专利汇可以提供一种基于柔性衬底的共面波导及制作方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种基于柔性衬底的共面 波导 及制作方法,具体结构为层式结构,从下至上依次为柔性衬底(3)、高 介电常数 介质层(4)、第一、第二GND金属层(11)、(12)以及它们之间设置的传输线金属层(2),其中,所述传输线金属层(2)包括共面波导输入端和共面波导输出端;采用一种新型的 电路 结构设计以及制备工艺,在柔性PET衬底上采用 磁控溅射 的方法涂上一层高介电常数 钛 酸钡介质层作为微带线介质层。通过HFSS设计优化共面波导结构参数,通过ADS仿真得到版图设计,采用磁控溅射高介电常数介质层, 光刻 后金属 蒸发 生长技术。本发明使得柔性器件在大规模集成电路中的应用提供了可能;在柔性射频集成电路的制作与智能穿戴领域具有广泛的应用前景。,下面是一种基于柔性衬底的共面波导及制作方法专利的具体信息内容。
1.一种基于柔性衬底的共面波导,其特征在于,该共面波导为层式结构,从下至上依次为柔性衬底(3)、高介电常数介质层(4)、第一、第二GND金属层(11)、(12)以及它们之间设置的传输线金属层(2),其中,所述传输线金属层(2)包括共面波导输入端和共面波导输出端。
2.一种基于柔性衬底的共面波导制作方法,其特征在于,所述制作方法包括以下步骤:
步骤一、首先利用HFSS软件设计并调整共面波导结构参数,在ADS仿真软件中设计出共面波导的基本原理图,采用微带电路中常用的微带线作为共面波导的优化工具,完成连线与设计,初始化共面波导的基本长宽参数,设计对称的网络结构;
步骤二、计算得到共面波导的相关参数包括基板厚度设置为0.128mm、微带线的相对介电常数为97.2、微带线的电导率为5.88E+7、微带电路的封装高度为1.0e+33mm、微带线的金属层厚度为500nm、输入端口的特征阻抗为50Ω、输出端口的特征阻抗为50Ω,通过计算得到微带线的基本长宽分别为3279μm和9.13μm、与接地面之间的距离为5μm;
步骤三、对微带线电路图进行S参数为目标的仿真与优化,添加优化控件,设置1Ghz为目标工作频率区间以及S参数在此区间的数值要求,完成对共面波导单元的优化设置;
步骤四、进行仿真,得到S参数的曲线与目标进行对比,多次优化以后得到最优结果;
步骤五、生成共面波导的版图,进行版图优化后仿真,得到仿真曲线,保存版图;
步骤六、根据生成版图制备掩膜版,在柔性衬底上磁控溅射产生97.2高介电常数的介质层;
步骤七、使用丙酮和异丙醇在超声中清洗柔性衬底,随后在完成磁控溅射的衬底上进行匀胶,使用1813正性光刻胶,匀胶转速为4000r/min、匀胶时间为30s、匀胶温度为115℃,并对光刻胶在90℃进行3分钟的前烘;
步骤八、根据生成的掩膜版进行对准光刻,形成共面波导的图案;
步骤九、在形成共面波导的图案上进行金属蒸发,形成500nm厚的金电极金属层,去胶以后完成制备。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
一种显示屏及终端设备 | 2020-05-08 | 609 |
传感器控制设备和图像形成设备 | 2020-05-08 | 895 |
用于真空腔室的热处理设备、用于沉积材料于柔性基板上的沉积设备、在真空腔室中热处理柔性基板的方法、及处理柔性基板的方法 | 2020-05-08 | 917 |
光学物品以及包括该光学物品的光学滤波器 | 2020-05-08 | 759 |
由包含铼和/或钌的超合金制成的涡轮部件以及相关制造方法 | 2020-05-08 | 290 |
产生电催化剂的方法 | 2020-05-08 | 637 |
发光装置及其制造方法 | 2020-05-11 | 197 |
一种显示基板、制备方法及其相关转移方法 | 2020-05-08 | 30 |
天线模块 | 2020-05-08 | 257 |
高深宽比沉积 | 2020-05-08 | 147 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。