子分类：
| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 用于生成谱计算机断层摄影投影数据的系统 | CN201580006738.1 | 2015-12-01 | CN105939667B | 2017-12-12 | H·德尔; R·斯特德曼布克; G·福格特米尔; E·勒斯尔; G·马滕斯; C·里宾 |
| 本发明涉及一种用于生成谱计算机断层摄影投影数据的系统(31)。包括能量分辨探测器的谱投影数据生成设备(6)基于已经由辐射设备(2)提供的已经穿过检查区(5)之后的多色辐射(4)来生成谱计算机断层摄影投影数据，并且参考值生成设备基于尚未穿过所述检查区的辐射来生成能量相关的参考值。谱参数提供单元(12)基于所述能量相关的参考值来提供指示所述辐射设备的谱性质的谱参数。特别地，可以随时间监测所述辐射设备的谱性质，其中，该信息能够被用于例如校正所述谱计算机断层摄影投影数据和/或如果指示所述辐射设备的不期望的谱性质，则触发所述辐射设备的替换。 | ||||||
| 2 | 极紫外光源的靶材料供应装置 | CN201380053831.9 | 2013-09-25 | CN104885161B | 2017-12-05 | S·德地亚; G·O·瓦斯恩冦; P·M·包姆加特; N·R·鲍尔林 |
| 一种用于极紫外(EUV)光源的靶材料供应装置，包括管，该管包括第一端、第二端、以及限定在第一端和第二端之间的侧壁。管的外表面的至少一部分包括电绝缘材料，第一端接收增压的靶材料，且第二端限定一孔口，增压的靶材料通过该孔口流过以产生靶材料液滴流。所述靶材料供应装置还包括位于管的外表面上的导电涂层。该涂层被配置为将管的外表面电连接至地从而减少外表面上的表面电荷。 | ||||||
| 3 | EUV光源和曝光装置、校准装置和校准方法 | CN201410548939.1 | 2014-10-16 | CN105573060B | 2017-12-01 | 伍强; 岳力挽 |
| 一种EUV光源和曝光装置、校准装置和校准方法，所校准装置，包括：位于辐射位置的发光体，发光体具有沿直线扫描方向排布的若干发光源，若干发光源适于向外依次发射光线；聚光镜载台，适于装载待校准的聚光镜，并驱动待校准的聚光镜旋转扫描，使得待校准的聚光镜的椭球型反射面收集发光源发射的光线，并将收集的光线反射汇聚于中心焦点；位于中心焦点处的阵列探测器，阵列探测器具有标准中心点，阵列探测器的标准中心点与中心焦点重合，所述阵列探测器适于检测聚光镜反射的光线，获得检测光斑，并判断检测光斑与标准中间点的位置差异。本发明校准装置能够对EUV光源的聚光镜的偏移量实现精确的校准，提高了EUV光源输出的极紫外光的功率。 | ||||||
| 4 | 用于X射线系统中的快速千伏切换的系统和方法 | CN201480005718.8 | 2014-01-22 | CN104918554B | 2017-11-17 | A.卡亚法 |
| 各个所公开实施例考虑X射线成像系统、例如CT系统中促进在X射线管的高与低电压之间的更快捷切换的系统和方法。某些实施例电路存储和释放能量，以改进电压上升和下降时间。这些电路减轻损耗、滞后周期和泄漏电流的影响。更大可控电压上升和下降时间可改进X射线发射和探测同步。 | ||||||
| 5 | 用于产生伦琴辐射的伦琴射线源和方法 | CN201480041638.8 | 2014-03-04 | CN105379427B | 2017-10-17 | O.海德 |
| 说明一种伦琴射线源（1），所述伦琴射线源具有可抽成真空的外壳体（3）、用于发射电子射束的电子源（7）和用于产生伦琴辐射的阳极（13），其中所述外壳体具有至少一个伦琴射线束可穿透的射束出射窗口（5）。所述阳极在所述伦琴射线源运行的情况下以蒸气相存在，其中所述蒸气态阳极能够通过以冷凝相存在的阳极材料储备（15）的通过电子射束作用的蒸发来产生。此外，说明了一种方法，其中在伦琴射线源的可抽成真空的外壳体内通过以电子射束轰击以冷凝相存在的阳极材料连续地形成蒸气态阳极。所述蒸气态阳极通过与所述电子射束的相互作用发射伦琴辐射。根据本发明的用于产生伦琴辐射的方法的优点与根据本发明的伦琴射线源的优点相似地得出。 | ||||||
| 6 | X射线辐射器 | CN201410721225.6 | 2014-12-02 | CN104717816B | 2017-10-10 | S.塞策; S.桑斯 |
| 本发明涉及一种具有X射线管的X射线辐射器，该X射线管包括真空包封，在该真空包封中布置发射器和阳极，其中发射器能够被外部螺旋发射器加热电流供应器(12，22，32，42，52)加热。按照本发明，发射器被构造为平面发射器(13，23，33，43，53)并且匹配电路(11，21，31，41，51)布置在平面发射器(13，23，33，43，53)和螺旋发射器加热电流供应器(12，22，32，42，52)之间。通过按照本发明的解决方案可以在X射线辐射器设备中无需结构改变地将基于螺旋发射器的X射线辐射器与基于平面发射器的X射线辐射器交换。 | ||||||
| 7 | 光子源、检查设备、光刻系统以及器件制造方法 | CN201380030523.4 | 2013-05-23 | CN104380203B | 2017-09-08 | H·柏莱曼斯; G·范德祖克; R·斯梅茨; J·德维特; P·安齐费罗夫; V·克里夫特苏恩 |
| 一种激光驱动的光源，包括激光器(52)和聚焦光学装置(54)。这些产生聚焦在容器(40)内的等离子体形成区上的辐射束，其中所述容器包括气体(例如，氙气)。收集光学装置(44)收集由通过所述激光束保持的等离子体(42)发射的光子，以形成输出辐射束(46)。等离子体具有细长形状(L>d)，并且收集光学装置被配置用于收集沿纵向从等离子体出射的光子。相比于收集沿横向从等离子体出射的辐射的源，等离子体的亮度被增大。由于增大的亮度，使用所述光源的量测设备可以获得较大的精确度和/或生产率。可以提供回射反射器。微波辐射可以被使用，代替激光辐射，以形成等离子体。 | ||||||
| 8 | 用于电子射线的电聚焦的电源 | CN201410654059.2 | 2014-09-24 | CN104597954B | 2017-08-04 | J·德林格; J·奥尔施莱格尔 |
| 本发明涉及具有高压末级的、用于电聚焦电子射线的可快速调节的高压电源。该高压末级具有多个放大器元件，它们与第一高压连接端子串联连接；具有一系列分压器元件的分压器链，所述分压器元件与第一高压连接端子连接并且与放大器元件处于信号连接中，使得在该分压器链上施加电压的情况下在放大器元件的信号输入端和分别下一放大器元件的信号输入端之间的电压的差分别具有相同的符号。 | ||||||
| 9 | X射线装置以及使用其控制X射线辐射区域的方法 | CN201210249662.3 | 2012-07-18 | CN102885637B | 2017-07-28 | 李炳元; 文载和 |
| 本发明提供一种X射线装置，所述X射线装置包括：摄像机，用于对物体照相并且输出物体的图像；显示器构件，利用触摸屏显示从摄像机输出的物体的图像以及物体的X射线辐射区域；X射线辐射区域控制器，用于控制物体的被X射线辐射到的区域；控制构件，用于在基于显示器构件中显示的物体的图像确定了X射线辐射区域时使辐射区域控制器能够根据X射线辐射区域来控制物体的被X射线辐射到的区域。 | ||||||
| 10 | 包括耐蚀材料的极端紫外辐射产生设备 | CN200980126231.4 | 2009-07-01 | CN102106190B | 2017-07-28 | C·梅茨马歇尔; A·韦伯 |
| 本发明涉及一种改进的EUV产生设备，该EUV产生设备具有用于液态锡的经涂覆的供应管。 | ||||||
| 11 | 在X射线管的旋转阳极盘的圆周方向上的动态焦斑跳跃期间的电子射束的消隐 | CN201380026735.5 | 2013-05-17 | CN104335318B | 2017-06-27 | C·H·巴特; T·雷佩宁 |
| 一种用于在碰撞在X射线管(110)的旋转靶盘(230)的焦点轨道(FPTR)上的电子射束的圆周方向上的动态焦斑(FP)移动的2个或更多个位置之间的跳跃期间的电子射束(e)的全部消隐或部分消隐的装置(210)和方法。备选地，在该短时间间隔期间能够增加所述焦斑大小。能够防止在所述焦斑处的所述阳极过热。 | ||||||
| 12 | 一种CT球管中灯丝电流的控制方法和设备 | CN201410494104.2 | 2014-09-24 | CN104302081B | 2017-06-16 | 蒋哲文 |
| 本发明实施例公开了一种CT球管中灯丝电流的控制方法。该方法包括：检测CT球管当前的管电流作为mA反馈值；计算mA设定值与所述mA反馈值之差作为误差值；响应于所述误差值大于第一误差阈值，将当前的灯丝电流设置为目标电流上限值；响应于所述误差值小于第二误差阈值，将当前的灯丝电流设置为目标电流下限值；其中，所述目标电流上限值大于所述目标电流下限值，所述第一误差阈值大于0，所述第二误差阈值小于0。通过本发明提供的技术方案，可以使得实际管电流的变化速度能够迅速跟随上mA设定值的变化，从而实现了辐射剂量的快速调节。此外，本发明实施例还提供了一种CT球管中灯丝电流的控制设备。 | ||||||
| 13 | X射线CT装置、图像处理装置以及图像处理方法 | CN201380008634.5 | 2013-08-30 | CN104105445B | 2017-06-16 | 田口博基; 前田达郎 |
| X射线CT装置具有：X射线管；高电压电源；X射线检测器；基于通过扫描对被检体进行摄影而获得的多重能量的重构前数据，生成与多种基准物质分别相当的多个基准物质图像的重构部；基于多个基准物质图像，对包含于被检体的摄影范围内的多种物质分别进行判别的物质判别部；生成与由判别出的多种物质的各物质确定的能量相关的单色X射线图像的单色X射线图像生成部；以及统合与多种物质相当的多个单色X射线图像，生成统合图像并显示于显示装置的合成图像生成部。 | ||||||
| 14 | 用于生成远紫外光的设备和包括该设备的曝光设备 | CN201310314179.3 | 2013-07-24 | CN103676496B | 2017-06-16 | 朴昌敏; 朴柱温; 吕政浩 |
| 提供了一种用于生成EUV光的设备，所述设备可以包括微滴供应单元、激光照射单元、聚光单元和引导单元。微滴供应单元可以供应可以由其生成EUV光的微滴。激光照射单元可以将激光照射到由微滴供应单元供应的微滴以生成EUV光。聚光单元可以使通过激光照射单元生成的EUV光聚集。引导单元可以将微滴引导到激光可以照射到的位置。引导单元可以具有用于将气体喷射到微滴供应单元与激光照射位置之间的空间以形成被构造成围绕微滴的气幕的至少一个气体喷射孔。 | ||||||
| 15 | 极紫外光源 | CN201480014562.X | 2014-02-25 | CN105052246B | 2017-06-13 | 陶业争; R·J·拉法克; I·V·福缅科夫; D·J·W·布朗 |
| 描述了使用来自靶材料的反馈来增强极紫外光源的功率的技术，该靶材料在进入目标位置之前已被修改为空间延伸的靶分布或者膨胀的靶。因为反馈发生在其之上的路径的几何学(诸如往返长度和方向)可以随时间改变，或者空间延伸的靶分布的形状可能不提供足够光滑的反射，所以来自空间延伸的靶分布的反馈提供非谐振光学腔。然而，可能的是，如果上面提到的几何和物理约束被克服，则来自空间延伸的靶分布的反馈提供谐振的并且相干的光学腔。在任何情形下，反馈可以使用从非振荡器增益介质产生的自发发射的光来生成。 | ||||||
| 16 | 电子式放射线摄影系统及信号中继装置 | CN201380044155.9 | 2013-07-18 | CN104582574B | 2017-05-31 | 今邨亮 |
| 在不改造线源控制装置的情况下利用电子式放射线图像检测装置的AEC功能。信号中继装置具备连接照射开关的第一连接I/F、连接电子暗盒的照射信号I/F的第二连接I/F、连接线源控制装置的开关I/F的第三连接I/F及信号处理部。信号处理部在被输入来自照射开关的照射指示信号和来自电子暗盒的照射许可信号的期间产生照射执行信号。线源控制装置在照射执行信号的输入期间驱动X射线管而照射X射线。 | ||||||
| 17 | 一种双能CT的扫描电压的选择方法及设备 | CN201410802373.0 | 2014-12-18 | CN104545960B | 2017-05-31 | 楼珊珊; 逄岭; 张明杰 |
| 本发明提供一种双能CT的扫描电压的选择方法和设备，方法包括：设置双能CT扫描电压的选择标准；由CT机支持的所有扫描电压产生双能扫描电压组合；所述双能扫描电压组合包括一个高能扫描电压和一个低能扫描电压；根据所述选择标准从所有的双能扫描电压组合中选择最优的一组双能扫描电压组合。本方法并不是按照常规的高能扫描电压选择140kV，低能扫描电压选择80kV，而是可以根据使用的CT机的具体情况来制定选择标准，然后从符合选择标准的所有双能扫描电压组合中，选择最优的一组双能扫描电压组合，作为双能CT机的扫描电压，这样可以更加获得效果更好的扫描图像来满足比较高的需求。 | ||||||
| 18 | 用于单视场与立体视场的观察之间的渐进式转换的渐进式X射线焦斑移动 | CN201380014932.5 | 2013-03-07 | CN104205285B | 2017-05-31 | H·施泰因豪泽 |
| 本发明涉及单视场和立体视场的X射线观察。为了提供用于具有改进的对深度信息的视觉感知的X射线观察的改进的流畅工作流程，本发明被提供为：生成从阴极装置朝向阳极的靶区域的电子束；偏转电子束，使得电子束在不同的靶斑(94a、94b)处撞击阳极，其中，变化被提供为电子的碰撞方向的渐进式变化，使得提供单视场观察与立体视场观察之间的无级转换。在单视场观察中，X射线辐射从单个焦斑位置生成，并且其中，在立体视场观察中，X射线辐射从在横切于观察方向(92)的第一立体方向上彼此间隔开的两个焦斑位置生成。本发明还被提供为由碰撞在靶区域上的电子束生成X射线辐射，其中，X射线辐射被提供有用于单视场和立体视场的X射线成像的不同焦斑。更进一步地，本发明被提供为显示或以其他方式提供有单视场观察与立体视场观察之间的渐进式转换的对象的图像数据。 | ||||||
| 19 | 用于脉冲X射线管的加热电流调节的方法和装置 | CN201410003328.9 | 2014-01-03 | CN103917033B | 2017-05-17 | R.奥尔恩哈默; A.博姆; J.沃克 |
| 本发明涉及一种用于调节在脉冲间歇期间流过发射极（2）的脉冲X射线管（1）的加热电流（H）的方法和相应的装置。在此通过对所测得的加热电流的实际值（HIst,HTP）和可以预先定义的加热电流的额定值（HSoll）进行比较而实现加热电流（H）的调节，其中在所述比较（8）之前对加热电流的实际值（HIST）进行低通滤波（9，HTP），其中所述低通滤波（9）的时间常数等于发射极（2）的加热时间常数。本方法还包括在低通滤波（9）之前的对于加热电流的实际值（HIst）进行依靠第一校正值（K1）的校正，其中所述第一校正值（K1）这样确定，即在脉冲期间的管电流调节（RIst，RSoll）没有通过在脉冲间歇的加热电流调节（HSoll,HTP）被补偿。本发明具有优点，通过借由低通滤波进行的发射极温度仿真和管电流调节的观察设立带有在额定值跳跃之后的改进的调整特性的优化的调节电路，所述调节电路还可以避免过冲。 | ||||||
| 20 | 极紫外（EUV）辐射源 | CN201580047065.4 | 2015-09-01 | CN106605450A | 2017-04-26 | V·V·德什潘德; S·V·德什潘德; D·克利斯; O·格鲁申克夫; S·克里什南 |
| 极紫外(EUV)辐射源粒料(8)包括至少一个金属颗粒(30)，该至少一个金属颗粒嵌入在重惰性气体团簇(20)内，该重惰性气体团簇包含在惰性气体壳团簇(10)内。EUV辐射源组件可以通过至少一个第一激光脉冲和至少一个第二激光脉冲的顺序照射得以激活。每个第一激光脉冲通过从至少一个金属颗粒(30)分离外轨道电子并将电子释放到重惰性气体团簇(20)中而产生等离子体。每个第二激光脉冲放大嵌入在重惰性气体团簇(20)中的等离子体，触发激光驱动的自放大过程。经放大的等离子体引发重惰性气体和其他构成原子中的轨道间电子跃迁，导致EUV辐射的发射。激光脉冲单元可以与源粒料产生单元组合以形成集成的EUV源系统。 | ||||||
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