该申请人涉及专利文献:2375,涉及专利:1707件
覆盖主要的IPC大类包括:H01(1163)、C23(537)、H05(163)、G05(133)、G01(47)、C30(43)、G06(43)、B08(33)、B81(31)、B25(20)
专利类型分布状况:发明公开(1514)、发明申请(122)、实用新型(71)
专利不同法律状态数据分布状况:有效专利(1197)、无效专利(329)、公开(122)、失效专利(50)、实质审查(9)
该领域主要的发明人有:南建辉(55)、韦刚(42)、彭宇霖(38)、管长乐(37)、徐亚伟(33)、白志民(33)、张风港(24)、陈鹏(24)、刘利坚(23)、荣延栋(23)
详细地址:中国 北京市 北京经济技术开发区 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 100176
专利类型 | 专利名称 | 文献号 |
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发明公开 | 一种反应腔室的清洗方法 | CN107195523A |
发明公开 | 一种反应腔室 | CN107164738A |
发明公开 | 一种表面波等离子体装置 | CN107155256A |
发明授权 | 腔室环境调控方法 | CN105097485B |
发明授权 | 防止反应腔室内发生打火的沉积方法及反应腔室 | CN104746024B |
发明授权 | 反应腔室及等离子体加工设备 | CN104637837B |
发明公开 | 一种磁控元件和磁控溅射装置 | CN107090573A |
发明授权 | 机械卡盘及等离子体加工设备 | CN104878363B |
发明授权 | 一种旋转电机的运行控制方法和装置 | CN104753401B |
发明授权 | 反应腔和MOCVD设备 | CN104746037B |
排名 | 企业名称 | 专利 |
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1 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 2497 |
排名 | 发明人 | 专利 |
---|---|---|
1 | 南建辉 | 55 |
2 | 韦刚 | 42 |
3 | 彭宇霖 | 38 |
4 | 管长乐 | 37 |
5 | 徐亚伟 | 33 |
6 | 白志民 | 33 |
7 | 张风港 | 24 |
8 | 陈鹏 | 24 |
9 | 刘利坚 | 23 |
10 | 荣延栋 | 23 |
排名 | 企业名称 | 专利 |
---|---|---|
1 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 1074 |
2 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 318 |
3 | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 251 |
4 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 220 |
5 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 143 |
6 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 138 |
7 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 134 |
8 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 115 |
9 | 北京市德权律师事务所 | 24 |
10 | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 16 |
排名 | 代理人 | 专利 |
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1 | 张天舒 | 951 |
2 | 彭瑞欣 | 679 |
3 | 陈源 | 274 |
4 | 赵镇勇 | 232 |
5 | 逯长明 | 138 |
6 | 宋合成 | 117 |
7 | 申健 | 114 |
8 | 苏培华 | 110 |
9 | 陈振 | 97 |
10 | 黄德海 | 92 |