氯化物]进行缩合反应以制备1,2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯化合物作为1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物。
[0145]
[0146] 合成例10(1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物的制备)
[0147] 将1mol的由下面化学式B-a表示的酚化合物和2.0mol的1,2-萘醌二叠氮-5-磺酸[氯化物]进行缩合反应以制备1,2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯化合物作为1,2-醌二叠氮5-磺酸酯化合物。
[0148]
[0149]
[0150] 比较合成例1(丙烯酸类共聚物(I)的制备)
[0151] 以与合成例1中基本上相同的方式制备丙烯酸类共聚物(I),只是向合成例1的配备冷却器和搅拌器的烧瓶添加400重量份的四氢呋喃、30重量份的甲基丙烯酸羟乙酯、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯和30重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯。丙烯酸类共聚物具有6,000的重均分子量。这里,重均分子量是通过GPC测量的就聚苯乙烯而言的重均分子量。
[0152] 比较合成例2(丙烯酸类共聚物(J)的制备)
[0153] 以与合成例1中基本上相同的方式制备丙烯酸类共聚物(J),只是向合成例1的配备冷却器和搅拌器的烧瓶添加400重量份的四氢呋喃、30重量份的甲基丙烯酸羟丁酯、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯和30重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯。丙烯酸类共聚物具有6,000的重均分子量。这里,重均分子量是通过GPC测量的就聚苯乙烯而言的重均分子量。
[0154] 比较合成例3(丙烯酸类共聚物(K)的制备)
[0155] 以与合成例1中基本上相同的方式制备丙烯酸类共聚物(K),只是向合成例1的配备冷却器和搅拌器的烧瓶添加400重量份的四氢呋喃、30重量份的甲基丙烯酸甲酯、20重量份的甲基丙烯酸、20重量份的苯乙烯和30重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯。丙烯酸类共聚物具有6,000的重均分子量。这里,重均分子量是通过GPC测量的就聚苯乙烯而言的重均分子量。
[0156] 实施例1(光敏树脂组合物的制备)
[0157] 将30重量份的在合成例9中制备的1,2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯化合物、3重量份的(3-环氧丙氧基丙基)三甲氧基硅烷作为硅烷偶联剂和100重量份的在合成例1中制备的丙烯酸类共聚物溶解在丙二醇一甲基醚乙酸酯中,以使基于100wt%的所得组合物,混合物的固体含量为20wt%,然后用0.1μm的微孔过滤器过滤溶液,从而制备光敏树脂组合物。
[0158] 实施例2(光敏树脂组合物的制备)
[0159] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用合成例2的丙烯酸类共聚物(B)代替实施例1中的合成例1的丙烯酸类共聚物(A)。
[0160] 实施例3(光敏树脂组合物的制备)
[0161] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用合成例3的丙烯酸类共聚物(C)代替实施例1中的合成例1的丙烯酸类共聚物(A)。
[0162] 实施例4(光敏树脂组合物的制备)
[0163] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用合成例4的丙烯酸类共聚物(D)代替实施例1中的合成例1的丙烯酸类共聚物(A)。
[0164] 实施例5(光敏树脂组合物的制备)
[0165] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用合成例5的丙烯酸类共聚物(E)代替实施例1中的合成例1的丙烯酸类共聚物(A)。
[0166] 实施例6(光敏树脂组合物的制备)
[0167] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用合成例6的丙烯酸类共聚物(F)代替实施例1中的合成例1的丙烯酸类共聚物(A)。
[0168] 实施例7(光敏树脂组合物的制备)
[0169] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用合成例7的丙烯酸类共聚物(G)代替实施例1中的合成例1的丙烯酸类共聚物(A)。
[0170] 实施例8(光敏树脂组合物的制备)
[0171] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用合成例8的丙烯酸类共聚物(H)代替实施例1中的合成例1的丙烯酸类共聚物(A)。
[0172] 实施例9(光敏树脂组合物的制备)
[0173] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用15重量份的合成例9的1,2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯化合物和15重量份的合成例10的1,2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯化合物代替实施例1中的30重量份的合成例9的1,2-萘醌二叠氮-5-磺酸酯化合物。
[0174] 实施例10(光敏树脂组合物的制备)
[0175] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用(3-异氰酸丙基)三甲氧基硅烷代替实施例1中的(3-环氧丙氧基丙基)三甲氧基硅烷作为硅烷偶联剂。
[0176] 比较例1(光敏树脂组合物的制备)
[0177] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用比较合成例1的丙烯酸类共聚物(I)代替实施例1中的合成例1的丙烯酸类共聚物(A)。
[0178] 比较例2(光敏树脂组合物的制备)
[0179] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用比较合成例2的丙烯酸类共聚物(J)代替实施例1中的合成例1的丙烯酸类共聚物(A)。
[0180] 比较例3(光敏树脂组合物的制备)
[0181] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是使用比较合成例3的丙烯酸类共聚物(K)代替实施例1中的合成例1的丙烯酸类共聚物(A)。
[0182] 比较例4(光敏树脂组合物的制备)
[0183] 以与实施例1中基本上相同的方式制备光敏树脂组合物,只是不使用实施例1中的作为硅烷偶联剂的(3-环氧丙氧基丙基)三甲氧基硅烷。
[0184] 对于实施例1至10和比较例1至4,测量物理性质比如敏感度、分辨率、固化工艺裕度、透光度、耐热变色性、粘附性和耐热性,并且将其示于下面表1中。使用旋转涂布机将根据实施例1至10和比较例1至4的光敏树脂组合物涂布在玻璃基板上,并在100℃的热板上自由烘烤2分钟,从而形成厚度为4.0μm的膜。
[0185] A)敏感度-使用一组预定的图案掩模,以10μm接触孔临界尺寸(CD)参考量的敏感度在由此形成的膜上照射20mW/cm2的宽带下的强度的紫外线,然后在23℃下用2.38wt%的四甲基氢氧化铵水溶液进行显影1分钟,并用超纯水进行清洗1分钟。然后,将400mJ/cm2的在365nm处具有20mW/cm2的强度的紫外线照射在显影的图案上,并在230℃的烘箱中进行固化30分钟,从而获得厚度为3.0μm的图案膜。
[0186] B)分辨率-测量在A)中测量敏感度时形成的10μm接触孔图案的最小尺寸。
[0187] C)固化工艺裕度-以与A)中敏感度测量基本上相同的方式形成图案膜,只是基于10μm接触孔CD,测量固化之前和之后的CD变化率。这里,0%-10%的变化率表示为○,10%-
20%的变化率表示为△,并且大于20%的变化率表示为Х。
[0188] D)透光度-通过使用分光光度计,测量在A)中测量敏感度时形成的图案膜在400nm处的透光率来评估透光度。这里,90%或更大的透光度表示为○,85%-90%的透光度表示为△,并且小于80%的透光度表示为Х。
[0189] E)耐热变色性-在D)中评估透光度时测量的基板上,在230℃的烘箱中进一步进行30分钟的固化,两次,从而通过固化之前和之后的图案膜的400nm透光率变化来评估耐热变色性。这里,小于3%的透光率变化率表示为○,3%-5%的透光率变化率表示为△,并且大于5%的透光率变化率表示为Х。
[0190] F)粘附性-通过观察在A)中测量敏感度时形成的图案膜,经图案是否丢失的范围来评估粘附性。在95℃或更高的自由烘烤温度下确保粘附性的情况表示为○,在100-105℃的自由烘烤温度下确保粘附性的情况表示为△,并且在大于105℃的自由烘烤温度下确保粘附性或图案丢失的情况表示为Х。
[0191] G)耐热性-使用热重分析法(TGA)测量耐热性。对在A)中测量敏感度时形成的图案进行取样,并使用TGA以10℃/分钟将温度从室温(例如,约25℃)升高至900℃。大于300℃的5wt%损失温度的情况表示为○,280-300℃的5wt%损失温度的情况表示为△,并且小于
280℃的5wt%损失温度的情况表示为Х。
[0192] 表1
[0193]
[0194] 如上面表1中所示,实施例1至10中制备的光敏树脂组合物具有优异的性能,比如分辨率、固化工艺裕度、透光度、耐热变色性和耐热性。例如,证实了实施例1至10中制备的光敏树脂组合物,与比较例1至3相比,具有优异的敏感度,从而减少了工艺所需的时间,并且与比较例4相比,具有优异的粘附性以确保优异的面板可靠性。另外,如表1中所示,证实了根据实施例的轮廓长度为最小12μm至最大16μm,并且根据比较例的轮廓长度为在最小14μm至最大20μm。表1中,轮廓长度是在SEM中得到的。在根据本申请的示例性实施方式的情况下,证实了光暴露敏感度是优异的从而具有相对短的轮廓。另外,在具有优异的光暴露敏感度的情况下,减少了工艺所需或所用的光暴露量,从而提高了生产率。
[0195] 尽管上面已经描述了示例性本公开的实施方式,但本公开的范围不限于此,并且本领域技术人员利用下面权利要求及其等效方式所限定的本公开的基本构思的许多变化和修改也属于本公开的范围。
[0196] 虽然已经结合目前认为是可实现的示例性实施方式描述了本公开的主题,但应理解,本公开不限于所公开的实施方式。相反,其旨在涵盖包含在所附的权利要求及其等效方式的精神和范围内的各种修改和等效布置。
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