专利汇可以提供一种硅片超声波循环清洗器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种 硅 片 超 声波 循环清洗器,包括清洗槽,清洗槽上部外侧安装控制面板,控制面板下方设置的 电机 一端机械连接第一旋转杆的一端,第一旋转杆贯穿安装在清洗槽壁内的 轴承 ,且固接 硅片 放置架的一侧,硅片放置架的另一侧固接第二旋转杆的一端,第二旋转杆的另一端插入轴承座内, 超声波 发生器两侧分别设置鼓泡器,清洗槽底部中心 位置 连接有出液管,出液管连接过滤 净化 器,过滤净化器连接蓄液槽,蓄液槽连接 排液管 的下端口,排液管上安装有 增压 泵 ,排液管的上端口连通清洗槽的上部。本实用新型能够实时循环利用过滤净化后的清洗液,将硅片清洗干净且能够将局部清洗液的 温度 和化学 试剂 快速扩散至整个清洗液中。,下面是一种硅片超声波循环清洗器专利的具体信息内容。
1.一种硅片超声波循环清洗器,包括清洗槽(1),其特征在于:所述清洗槽(1)上部外侧安装控制面板(2),所述控制面板(2)下方设置电机(3),所述电机(3)的一端机械连接第一旋转杆(4)的一端,所述第一旋转杆(4)贯穿安装在所述清洗槽(1)壁内的轴承(5),且固接硅片放置架(6)的一侧,所述硅片放置架(6)上部通过栅栏门(7)固定,所述硅片放置架(6)的另一侧固接第二旋转杆(8)的一端,所述第二旋转杆(8)的另一端插入轴承座(9)内,所述硅片放置架(6)下方设有加热器(10)和温控器(11),所述加热器(10)下方设置超声波发生器(12),所述超声波发生器(12)两侧分别设置鼓泡器(13),所述清洗槽(1)的一侧连接有进液管(14),所述清洗槽(1)底部中心位置连接有出液管(15),所述出液管(15)连接过滤净化器(16),所述过滤净化器(16)连接蓄液槽(17),所述蓄液槽(17)连接排液管(18)的下端口,所述排液管(18)上安装有增压泵(19),所述排液管(18)的上端口连通所述清洗槽(1)的上部。
2.根据权利要求1所述的一种硅片超声波循环清洗器,其特征在于:所述硅片放置架(6)分隔为若干放置腔。
3.根据权利要求1所述的一种硅片超声波循环清洗器,其特征在于:所述过滤净化器(16)至少包括活性炭滤芯和中空纤维超滤膜。
4.根据权利要求1所述的一种硅片超声波循环清洗器,其特征在于:所述增压泵(19)为水位式增压泵。
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