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网板印刷装置
申请号	CN201510239163.X	申请日	2015-05-12	公开(公告)号	CN105082735B	公开(公告)日	2019-08-16
申请人	松下知识产权经营株式会社;			发明人	堀江勲; 末安祐介;
摘要	本发明的目的在于提供一种能够抑制以基板发生翘曲等的变形为起因而产生的印刷不良的网板印刷装置。具备：下承受箱(12)，在与基板(PB)的下表面接触的顶板部(12a)设有第一吸引孔(21)及第二吸引孔(22)；鼓风吸引用配管(23)，与下承受箱(12)的内部空间(12S)连通而在下承受箱(12)的外部延伸；鼓风吸引源(24)，通过鼓风吸引用配管(23)而吸出空气，在第一吸引孔(21)产生鼓风吸引力；真空吸引用配管(27)，与第二吸引孔(22)连结，通过下承受箱(12)的内部空间(12S)而向下承受箱(12)的外部延伸；及控制阀 (28)，通过真空吸引用配管(27)而向第二吸引孔(22)供给真空压力。
权利要求	1.一种网板印刷装置，使刮板在与基板接触的掩膜上滑动，由此通过设置于所述掩膜的图案孔而向所述基板上印刷糊剂，所述网板印刷装置的特征在于，具备：箱状构件，在上表面从下方支承所述基板并在与所述基板的下表面接触的顶板部设置有对所述基板进行鼓风吸引的第一吸引孔及对所述基板进行真空吸引的第二吸引孔；鼓风吸引用配管，与所述箱状构件的内部空间连通而在所述箱状构件的外部延伸；鼓风吸引源，通过所述鼓风吸引用配管而吸出所述内部空间的空气，在所述第一吸引孔产生对所述基板的鼓风吸引力；真空吸引用配管，与所述第二吸引孔连结，通过所述箱状构件的所述内部空间而向所述箱状构件的外部延伸；及真空压力供给单元，通过所述真空吸引用配管而向所述第二吸引孔供给真空压力而在所述第二吸引孔产生对所述基板的真空吸引力。 2.根据权利要求1所述的网板印刷装置，其特征在于，所述箱状构件能够更换。 3.根据权利要求1所述的网板印刷装置，其特征在于，所述箱状构件的所述顶板部能够更换。
说明书全文	网板印刷装置技术领域 [0001] 本发明涉及通过使刮板在与基板接触的掩膜上滑动从而通过设于掩膜的图案孔而向基板上印刷糊剂的网板印刷装置。背景技术 [0002] 在网板印刷装置中，作为用于防止掩膜与基板之间的位置错动的基板的保持方法，优选基于真空吸引的方法。以往，已知有在与基板的下表面接触的构件设置吸引孔而将其与真空吸引用配管连结，向真空吸引用配管供给真空压力的结构(例如，专利文献1)。 [0003] 【在先技术文献】 [0004] 【专利文献】 [0005] 【专利文献1】日本特开2003-224395号公报 [0006] 【发明要解决的课题】 [0007] 然而，在通过真空吸引来保持基板的结构中，在基板存在翘曲等变形而发生泄漏的情况下，吸引力极端下降，存在基板的保持力变弱而可能发生印刷不良这样的问题点。发明内容 [0008] 因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制以基板的翘曲等变形为起因而产生的印刷不良的网板印刷装置。 [0009] 【用于解决课题的方案】 [0010] 本发明的网板印刷装置使刮板在与基板接触的掩膜上滑动，由此通过设置于所述掩膜的图案孔而向所述基板上印刷糊剂，其中，所述网板印刷装置具备：箱状构件，在与所述基板的下表面接触的顶板部设置有第一吸引孔及第二吸引孔；鼓风吸引用配管，与所述箱状构件的内部空间连通而在所述箱状构件的外部延伸；鼓风吸引源，通过所述鼓风吸引用配管而吸出空气，在所述第一吸引孔产生鼓风吸引力；真空吸引用配管，与所述第二吸引孔连结，通过所述箱状构件的所述内部空间而向所述箱状构件的外部延伸；及真空压力供给单元，通过所述真空吸引用配管而向所述第二吸引孔供给真空压力。 [0011] 【发明效果】 [0012] 根据本发明，能够抑制以基板发生翘曲等变形为起因而产生的印刷不良。附图说明 [0013] 图1是本发明的一实施方式的网板印刷装置的侧视图。 [0014] 图2是表示本发明的一实施方式的网板印刷装置的控制系统的框图。 [0015] 图3是本发明的一实施方式的网板印刷装置具备的下承受箱及吸引机构的结构图。 [0016] 图4是本发明的一实施方式的网板印刷装置具备的下承受箱的俯视图。 [0017] 图5是表示本发明的一实施方式的网板印刷装置具备的操作面板上显示的操作画面的一例的图。 [0018] 图6是本发明的一实施方式的网板印刷装置的侧视图。 [0019] 【标号说明】 [0020] 1 网板印刷装置 [0021] 2 掩膜 [0022] 2h 图案孔 [0023] 3b 刮板 [0024] 12 下承受箱(箱状构件) [0025] 12S 内部空间 [0026] 12a 顶板部 [0027] 21 第一吸引孔 [0028] 22 第二吸引孔 [0029] 23 鼓风吸引用配管 [0030] 24 鼓风吸引源 [0031] 27 真空吸引用配管 [0032] 28 控制阀(真空压力供给单元) [0033] PB 基板 [0034] Pst 糊剂具体实施方式 [0035] 以下，参照附图，说明本发明的实施方式。图1示出本发明的一实施方式的网板印刷装置1。网板印刷装置1具备掩膜2、刮板头3及基板保持移动部4。网板印刷装置1的各部的动作控制由控制装置5进行(图2)。 [0036] 掩膜2保持为水平姿势，向上表面供给糊剂Pst。在掩膜上形成有与基板PB的电极配置对应的图案孔2h。刮板头3具备通过刮板升降工作缸3a而升降的刮板3b。刮板头3由头移动机构3M驱动而沿水平方向移动。 [0037] 基板保持移动部4由保持基板PB的基板保持机构部4a、使基板保持机构部4a向水平面内方向及上下方向移动的移动机构部4b构成。基板保持机构部4a具备搬运输送设备11、下承受箱12、夹紧件13及吸引机构14。搬运输送设备11对基板PB进行搬运并定位，下承受箱12在上表面从下方承受搬运输送设备11定位了的基板PB。夹紧件13从侧方夹紧下承受箱12从下方承受的基板PB。吸引机构14吸引下承受箱12从下方承受的基板PB而保持于下承受箱12的上表面。 [0038] 在图3中，作为箱状构件的下承受箱12由上表面与基板PB的下表面接触的顶板部12a和保持顶板部12a的支撑部12b构成。顶板部12a相对于支撑部12b成为拆装自如。在顶板部12a设有多个第一吸引孔21和多个第二吸引孔22。第一吸引孔21是用于对基板PB和掩膜2进行鼓风吸引的孔。因此，第一吸引孔21设置在与由夹紧件13夹紧的基板PB的下表面相对的位置及与基板PB的切口部K相对的位置(也参照图4)。在图4中，设置在与基板PB的下表面相对的位置上的第一吸引孔21由标号21a表示，设置在与基板PB的切口部K相对的位置上的第一吸引孔21由标号21b表示。另一方面，第二吸引孔22是用于对基板PB进行真空吸引的孔。因此，第二吸引孔22设置在由夹紧件13夹紧的基板PB的下表面中的避开与切口部K相对的位置的位置(也参照图4)。 [0039] 吸引机构14由鼓风吸引用配管23、鼓风吸引源24、多个真空吸引用配管27及控制阀28构成。在图3中，鼓风吸引用配管23与下承受箱12的内部空间12S连通，在下承受箱12的外部延伸。鼓风吸引源24与鼓风吸引用配管23连接。鼓风吸引源24构成包括：通过鼓风吸引用配管23吸出空气，在第一吸引孔21产生鼓风吸引力的电动机25；及通过变更向电动机25供给的电源的频率而使电动机25的转速变化的逆变器26。 [0040] 在图3中，各真空吸引用配管27从顶板部12a的下表面侧连结于各第二吸引孔22。上述的真空吸引用配管27穿过下承受箱12的内部空间12S而通过下承受箱12的侧面的开口部(该开口部被密封)，向下承受箱12的外部延伸。多个真空吸引用配管27与真空源29连接。控制阀28夹装在真空吸引用配管27与真空源29之间。控制阀28由控制装置5操作，进行真空源29向真空吸引用配管27供给的真空压力的控制。即，控制阀28成为通过真空吸引用配管 27而向第二吸引孔22供给真空压力的真空压力供给单元。 [0041] 在图2及图3中，在控制装置5上连接操作面板30。在操作面板30上，例如图5所示，显示用于通过逆变器26而进行电动机25的转速的调整(设定及变更)的操作画面GM。作业者当从操作面板30的操作画面进行变更向逆变器26供给的电源的频率的操作时，电动机25的转速变化，由此，变更通过了第一吸引孔21的空气的吸引流量(鼓风流量)，基板PB及掩膜2的吸引力进行增减。需要说明的是，在图5所示的例子中，在操作画面GM中的“鼓风频率”一栏W中，通过从包含数字键的数值输入按钮组TN输入所希望的频率值而进行逆变器26的电源的频率设定。 [0042] 在这样的结构的网板印刷装置1向基板PB印刷糊剂Pst时，首先，搬运输送设备11搬入基板PB而定位在规定的位置。并且，下承受箱12从下方承受基板PB，夹紧件13将基板PB夹紧。 [0043] 在夹紧件13夹紧基板PB之后，移动机构部4b使基板保持机构部4a移动，以使基板PB的电极与掩膜2的图案孔2h一致的方式使基板PB与掩膜2接触(图6中所示的箭头A)。在基板PB与掩膜2接触之后，吸引机构14动作，从第一吸引孔21鼓风吸引基板PB和掩膜2，从第二吸引孔22真空吸引基板PB。基板PB除了从第二吸引孔22被真空吸引之外，还从第一吸引孔21被鼓风吸引，因此即使在基板PB存在翘曲等变形而真空吸引力变得不充分的情况下，也将基板PB牢固地保持在下承受箱12的上表面。而且，掩膜2也从第一吸引孔21被鼓风吸引，因此即使在掩膜2存在翘曲的情况下，也能将其矫正，掩膜2牢固地密接于基板PB。 [0044] 电动机25的转速越大而鼓风流量越变大，虽然掩膜2向基板PB的密接度增大，但是鼓风流量过大时，由鼓风吸引而通过掩膜2的图案孔2h向掩膜2的下表面侧吸出的糊剂Pst的“渗出”变得过度，可能会产生印刷不良。作业者预先研究产生印刷不良的电动机25的转速(设为极限转速)，以使电动机25的转速成为上述极限转速以下的方式，进行通过逆变器26的电动机25的转速的设定操作(直接向电动机25供给的电源的频率的设定操作)，由此能够防止以糊剂Pst的渗出为起因的印刷不良。在本实施方式中，从操作面板30能够容易地进行这样的通过逆变器26的电动机25的转速的设定操作，操作性优异。 [0045] 在吸引了基板PB和掩膜2之后，刮板3b下降而与掩膜2的上表面抵接。然后，刮板头3沿水平方向移动(图6中所示的箭头B)，使刮板3b在掩膜2上滑动。由此，掩膜2上的糊剂Pst由刮板3b搂在一起，通过掩膜2的图案孔2h而向基板PB上印刷。 [0046] 在向基板PB上印刷了糊剂Pst之后，移动机构部4b使基板保持机构部4a下降，使基板PB从掩膜2分离。在基板PB从掩膜2分离之后，吸引机构14解除基板PB和掩膜2的吸引。此外，夹紧件13打开而解除基板PB的夹紧，搬运输送设备11将基板PB向网板印刷装置1的外部搬出。由此，基板PB的每一张的网板印刷完成。 [0047] 如以上说明那样，在本实施方式的网板印刷装置1中，在基板PB的保持中并用鼓风吸引和真空吸引，通过真空吸引和鼓风吸引这双方来吸引基板PB。因此，即使基板PB存在翘曲等变形而真空吸引力变得不充分的情况下，也能够维持基板PB的牢固的保持力，能够抑制以基板PB的翘曲等变形为起因而产生的印刷不良的发生。而且，通过利用鼓风吸引来吸引掩膜2，由此即使掩膜2存在翘曲的情况下也能将其矫正，掩膜2与基板PB的密接度提高。因此，也能够进行适合高密度安装的糊剂印刷。 [0048] 另外，在本实施方式中，顶板部12a拆装自如，能够更换，对应于所有种类的基板PB而能够进行其下方承受及吸引保持。即使取代如本实施方式那样能够更换顶板部12a而设为能够更换下承受箱12的整体的结构，也能得到同样的效果。 [0049] 【工业实用性】 [0050] 提供一种能够抑制以基板上的翘曲等变形为起因而产生的印刷不良的发生的网板印刷装置。

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