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Perpendicular magnetic recording medium

阅读:883发布:2022-10-06

专利汇可以提供Perpendicular magnetic recording medium专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a perpendicular magnetic recording medium having high thermal stability and recording density.
SOLUTION: The perpendicular magnetic recording medium includes perpendicular magnetic recording layers and a substrate for supporting the same. Each of the perpendicular magnetic recording layers consists of two or more layers of perpendicular magnetic recording films formed of materials which have different physical properties and complement the physical properties with other perpendicular magnetic recording layers with each other. Each layer includes at least two or more perpendicular magnetic recording films among a layer for improving perpendicular magnetic anisotropic energy (Ku), a layer for reducing crystal grains, a layer for reducing magnetic domains, a layer for increasing an SNR (Signal to Noise Ratio), a layer for improving signal output, a layer for reducing noise, a layer for improving the uniformity of the sizes of the crystal grains, and a layer for improving the uniformity of the sizes of the magnetic domains.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO,下面是Perpendicular magnetic recording medium专利的具体信息内容。

  • 垂直磁気記録層及びこれを支持する基板を具備し、
    前記垂直磁気記録層は物理的/磁気的特性が相異なって相互補完的に物理的/磁気的特性を補完する物質で形成された、第1垂直磁気記録膜及び第2垂直磁気記録膜を少なくとも含むことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
  • 垂直磁気記録層は、
    垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を向上させるための層と、結晶粒を縮小するための層と、磁区を縮小するための層と、SNRを増加させるための層と、信号出力を向上させるための層と、ノイズを減らすための層と、結晶粒の大きさの均一度を向上させるための層と、磁区の大きさの均一度を向上させるための層のうち、少なくとも2つ以上の垂直磁気記録膜を含むことを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記第1垂直磁気記録膜は第2垂直記録膜に比べて小さな結晶粒を有し、
    第2垂直磁気記録膜は第1垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直異方性エネルギー(Ku)を有することを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層の前記第1垂直磁気記録膜は、前記第2垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を有し、
    前記第2垂直磁気記録膜は、ノイズを減らすための垂直磁気記録膜であることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層が、垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を向上させるための垂直磁気記録膜及び結晶粒を縮小するための垂直磁気記録膜を含むことを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層が、垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を向上させるための垂直磁気記録膜及び磁区を縮小するための垂直磁気記録膜を含むことを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層が、垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を向上させるための垂直磁気記録膜及び結晶粒の大きさの均一度を高めるための垂直磁気記録膜を含むことを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記第1垂直磁気記録層及び第2垂直磁気記録層のうちの一方は信号出力を向上させるために適用され、他方は媒体のノイズを減らすために適用されることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層の第1垂直磁気記録膜は、第2垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を有することを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜が結晶構造を有することを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜が非晶質構造を有することを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 垂直磁気記録層が、結晶構造の垂直磁気記録膜と非晶質構造の垂直記録膜とを組合わせて構成されたことを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は、磁区が物理的に断絶された構造を有することを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は、磁区が物理的に断絶されていない構造を有することを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 垂直磁気記録層は、磁区が物理的に断絶された構造の垂直磁気記録膜と磁区が物理的に断絶されていない垂直磁気記録膜とを含むことを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 垂直磁気記録層は、磁気粒子間の磁気的交換結合の弱い垂直磁気記録膜だけで構成されたことを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 垂直磁気記録層は磁気粒子間の磁気的交換結合の弱い垂直磁気記録膜と磁気粒子間の磁気的交換結合の強い垂直磁気記録膜との組合わせで構成されたことを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は、CoCr合金、NiFe合金、FePt合金、Fe合金、Co合金、Ni合金、Pd合金、Pt合金、並びに{Nd、Pd、Ru、B、Nb}のうちの少なくとも1種を含む合金から選ばれる少なくとも1種の合金で形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 垂直磁気記録層と基板の間に少なくとも一つの下地膜が介設されていることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記下地膜は{Pt、Au、Ag、Pd、Ti、Ta、B、Nb、Co、Fe、Ni、Cu、Mo、Ru、Ta、C、Oxide、Si}から選択された少なくとも一つまたは少なくとも二つの物質を含む合金により形成されることを特徴とする請求項14に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層は、CoCrPt合金及びCoCrPtX(X=B、Nb、Ta、O、C)合金のうちいずれか一つで形成される2つの垂直磁気記録膜を含み、第1の垂直磁気記録膜はPt含量が10%以上であり、第2の垂直磁気記録膜はPt含量が10%以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層の第1垂直磁気記録膜はCoCrPt合金で形成され、第2垂直磁気記録膜はCoCrPtX(X=B、Nb、Ta、O、C)合金で形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層の第1垂直磁気記録膜はCoCrNbPt合金で形成され、第2垂直磁気記録膜はCoCrBPt合金で形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層の第1垂直磁気記録膜はCoCrPt合金で形成され、第2垂直磁気記録膜はCoCrBPt合金で形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層の第1垂直磁気記録膜はCoCrPt合金で形成され、第2垂直磁気記録膜はCoCrNbPt合金で形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は組成の相異なるCoCrPt合金の組合わせで形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜はCo、Cr及びPtを含む合金で形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層のいずれか一つの垂直磁気記録膜はCoCrPtX(X=B、Nb、Ta、O、C)を含む合金で形成されることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記各垂直磁気記録膜の厚さは50nm以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記垂直磁気記録層の総厚さは200nm以下であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記第1の垂直磁気記録膜及び第2の垂直磁気記録膜は、共に格子整合構造を有することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 前記第1の垂直磁気記録膜及び第2の垂直磁気記録膜のうちの一方は格子整合構造を有し、他方は格子不整合構造を有することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
  • 说明书全文

    本発明は垂直磁気記録媒体に係り、より詳細には高い熱的安定性及び高い記録密度を有する垂直磁気記録媒体に関する。

    情報貯蔵装置として最も汎用性を有するHDD(Hard Disk Drive)の容量拡大のために、既存の磁気記録方式に比べて記録密度を高めるのに有利な垂直磁気記録方式が採択された。 垂直磁気記録方式は、磁化方向を媒体のフィルム平面に対して垂直方向に配向させて記録密度を高める方式である。 垂直磁気記録方式の媒体の熱的安定性を高めて記録密度をさらに高めるためには1×10 6 erg/cc以上の垂直磁気異方性エネルギー、平均的に小さな結晶粒の大きさ、結晶粒の均一な分布及びさらに小さな磁区を有する必要がある。

    従来の垂直磁気記録媒体の場合には、垂直磁気記録異方性エネルギーが大きくなるほど結晶粒や磁区が大きくなり、また結晶粒や磁区が小さくなるほど垂直磁気記録異方性エネルギーが小さくなる。

    図1は、従来の単一磁気層の垂直磁気記録媒体の積層構造を示し、図2は、二重磁気層の垂直磁気記録媒体の積層構造を示す。

    従来の垂直磁気記録媒体を図示する図1及び図2を参照すれば、従来の垂直磁気記録媒体は垂直異方性を向上させるために垂直磁気記録膜103、203の各下部に垂直配向下地膜102及び軟磁性膜202が設けられた構造を有する。

    具体的に、図1に図示されたように、従来の単一磁気層垂直磁気記録媒体において、基板101上に垂直配向下地膜102が設けられ、その垂直配向下地膜102の上に垂直磁気記録膜103が設けられている。 垂直磁気記録膜103上にはこれを保護するための保護膜104が位置し、保護膜104上には情報記録/再生のためのヘッドスライダーの衝突を抑制して円滑な摺動を誘導して保護膜104及びその下部の記録膜103を保護する潤滑膜105が形成される。

    図2に図示された従来の二重磁気層垂直磁気記録媒体の場合には、図1に示す前記垂直配向下地膜102の代りに軟磁性膜202が設けられている。 前記軟磁性膜202は基板201に形成され、軟磁性膜202上には前記のように垂直磁気記録膜203が設けられ、この垂直磁気記録膜203の上に保護膜204及び潤滑膜205が順次形成される。

    前記2つの従来の記録媒体は、共に垂直配向された一つの磁気記録層を有する。 この場合、高密度記録で熱的安定性を確保するために垂直磁気異方性エネルギー(Ku)が大きい材料で磁気記録層が形成される。 しかし、材料特性上、垂直磁気異方性エネルギーが大きい材料は結晶粒及び磁区の大きさ、そしてノイズが大きくて高密度記録を達成するのに限界がある。 一方、高密度記録のために結晶粒及び磁区が小さな材料を使用する場合に超高密度記録ができ、かつ優秀なSNR(signal to noise ratio:SN比)特性を得られるが、垂直磁気異方性エネルギー(Ku)が小さくて熱的安定性を確保できない短所がある。

    本発明は、垂直磁気異方性エネルギーが大きく、かつ結晶粒及び磁区が小さくて超高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体を提供することを目的とする。

    前記の目的を達成するために、本発明によれば、少なくとも2つの垂直磁気記録層と、これらの垂直磁気記録層を支持する基板とを具備する垂直磁気記録媒体が提供される。 前記垂直磁気記録層のそれぞれは相異なる物理的/磁気的特性を有して他の垂直磁気記録層と互いに物理的/磁気的特性を補完する物質で形成される。

    前記本発明の垂直磁気記録媒体において、前記垂直磁気記録層は、垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を向上させるための層と、結晶粒を縮小するための層と、磁区を縮小するための層と、SNRを増加させるための層と、信号を向上させるための層と、ノイズを減らすための層と、結晶粒の大きさの均一度を向上させるための層と、磁区の大きさの均一度を向上させるための層のうち、少なくとも2つ以上の垂直磁気記録膜を含むことを特徴とする。

    かかる本発明は複数の垂直磁気記録膜を多数適用することによって、各層が相互補完的な機能を行うことによって、熱的安定性が高くかつ非常に高い情報記録密度を有することができる垂直磁気記録媒体を提供する。

    本発明の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層は、第1垂直磁気記録膜及び第2垂直磁気記録膜を含むが、第1垂直磁気記録膜は第2垂直記録膜に比べて小さな結晶粒を有し、第2垂直磁気記録膜は第1垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を有する。

    他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層は第1垂直磁気記録膜及び第2垂直磁気記録膜を含むが、前記第1垂直磁気記録膜は前記第2垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を有し、前記第2垂直磁気記録膜はノイズを減らすための垂直磁気記録膜である。

    さらに他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層が垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を向上させるための垂直磁気記録膜及び結晶粒を縮小するための垂直磁気記録膜を含むか、または前記垂直磁気記録層が垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を向上させるための垂直磁気記録膜及び磁区を縮小するための垂直磁気記録膜を含むか、または前記垂直磁気記録層が垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を向上させるための垂直磁気記録膜及び結晶粒の大きさの均一度を高めるための垂直磁気記録膜を含む。 さらに一方には、前記垂直磁気記録層が信号出力を向上させるための垂直磁気記録膜及びノイズを減らすための垂直磁気記録膜を含むか、または前記垂直磁気記録層は第1垂直磁気記録膜及び第2垂直記録膜を含み、前記第1垂直磁気記録膜は第2垂直磁気記録膜に比べて大きい垂直磁気異方性エネルギー(Ku)を有する。

    前記本発明の垂直磁気記録媒体において、垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は結晶構造または非晶質構造を有し、さらに一方には、結晶構造の垂直磁気記録膜及び非晶質構造の垂直記録膜をいずれも含んで構成され得る。 また、第1垂直磁気記録層および第2垂直磁気記録層のうちの1つが結晶構造を有し、他方の垂直磁気記録層が非晶質構造を有する。

    垂直磁気記録層の垂直磁気記録膜は、磁区が相互に物理的に断絶された構造または断絶されていない構造を有することができ、一方には垂直磁気記録層は磁区が物理的に断絶された構造の垂直磁気記録膜及び磁区が相互に物理的に断絶されていない垂直磁気記録膜を含むことができる。

    本発明の垂直磁気記録媒体は、従来の垂直磁気記録媒体に比べて優秀な熱的安定性及び高いSNRを有し、超高密度記録に適している。

    以下、添付された図面を参照しながら本発明の望ましい実施形態について詳細に説明する。
    図3は、本発明の概念に基づいた具体的な実施形態として本発明の第1の実施形態における単一磁気層を備える垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す。

    図3を参照すれば、基板301上に垂直配向下地膜302が積層され、こ垂直配向下地膜302の上に連続的に第1垂直磁気記録膜303及び第2垂直磁気記録膜304が形成されている。 第1垂直磁気記録膜303はノイズを減らす物質の蒸着により形成され、第2垂直磁気記録膜304は熱的安定性を向上させるための大きい垂直磁気異方性エネルギーを有する物質の蒸着により形成される。 前記第2垂直磁気記録膜304上には、保護膜305及び潤滑膜306が形成されている。

    図4は、本発明の第1の実施形態による二重磁気層を備える垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す。
    図4を参照すれば、基板401上に軟磁性膜402が蒸着され、その軟磁性膜402の上に垂直配向下地膜403が形成され、この垂直配向下地膜403の上に連続的に第1垂直磁気記録膜404及び第2垂直磁気記録膜405が形成される。 第1垂直磁気記録膜はノイズを減らす物質の蒸着により形成され、第2垂直磁気記録膜は熱的安定性を向上させるための大きい垂直磁気異方性エネルギーを有する物質の蒸着により形成される。 第2垂直磁気記録膜405上には保護膜406及び潤滑層407が順次形成される。

    図5は本発明の第2の実施形態による単一磁気層を備える垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す。
    図5を参照すれば、基板501上に垂直配向下地膜502が積層され、この垂直配向下地膜502上に第1垂直磁気記録膜503及び第2垂直磁気記録膜505が配置される。 そして、第1垂直磁気記録膜503と第2垂直磁気記録膜505の間に、第2垂直磁気記録膜505の特性を向上させるための中間膜504が介設されている。 前記第2垂直磁気記録膜505上には保護膜305及び潤滑層306が形成される。

    図6は、本発明の第2の実施形態による二重磁気層を備える垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す。
    図6を参照すれば、基板601上に軟磁性膜602が蒸着され、その軟磁性膜602上に垂直配向下地膜603が積層され、この垂直配向下地膜603の上に連続的に第1垂直磁気記録膜604、中間膜605及び第2垂直磁気記録膜606が形成されている。 前記中間膜605は、第2垂直磁気記録膜606の物理的/磁気的特性を向上させる物質で形成される。 前記第2垂直磁気記録膜606上には連続的に保護膜607及び潤滑層608が形成される。

    図7は、図3に図示された本発明による垂直磁気記録媒体のさらに具体的な構造の実施形態を図示する。
    図7を参照すれば、基板701上にTi垂直配向膜702が形成されて、その上に形成される第1垂直磁気記録層703および第2垂直磁気記録層704の配向性を向上させる。 第1垂直磁気記録層703はCoCrNbPtの蒸着により形成され、第2垂直磁気記録層704はCoCrBPtの蒸着により形成される。 第2CoCrBPt垂直磁気記録層704上に形成される保護膜705は、ダイアモンド状カーボン(DLC:Diamond Like Carbon)の蒸着により形成され、DLC保護膜705上には潤滑層706が形成されている。

    図8は、図7の実施形態によって製作された本発明の垂直磁気記録媒体及び従来の垂直磁気記録媒体の磁気ヒステリシス曲線である。
    図8において、符号“1”は、“DLC/CoCrNbPt/Ti/基板”の積層構造を有する従来の垂直磁気記録媒体の磁気ヒステリシス曲線を示し、符号“2”及び“3”は、共に“DLC/CoCrBPt/CoCrNbPt/Ti/Pt/基板”の積層構造を有する本発明による垂直磁気記録媒体の磁気ヒステリシス曲線を示す。 従来の記録媒体とは異なり、本発明の記録媒体2及び記録媒体3は、それぞれDLC保護層とCoCRNbPt垂直磁気記録膜の間にCoCrBPt膜を有する。 本発明の記録媒体2と記録媒体3とは、第2CoCrBPt垂直磁気記録膜と第1CoCrNbPt垂直磁気記録膜との厚さ比率が相異なる。 (ここで両者の差異点はDLC保護層とCoCrNbPt垂直磁気記録膜間のCoCrBPtの有無にあり、本発明の記録媒体2と記録媒体3との差異点は各垂直磁気記録膜、すなわち、第2CoCrBPt垂直磁気記録膜と第1CoCrNbPt垂直磁気記録膜との厚さ比率が相異なるということである。)

    図8によれば、同じCoCrNbPtの垂直磁気記録層にCoCrBPtの垂直磁気異方性エネルギーが大きい垂直磁気記録膜を蒸着することによって磁気的特性である保磁力(Hc)及び形比が飛躍的に増加することが分かる。

    図9は“DLC/CoCrNbPt/Ti/基板”の積層構造を有する従来の垂直磁気記録媒体1、並びに図7の実施形態によって製作されたものであって、“DLC/CoCrBPt/CoCrNbPt/Ti/基板”の積層構造を有する本発明の垂直磁気記録媒体2、3のそれぞれの垂直磁気異方性エネルギー(Ku)及び保磁力(Hc)を示したグラフである。

    図9によれば、本発明による垂直磁気記録媒体2、3が、従来の垂直磁気記録媒体1に比べて垂直磁気異方性エネルギー(Ku)及び保磁力(Hc)において顕著に高い値を有し、したがって熱的安定性が顕著に向上したことが分かる。

    図10及び図11は、本発明による前記垂直磁気記録媒体2、3の記録密度(kFCI)に関するスペクトル分析結果を示す。 図10及び図11によれば、900kFCI以上でも記録ができ、かつ優秀な出力が得られることが分かる。

    図12は、本発明の垂直磁気記録媒体1、2と、従来のSNR比が高い垂直磁気記録媒体3とのSNR値を比較して示したグラフである。 図12の結果によれば、500kFCIの記録密度以下でいずれも正のSNR値を示しており、本発明の垂直磁気記録媒体1,2は、SNR特性も、低いノイズ特性を有する従来の記録媒体3と同等な準を示していることが分かる。

    前記本発明の垂直磁気記録媒体の実施形態によれば、垂直磁気記録層の第1垂直磁気記録膜及び第2垂直磁気記録膜は、共にCoCr合金、NiFe合金、FePt合金、Feが添加された合金、Coが添加された合金、Niが添加された合金、Pdが添加された合金、Ptが添加された合金、並びに{Nd、Pd、Ru、B及びNb}のうち少なくとも1種を含む合金から選ばれる少なくとも1種の合金で形成され、前記基板と一対の第1垂直磁気記録膜及び第2垂直磁気記録膜との間に一つ以上の下地膜が介設されている。 前記下地膜は、Pt、Au、Ag、Pd、Ti、Ta、B、Nb、Co、Fe、Ni、Cu、Mo、Ru、Ta、C、Oxide及びSiから選ばれる少なくとも1種または2種の物質を含む合金により形成される。

    本発明の他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層は、共にCoCrPt合金又はCoCrPtX(X=B、Nb、Ta、O、C)合金のうちいずれか一つで形成される2個の垂直磁気記録膜を含み、第1の垂直磁気記録膜はPt含量が10%以上であり、第2の垂直磁気記録膜はPt含量が10%以下である。

    本発明のさらに他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層の第1垂直磁気記録膜はCoCrPt合金で形成され、第2垂直磁気記録膜はCoCrPtX(X=B、Nb、Ta、O、C)合金で形成され、さらに他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層の第1垂直磁気記録膜はCoCrNbPt合金で形成され、第2垂直磁気記録膜はCoCrBPt合金で形成される。

    本発明のさらに他の実施形態によれば、前記垂直磁気記録層の第1垂直磁気記録膜はCoCrPt合金で形成され、第2垂直磁気記録膜はCoCrBPt合金で形成され、または前記垂直磁気記録層の第1垂直磁気記録膜はCoCrPt合金で形成され、第2垂直磁気記録膜はCoCrNbPt合金で形成される。

    前記垂直磁気記録層の第1垂直磁気記録膜及び第2垂直磁気記録膜はCo、Cr及びPt含む合金で形成され、または前記垂直磁気記録層のいずれか一つの垂直磁気記録膜はCoCrPtX(X=B、Nb、Ta、O、C)を含む合金で形成される。 前記第1垂直磁気記録膜及び第2垂直磁気記録膜は、それぞれ厚さが50nm以下であり、前記垂直磁気記録層の総厚さが200nm以下であることが望ましい。

    前記第1垂直磁気記録膜及び第2垂直磁気記録膜は、共に格子整合構造を有したり、また、第1垂直磁気記録膜及び第2垂直磁気記録膜のうちの一方が整合構造を有し、他方が不整合構造を有する。

    前述した実施形態において、一つの記録層を構成する第1垂直磁気記録膜上に第2垂直磁気記録膜が存在すると説明されたが、これと逆に第2垂直磁気記録膜上に第1垂直磁気記録膜が形成されることもあり、別途の但し書きのない限り、本発明の請求項で第1垂直磁気記録膜及び第2垂直磁気記録膜の積層順序を変えて解釈してもよい。

    いくつかの模範的な実施形態が説明されて添付した図面に図示されたが、このような実施形態は広範囲な発明を例示するだけであり、本発明は図示及び説明された構造及び配列に限定されず、当業者により多様な他の修正が可能である。

    このような本発明は磁気膜を情報保存媒質として利用する情報保存装置、たとえば、汎用のHDDなどに適用できる。

    単一磁気記録層を有する従来の垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。

    二重磁気記録層を有する従来の垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。

    単一磁気記録層を有する本発明の第1実施形態における垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。

    二重磁気記録層を有する本発明の第1実施形態における垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。

    単一磁気記録層を有する本発明の第2実施形態における垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。

    二重磁気記録層を有する本発明の第2実施形態における垂直磁気記録用媒体の積層構造を示す図面である。

    各層が特定の材料で形成された図3の垂直磁気記録媒体の積層構造を示す図面である。

    本発明による垂直磁気記録媒体2、3と従来の垂直磁気記録媒体1との磁気ヒステリシス曲線を比較して示す図面である。

    本発明による垂直磁気記録媒体2、3と、従来の垂直磁気記録媒体1との間の垂直磁気異方性エネルギー(Ku)と保磁力(Hc)とを比較して示すグラフである。

    本発明による垂直磁気記録媒体2のスペクトル分析測定結果を示すグラフである。

    本発明による他の垂直磁気記録媒体3のスペクトル分析測定結果を示すグラフである。

    本発明による垂直磁気記録媒体のSNR測定結果を示すグラフである。

    符号の説明

    301 基板 302 垂直配向下地膜 303 第1垂直磁気記録膜 304 第2垂直磁気記録膜 305 保護膜 306 潤滑膜

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